【課題】感光体における複数のビームの副走査方向の間隔を調整できる新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤ４は、ビームＢ１，Ｂ２を放射する。コリメータレンズ６は、ＬＤ４が放射したビームＢ１，Ｂ２を平行光に変換する。シリンドリカルレンズ１４は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２を、副走査方向に集光する。ポリゴンミラー１８は、シリンドリカルレンズ１４により集光されたビームＢ１，Ｂ２を偏向する。ミラー１０は、ビームＢ１，Ｂ２が通過する経路上においてコリメータレンズ６とシリンドリカルレンズ１４との間に設けられ、かつ、シリンドリカルレンズ１４の主点位置からシリンドリカルレンズ１４の焦点距離Ｌだけ離れた位置に設けられている。ミラー１０は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２の進行方向を副走査方向に傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な投影光学系を有する露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置において、前記投影光学系は、ミラーアセンブリを含み、前記ミラーアセンブリは、前記投影光学系の光軸を折り曲げる第１反射面を有する第１ミラー部材と、前記光軸を折り曲げる第２反射面を有する第２ミラー部材と、前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材を支持する支持機構とを含み、前記支持機構が位置決めされることによって前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材の相互の位置関係が維持されたまま前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】
光学系の軸外光束の結像性能を評価しながら、光学素子の偏心を調整するための偏心調整装置を提供すること。
【解決手段】
枠４に対して未固定のレンズ３を少なくとも一つ以上含む被調整光学系１５を保持する保持部６と、保持部６を挟んで一方の側に配置され、平行光束を出射する光源部１０と、保持部６を挟んで一方の側に配置され、被調整光学系１５からの光を検出する検出手段１と、光源部１０と保持部６の間に配置された基板９を備え、基板９は、同心円の円周上のそれぞれに等間隔で４個以上で偶数個の開口を有し、基板９から保持部までの光路中に、開口１３を通過した平行光束を軸外光束に変換する光束変換手段と、強度分布に基づいて被調整光学系１５内のレンズ３の偏心量を算出するための演算手段１２と、演算手段１２で算出された偏心量に基づき枠４とレンズ３の相対的な位置関係を調整する位置調整手段１４とを備えていること。 （もっと読む）

【課題】２軸駆動方式のビーム照射装置において、目標領域におけるビームの照射位置を、簡素な構成にて円滑に検出できるようにする。
【解決手段】ミラーホルダ１０の支軸１２の端部にレーザチップ５０を配置し、レーザチップ５０からのレーザ光を受光するＰＳＤ６０をベース３００側に配置する。こうすると、ミラー面の傾き状態がレーザ光の出射方向にダイレクトに反映される。よって、これを受光するＰＳＤ６０からの出力をもとに、ミラー１３の回動状態を精度良く検出でき、その結果、ビームスキャン位置の検出精度を高めることができる。また、支軸１２の端部に小さなレーザチップ５０を配する構成であるため、ミラーホルダ１０に付加される構成を極めて簡素かつ小型化することができる。よって、ミラーホルダ１０の構成の簡素化と、ミラー１３の駆動レスポンスの向上が図られる。 （もっと読む）

【課題】画像投影光学ユニットを鉛直方向と水平方向の直交二軸方向に移動させることなく、スクリーン上での画像位置調整ができる画像投影表示装置の調整方法を得る。
【解決手段】スクリーンと直交する方向に画像投影光学ユニットを移動させるステップと、小ミラーをスクリーンと平行な方向と直交する方向の少なくとも一方に移動させるステップとを組み合わせて、画像投影光学ユニットとスクリーンとの間の投影距離（光路長）を変化させずに、スクリーン上で画像位置調整を行う調整方法。 （もっと読む）

【課題】リアプロジェクション装置の光学系とスクリーンの関係性を決める筐体の組み付け誤差による投写角度のずれによる画像の歪の発生に対して光軸調整を実施することを可能としセット画面額と投写画像の高い組付け精度を実現するリアプロジェクションテレビの折り返しミラーを有する投写レンズの光軸調整装ならびにその調整方法を提供するものである。
【解決手段】折り返しミラー面上の光軸水平面との交線とを回転軸に共通にして、鏡筒出射側レンズ部である第二鏡筒の角度調整と折り返しミラーの角度調整を回転角θに対して、折り返しミラー面上の光軸水平面との交線を回転軸として折り返しミラーの回転1/2θとの関係性に連動して稼働する機構を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】低電圧の駆動で反射膜を大変形させ得る静電型可変形状鏡を提供すること。
【解決手段】可撓性を有する反射膜２０を静電気力により変形させ、上記反射膜２０へ入射する光の収束または発散または偏向する度合いを変化させる静電型可変形状鏡１０において、基板５０に固定されて配置された基板電極４０と、上記基板電極４０に対向して配置された導電性を有する薄板状部材３０と、を具備し、上記薄板状部材３０は、上記基板５０に固定された基板接続部と、上記反射膜２０に接合された反射膜接続部とを有し、上記基板電極４０と上記薄板状部材３０との間に電圧を印加し、該薄板状部材３０の形状を変形させることにより、上記反射膜接続部を上記基板方向へ変位させ、上記反射膜２０の曲率を変化させる。 （もっと読む）

ハウジング構造体は、装着部（６）若しくは構造モジュール（６’）に保持された複数の光学素子（５）が、複数の接続部材（７）によって配置されたフレーム構造体（１）を有している。光学素子（５）は、取付け状態で、取着部若しくは構造モジュールと接続部材とが、支持ユニットしてフレーム構造体に一体的であるように、取着部（６）若しくは構造モジュール（６’）と接続部材（７）とによってフレーム構造体（１）に着脱可能に接続されている。
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