【課題】走査型顕微鏡において、低ノイズの画像を高速で取得する。
【解決手段】走査型顕微鏡は、光源ユニット１２０、対物レンズ１１５、スキャナユニット１１４、ピンホールアレイ１１３、光学的分離器１１２、光量検出器１１６、および位置検出システム１１７を有する。光源ユニット１２０は光パルスを複数の出射点から順番に繰返し出射する。対物レンズ１５は光パルスを試料上に結像させる。スキャナユニット１１４は対物レンズにより結像された光パルスを試料に走査させる。ピンホールアレイ１１３は試料に反射された反射光および蛍光の少なくとも一方の結像位置にピンホールが形成される。光学的分離器１１２は反射光および蛍光の少なくとも一方を偏向させることにより透過光の光路から分離する。光量検出器１１６は反射光または蛍光の光量を検出する。位置検出システム１１７は照射光の照射位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】画像の描画を阻害せず、水平走査用ミラーの振れ角を精度良く検知することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、描画用レーザー光を射出する描画用光源ユニットと、描画用レーザー光を投影面に対して第１方向に走査するアクチュエーター４１と、アクチュエーター４１によって走査された描画用レーザー光ＬＬを第２方向に走査するガルバノミラーと、第１方向走査部が有する光反射面の振れ角を検出する検出手段とを有している。検出手段は、描画用レーザー光とは異なる光路でアクチュエーター４１の第１光反射面４１８に向けて検出用レーザー光ＬＬ’を射出する検出用光源ユニット５１と、アクチュエーター４１の第１光反射面４１８が所定の振れ角のときに第１光反射面４１８によって反射された検出用レーザー光ＬＬ’を受光する受光素子５２とを有している。 （もっと読む）

【課題】画像の台形歪みを防止するための制御を容易にすることで、回路規模を小さくすることができる画像形成装置の駆動方法を提供すること。
【解決手段】反射面に光を反射させて投射面２１に画像を形成する画像形成装置の駆動方法であって、第１方向を走査する反射面を駆動する第１駆動工程と、第２方向を走査する反射面を駆動させる第２駆動工程と、を有し、第１駆動工程では第１方向を走査する反射面の駆動は、反射面に外部から駆動力を付与する駆動期間と、反射面に駆動力を付与しないで走査させる惰性駆動期間と、を有していて、駆動力を反射面に付与するかまたは付与しないかの制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ガルバノミラーを高速かつ高精度に位置決めする。
【解決手段】ガルバノスキャナは、ガルバノミラーと揺動機構とシャフトと軸受けと半円状板とを備え、前記揺動機構は、前記半円状板の表裏面に取り付けられた１対の可動子ユニットと、前記１対の可動子ユニットを挟むように配された１対の固定子ユニットとを有し、前記揺動機構は、前記半円状板を介して前記ガルバノミラーを揺動させる際に、前記１対の可動子ユニットと前記１対の固定子ユニットとの間における反射面の面外方向の磁気的力が排除されるように磁気的力の主方向が前記反射面の面内方向及び回転軸に沿った方向と平行になるとともに、磁気的力を相殺するように、前記１対の固定子ユニットが前記１対の可動子ユニットを挟むように配された状態が維持される。 （もっと読む）

【課題】従来の光走査モジュールは、結像レンズの光軸調整が難しい構造であり、コリメータレンズの光軸とレーザ光の光軸との光軸調整後に、コリメータレンズを光軸方向に変位させるフォース調整を行う必要がある。レンズ固定バンドで結像レンズを押さえる構造では、焦点調整における光軸方向の移動により光軸まわりの回転が発生している。
【解決手段】光走査モジュールに用いられる光学部品固定機構は、円筒状の光学部品をその径方向から弾性部材で付勢して支持台に支持固定する。光学部品の外周面には、光学部品の光軸と平行な方向に沿う溝を円周方向に凹部と凸部が連続するように複数形成し、弾性部材は光学部品の光軸から見たときに、光学部品の外周面における曲率と異なる曲率となるような板状に形成され、光学部品の外周面に形成される少なくとも連続する２つの凸部に対して当接して光学部品の径方向に沿って弾性的に付勢する。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーの回転角を正確に制御することができ、画像書き込み開始位置を高精度に制御することができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ２１０は、感光体ドラム２２を露光するためのレーザ光を射出する。ポリゴンミラー２４０は、半導体レーザ２１０から射出されたレーザ光を偏向して感光体ドラム２２の表面上を走査させる。ポリゴンモータ２５０は、ポリゴンミラー２４０を回転させる。ＢＤセンサ２３０は、ポリゴンミラー２４０で偏向したレーザ光の走査ラインの端部でこのレーザ光を検出する。制御部３００は、正弦波をＰＷＭ変換させて駆動信号とし、駆動信号をポリゴンモータ２５０に供給する。角度記憶部３６０は、半導体レーザ２１０から射出されたレーザ光がＢＤセンサ２３０で検知されたときの駆動信号に対応する正弦波角度である基準正弦波角度をポリゴンミラー２４０の各面に対応して記憶する。 （もっと読む）

【課題】スキャナモータの出力軸に対するスキャナミラーの取り付け角度が変化したことに起因する異常を検出可能なガルバノスキャナを提案すること。
【解決手段】ガルバノスキャナ１のスキャナドライバ６では、スキャナモータ２の位置センサ７によってスキャナモータ２が原点位置に位置決めされた状態において、ミラーセンサ１０によってスキャナミラー５が原点位置に位置決めされているか否かに基づき、スキャナミラー５の取り付け角度が正常であるか否かを監視している。スキャナミラー５が外部から加わった衝撃などによって出力軸３に対する取り付け角度が変化した場合には、スキャナモータ２を一定の角度範囲内で回転させても、スキャナミラー５が一定の走査角度範囲から外れてしまい、レーザ光が想定外の方向に照射されてしまう。このような事態を未然に回避できる。 （もっと読む）

【課題】光線の光軸を高精度かつ高速に走査又は偏向することが可能なガルバノモータを提供する。
【解決手段】ガルバノモータ１０は、モータシャフト１と、モータシャフト１を回転駆動させるコイル５と、モータシャフト１の一端に結合されたエンコーダスケール６とを有し、モータシャフト１は、エンコーダスケール６が結合された一端とは反対側の他の一端に、エンコーダスケール６より重いミラー９が結合されるように構成され、ガルバノモータ１０の開ループ特性における位相交点周波数ｆｐｈａｓｅ、モータシャフト１の中央部とエンコーダスケール６と間のねじれ共振周波数ｆｓｃａｌｅ、及び、モータシャフト１の中央部とミラー９との間のねじれ共振周波数ｆｍｉｒｒｏｒは、ｆｐｈａｓｅ＜ｆｓｃａｌｅ≦ｆｍｉｒｒｏｒの関係を満たし、ねじれ共振周波数ｆｓｃａｌｅ、ｆｍｉｒｒｏｒにおける位相は−１８０度以外である。 （もっと読む）

【課題】小型化で応答性に優れた２軸駆動装置及び光偏向装置を提供する。
【解決手段】被駆動部材２を支持する支持ピン３と、支持ピン３が固定される固定部材４と、支持ピン３の被駆動部材２と接触する部分３ａを支点として被駆動部材２を回転させ、磁石６とコイル８を含む磁気駆動部と、磁気駆動部による被駆動部材２の回転量を光学的に検出するエンコーダ９Ａ９Ｂと、を有し、磁石６とコイル８の一方は被駆動部材２と固定部材４の一方に固定され、磁石６とコイル８の他方を被駆動部材２と固定部材４の他方に固定され、磁石６は、支持ピン３の周りに配置された４つの磁石部６ｄ_１〜６ｄ_４を有し、支持ピン３に関して反対側にある２つの磁石部はＮ極とＳ極の向きが同じであり、支持ピンの周りで隣り合う２つの磁石部はＮ極とＳ極の向きが反対であり、コイル８は、磁石６と離れて対向し、４の自然数倍個設けられる２軸駆動装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】振動子などの往復移動のための大きなスペースがなくても、照明光の大きな走査幅を得ることが可能な光走査モジュールを提供する。
【解決手段】照明光ＩＬは、振動子２１の反射面２１ａによって反射され、レンズ２４に入射する。このとき、振動子２１は、所定の周期でその反射面に交差する矢印Ａ，Ａ’方向に往復移動しているので、その振動子２１の反射面２１ａで反射された照明光ＩＬは、往復移動しながらレンズ２４に入射する。このレンズ２４に入射した照明光ＩＬは、レンズ２４によって、振動子２１の往復移動に応じて、その出射角度が変更される。この結果、レンズ２１から出射される照明光ＩＬは、所定角度範囲で走査される。この場合、振動幅の小さな、小型の振動子を採用できる。 （もっと読む）

【課題】リニアリティを短時間に高い精度で測定でき、特別な評価用パターンを必要とせず汎用性の高い走査光学系の走査位置検出装置、走査光学系の走査位置検出方法を提供し、かかる走査位置検出装置あるいは走査位置検出方法を具備した走査光学系および画像形成装置を得る。
【解決手段】ビームスポット走査方向に対し垂直方向に形成されて光を透過するスリット６４の背面位置に設けられた受光素子６６を有し、受光素子６６でスリット６４を横切るビームスポットを検出することによりビームスポットの通過時間間隔を測定し、走査のリニアリティを測定する。スリット６４は、全像高に渡り、３個以上設けられている。ビームスポットの主走査方向に対応する全てのスリット６４の背面位置に、受光素子６６を配置してもよい。 （もっと読む）