【課題】基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するためにレーザ光が用いられるパターン修正装置におけるレーザ照射条件を容易に設定する。
【解決手段】パターン修正装置は、被修正ガラス基板６上の電極のオープン欠陥に修正ペーストを塗布する修正液塗布機構４と、電極の短絡部にレーザを照射し繋がった部分をレーザ光の熱エネルギーで昇華または飛散をさせたり、塗布した修正ペーストからなる修正層の不要部分にレーザ光を照射して除去するためのレーザ３１と、修正層に照射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出器１６とを備える。したがって、修正層の不要部分を除去するのに最適な条件を１台の装置で設定し、その条件におけるレーザ光の光強度を検出しておき、他の装置においてもレーザの光強度を合わせれば最適条件を実現できる。 （もっと読む）

【課題】高い厚さ精度をもってカラーフィルタを平坦に形成可能なカラーフィルタ基板の製造方法、この方法により製造したカラーフィルタ基板、このカラーフィルタ基板を備えた電気光学装置、およびこの電気光学装置を用いた投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】隔壁形成層４０に形成した凹部４１、４２、４３内を埋めるようにカラーフィルタ材４ｒ、４ｇ、４ｂを基板１０ｘ上に配置した後、隔壁形成層４０の上面が露出するまで化学機械研磨を行なって凹部４１、４２、４３内にカラーフィルタ材４ｒ、４ｇ、４ｂを残すことによりカラーフィルタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂを形成する。このため、カラーフィルタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂの厚さは、隔壁形成層４０に形成した凹部４１、４２、４３の深さに規定される。また、カラーフィルタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂの表面は平坦である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、色再現性が良好で、かつ反射光用領域における画素部の輝度の高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを主目的としている。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、透明基板と、前記透明基板上に形成された透過光用画素部および反射光用画素部とを有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、前記透過光用画素部は、イエロー着色層とマゼンタ着色層との積層からなる赤色画素部、イエロー着色層とシアン着色層との積層からなる緑色画素部、およびシアン着色層とマゼンタ着色層との積層からなる青色画素部を有し、かつ前記反射光用画素部は、シアン着色層からなるシアン画素部、マゼンタ着色層からなるマゼンタ画素部、およびイエロー着色層からなるイエロー画素部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供する。 （もっと読む）

【課題】各種基板に存在する欠陥を一層高速で修正することができるパターン修正装置を実現する。
【解決手段】本発明によるパターン修正装置は、ステージ（２）上に配置したカラーフィルタ基板（３）に存在する欠陥を修正する修正ヘッド（６）を具える。修正ヘッドは、必要数のカラーの修正テープ（４１）をそれぞれ収納したテープカセット（１１ａ〜１１ｄ）を有し、各テープカセットは、修正テープユニットと熱転写ユニットとを有する。本発明では、各修正テープごとに熱転写ユニットが設けられているため、各カラーの修正テープに最適な熱転写温度で修正できると共に、修正テープを予備加熱することできる。この結果、高精度な修正処理が行われると共に修正処理を一層高速で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】液晶画面をローラーや指でなぞったときに起こるタッチムラが解消されたカラーフィルターとそれを用いた画像表示装置とその評価装置を提供する。
【解決手段】基板上の片方表面に着色画素が形成されたカラーフイルターにおいて、所定の位置に柱状突起ＰＳを有し、この柱状突起PSがビッカース圧子を用いた押し込み試験（最大荷重0.6mN/μｍ^２）によって得られるヒステリシス曲線で、圧縮曲線（L1）と抜重曲線（L2）の最大荷重の1/2（0.3 mN/μｍ^２）における半値変位量が0.2μｍ超であることを特徴とするカラーフィルターとする。 （もっと読む）

【課題】被塗布基板であるガラス基板の周辺部、側端部、裏面に残存した、不要なカラーフィルタのレジスト膜を除去するガラス基板端面の残存レジスト除去方法を提供することである。
【解決手段】ガラス基板にレジスト塗布、パターン露光、現像処理後のガラス基板の端面上に残存する、不要となるレジストにレーザー光線を照射することにより、ガラス基板端面の残存レジスト除去方法であって、レーザー光線を照射する装置は、台座、ｘｙ駆動の機能を具備するステージ部と、波長１μｍ以下であるＹＡＧレーザー光源及びレーザー光線を制御するレンズ系を具備するレーザー照射ノズル部とを備え、ステージ上に載置したガラス基板の端面に該レーザー光軸上のガラス基板の表裏面の残存レジストの面に焦点距離を調整しレーザー光線を照射することにより、ガラス基板の表面若しくは裏面より一度に残存レジストを除去するガラス基板端面の残存レジスト除去方法。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置などに用いられるカラーフィルターの表示特性を改善しうる、有機顔料ナノ粒子分散物の製造方法を提供する。特に、カラーフィルターを高コントラスト化すると共にその製造品質を高め、しかも液晶表示装置において良好な表示特性を実現しうる有機顔料ナノ粒子分散物の製造方法、それにより得られる分散物、並びに、それを含有するインクジェットインク、着色感光性樹脂組成物、及び感光性樹脂転写材料、それらを用いたカラーフィルター及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】良溶媒に有機顔料を溶解した有機顔料溶液と、前記有機顔料の貧溶媒とを混合して析出させた前記有機顔料のナノ粒子を、沸点１５０℃以上の有機溶剤に分散させる有機顔料ナノ粒子分散物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に対応して形成されたカラーフィルタおよびマイクロレンズアレイとを具備する固体撮像装置において、隣接カラーセルへの光入射による混色を抑制し、ライン濃淡を低減する。
【解決手段】カラーフィルタ10は、一定方向に視たときの奇数行にシアン（以下CA）セルとイエロー（以下YE）セルとが交互に並び、偶数行にマゼンタ（以下MG）セルとグリーン（以下GR）セルとが交互に並び、かつ、MGセルとGRセルの並び順序が互いに隣り合う偶数行間で異なる補色色差順次配列にて形成され、CAセルとYEセルのうち少なくとも一方の下面がMGセルとGRセルの下面よりも受光部フォトダイオード2に位置するように構成される。ここでは、平坦化層9の凹部9Aに配置されるカラーセル10a,10cがCAセル，YEセルとされ、凸部9Bに配置されるカラーセル10b,10dは、入射光が混色してもライン濃淡の原因とならないMGセル，GRセルとされている。 （もっと読む）

【課題】着色画素部を形成する際の加熱処理に起因して発生する異物故障を抑制し、高歩留まり、高スループット化を達成することで、高い生産性を有するカラーフィルタの製造方法、及び、該製造方法により得られ、膜性に優れた着色画素部を有するカラーフィルタを提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）トリアジン系化合物又はオキシム系化合物、及び（Ｅ）溶剤を含有し、前記（Ｄ）トリアジン系化合物又はオキシム系化合物の含有量が組成物の全固形分に対して８質量％以上である硬化性組成物を、支持体上に塗布して形成された塗膜に対し、露光、現像を行い着色画素部を形成する工程を、連続して繰返し、複数色の着色画素部を形成した後、該複数色の着色画素部に対して加熱処理する工程を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法、及び該製造方法により得られたカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明はカラーフィルタの製造方法およびそれにより製造されたカラーフィルタに関する。より詳しくは、ａ）基板上に遮光部材料をコーティングするステップと；ｂ）前記遮光部材料をプリベークして遮光層を形成するステッと；ｃ）前記遮光層を選択的に露光および現像して遮光部パターンを形成するステップと；ｄ）前記遮光部パターンを事前硬化するステップと；ｅ）前記遮光部パターンが形成された基板上に溶液をコーティングするステップと；ｆ）前記遮光部および溶液をポストベークするステップ；およびｇ）前記遮光部パターンによって区切られた画素部にインクを充填するステップを含むカラーフィルタの製造方法およびそれにより製造されたカラーフィルタに関する。 （もっと読む）

【課題】塗膜性に優れ、高感度で硬化し、解像度に優れ、良好なパターン形成性を示し、現像の際のラチチユードが広く、支持体との密着性に優れた硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂および（Ｄ）エチレン性不飽和結合を有する多官能モノマーを含む感光性組成物において、該（Ｂ）光重合開始剤が、ビイミダゾール化合物と、メルカプト化合物と、アミノベンゼン誘導体、アルコキシベンゼン誘導体、チオキサントン誘導体、及びクマリン誘導体から選択される少なくとも１つの化合物とを含み、かつ、該（Ｄ）エチレン性不飽和結合を有する多官能モノマーが、分子内にヒドロキシル基を有し、二重結合密度が９．６ｍｍｏｌ／ｇ以上１１．５ｍｍｏｌ／ｇ以下である多官能モノマーを少なくとも１種含むことを特徴とする硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】ポストベーク時に発生する異物故障を防止し、高歩留まり、高スループット化を達成することで、高い生産性を有するカラーフィルタの製造方法を提供すること。また、膜性に優れた着色画素部を有するカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）トリアジン系化合物又はオキシム系化合物、及び（Ｅ）溶剤を含有し、前記（Ｄ）トリアジン系化合物又はオキシム系化合物の含有量が組成物の全固形分に対して８質量％以上である硬化性組成物を、支持体上に塗布して形成された塗膜に対し、露光、現像を行い着色画素部を形成する工程を、連続して繰返し、複数色の着色画素部を形成した後、該複数色の着色画素部に対して紫外線を照射する工程を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法、及び該製造方法により得られたカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、色再現性が良好なカラーフィルタを安価に効率よく製造することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的としている。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、表面に遮光部が形成された基材の前記遮光部の開口部にフォトリソグラフィー法により着色層を形成する着色層形成工程を有する、赤色、緑色および青色を少なくとも含む４色以上の画素部を備えたカラーフィルタの製造方法であって、前記着色層形成工程は、前記画素部の色数よりも少ない数の前記着色層形成用塗工液を使用して全着色層を形成する工程であり、かつ少なくとも１色が赤色、緑色、および青色から選択された２色以上の着色層を同一の前記遮光部の開口部に積層して形成することにより積層された着色層からなる積層画素部、および、１層の着色層を前記遮光部の開口部に形成することにより単層の着色層からなる単層画素部を形成する工程であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチング法によるカラーフィルタの製造方法であって、微細かつ矩形な画素を有するカラーフィルタを製造することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体上に設けた第１の着色層上に、エッチングストッパー層を形成し、第２の着色層を形成すべき領域に対応する第１の着色層をドライエッチング法により除去する。その除去領域を埋め込むように第２の着色層を形成し、次いでエッチングストッパー層上に形成された第２の着色層をドライエッチング法に除去する。次に第３の着色層を形成すべき領域に対応する第１の着色層をドライエッチング法により除去する。その除去領域を埋め込むように第３の着色層を形成し、次いでエッチングストッパー層及び第２の着色層上に積層された第３の着色層をエッチングストッパー層が露出するまで除去するカラーフィルタの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】形成装置と搬送装置を装備した生産ラインを用いたカラーフィルタの製造方法で、ライン途中で発生したＭＶＡフォトレジストコート処理不良の基板からレジストを剥膜再生時、既存ラインを利用し、装置停止が最小限で、自動運営により、ＭＶＡ用フォトレジスト剥離方法を提供し、再生基板を再利用するカラーフィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＭＶＡパターンを形成のプロセス処理ラインを用いて、レジストコート処理不良の基板からレジストを剥膜するＭＶＡ用フォトレジスト剥離方法であるプロセス処理及び基板の動作を逐次管理するプロセスをプロセス制御部に登録し、ＭＶＡ用フォトレジスト剥離方法であるプロキシミティ露光装置の露光処理の条件がＮＧ情報レシピ、露光ギャップが５００μｍ〜１０００μｍ、且つ露光量が１５０ｍＪ／ｃｍ²〜２００ｍＪ／ｃｍ²により全面露光する工程を含むカラーフィルタの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、遮光性液晶配向制御用突起が製版性良く形成され、かつ液晶表示装置に用いた際、黒表示時に光漏れを防止することが可能なカラーフィルタを提供することを主目的としている。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、基材と、前記基材上に形成された着色層と、遮光性液晶配向制御用突起とを有するカラーフィルタであって、前記着色層には凹部が形成され、かつ前記凹部内に遮光性液晶配向制御用突起が形成されており、前記基材表面から前記遮光性液晶配向制御用突起の頂部までの厚みが、前記基材表面から前記凹部の形成されていない領域の前記カラーフィルタ表面までの厚みよりも厚いことを特徴とするカラーフィルタを提供する。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂組成物のパターニングに要する時間を短縮可能な感光性樹脂組成物のパターニング方法、この方法を用いたカラーフィルタの作製方法、この作製方法により得られたカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを有する表示装置の提供。
【解決手段】基板上に塗布された感光性樹脂組成物を真空中で乾燥して感光性樹脂組成物層を得る真空乾燥工程と前記感光性樹脂組成物層を露光する露光工程とを少なくとも含み、前記真空乾燥工程と前記露光工程とがこの順に連続している感光性樹脂組成物のパターニング方法、この方法を少なくとも１回行うカラーフィルタの作製方法、この作製方法により作製されたカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを有する表示装置。 （もっと読む）

【課題】開口部の面積が複数色の着色画素毎に異なっても、１枚のフォトマスクで各色の着色画素を形成する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】１）複数色の着色画素を形成するフォトマスクは、最大面積の開口部１７Ｂを有する着色画素１３Ｂの形成用のフォトマスクＰＭ−Ｂを用い、２）Ａ）フォトマスクを介した露光を行い最大面積の開口部を有する着色画素を形成し、Ｂ）最大面積の開口部を有する着色画素以外の着色画素１３Ｒを形成する際には、フォトマスクを介した第一露光と、開口部の面積が最大面積以外の面積になるように、フォトマスクに移動ΔＹ１を与えた後に、フォトマスクを介した第二露光を行い最大面積の開口部を有する着色画素以外の着色画素を形成する。 （もっと読む）

【課題】回転工具を用いてワーク表面に存在する欠陥を補修する欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】本発明による欠陥修正装置は、欠陥修正されるべきワーク（４）を保持するワーク保持ステージ（３）と、ワーク保持ステージと対向するＸＹ面内で移動可能であると共にＸＹ面と直交するＺ軸方向に移動可能な３次元ステージと、３次元ステージに装着され、ワークの表面を光ビームにより走査し、ワーク表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出ユニット（７）と、３次元ステージに装着され、検出された欠陥を回転研削装置により除去する研削ユニット（８）と、研削ユニットを制御する研削ユニット制御手段と（４０）と、ワーク保持ステージに保持されたワークと研削ヘッドとの間の間隔を検出する間隔検出手段（１０）とを具える。研削ヘッドのＺ軸方向の位置は、ワーク表面と研削ヘッドとの間隔を基準として制御する。 （もっと読む）

【課題】剥離性の良好な多層材料、並びに、剥離残りの発生を効果的に抑制でき良好な樹脂パターンが得られる樹脂パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】仮支持体と熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層とをこの順に有し、熱可塑性樹脂層が、エネルギー付与によって該熱可塑性樹脂層を膨張させる化合物を界面側に局在した状態で含有し、仮支持体と熱可塑性樹脂層との間の剥離力を（Ａ）、熱可塑性樹脂層と隣接層との間の剥離力を（Ｂ）としたときの、エネルギー付与後剥離時の関係が、（Ａ）＞（Ｂ）である多層材料、並びに、上記多層材料を基板上に転写する工程と、転写後の熱可塑性樹脂層をエネルギー付与によって膨張させる工程と、膨張した熱可塑性樹脂層と隣接層との間で仮支持体を熱可塑性樹脂層と共に剥離する工程と、を有する樹脂パターンの形成方法。 （もっと読む）