【課題】光源にＬＥＤを採用し、分解能と感度の高い観察ができると共に、照明斑のない均一な、光の利用効率の高い、低消費電力でコンパクトな照明装置を採用した顕微鏡の提供。
【解決手段】照明装置５０からの光を視野レンズ４０で平行光にしダイクロイックミラー４１に反射させて対物レンズ４２を通して試料面を照明する。試料面からの透過光若しくは蛍光は対物レンズ４２、ダイクロイックミラー４１を通して結像レンズ４３により結像面に結像させて観察する。照明装置５０はロッドインテグレ―タ３の射出端が顕微鏡の視野絞り位置に合致する様に配置される。これによりロッドインテグレータ３の射出端に生じる輝度ムラの無い均一な平面状光源を試料の観察面に結像しクリティカル照明が実現され、ケーラー照明に比べて焦点深度の浅い状態での観察ができる。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ小型な構成で照明ＮＡを連続的に変化させることができるとともに、照明ＮＡを絞った場合の照明光量の低減を抑制して利用効率を向上させることができ、標本の観察に対して常に最適な照明ＮＡを設定できること。
【解決手段】照明装置１００は、光源１１が発した照明光を集光して対物レンズ３の瞳面３ａ上に光源像を結像する照明レンズ１２を備え、対物レンズ３を介して標本１をケーラー照明する。この照明装置１００において、照明レンズ１２および光源１１の少なくとも一方は、光源１１から照明レンズ１２に至る光軸距離を変更自在に配設され、照明レンズ１２は、変更された光軸距離に応じて光源１１の光源像の結像倍率を変化させる。 （もっと読む）

【課題】従来の１光子を使用した顕微鏡よりも高い解像限界を有する顕微鏡を提供する。
【解決手段】同一位置から２光子の光子対を放出し、被測定物６を照明する面光源３と、被測定物より光学的に後面に設けられ、光子対を２つのパスに分けるビームスプリッタ１１と、ビームスプリッタにより分けられた光子により被測定物の像を、それぞれ撮像面に拡大投影する投影光学系８，９と、各撮像面に設けられた２つの２次元フォトン検出器アレイ１２，１３と、２次元フォトン検出器アレイ１２，１３のピクセルに対応した複数の計数器を有する計数装置１４とを有し、計数器は、２つの２次元フォトン検出器のそれぞれの対応するピクセルにおいて、同時に光子が検出されたときのみ、計数を行うようにされており、所定撮像時間経過後の、計数装置の計数器の計数値に基づいて、被測定物の像を形成するように構成されていることを特徴とする顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 標本の大きさや重さに影響されることなく標本の観察位置合わせを確実に行うことができる光学顕微鏡を提供する。
【解決手段】 ステージ９上の標本２の観察像を取得する対物レンズ３を含む観察光学系の光路上に、対物レンズ３を該対物レンズ３の光軸Ｏと直交する面に沿って移動可能にした移動調整機構６を設け、この移動調整機構６により対物レンズ３を移動させて標本２の観察位置を移動させる。 （もっと読む）

【課題】オペレータに対して、光刺激により標本に照射した光量を通知することにより、定量的な観察を可能とする走査型レーザ顕微鏡装置及び光量検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】標本の特定部位に刺激を与えるための刺激用レーザ光を照射する刺激用光学系２０と、刺激用レーザ光の光強度を計測する光検出器４２と、光検出器４２からの計測値を補正する光量補正回路４３と、光量補正回路４３からの検出値を積算する積算回路４４と、積算回路４４からの検出積算値を表示する表示装置６とを備えるレーザ顕微鏡装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクト接続タイプの測定装置で、結像光学系よりＦ値の大きな明るい照明光学系を照射することが可能な光源装置を実現する。
【解決手段】 光源からの光をレンズ群を介して被検査撮像素子に照射する光源装置において、前記レンズ群の中のレンズのうち、結像面に最も近いレンズをレンズ群とは分離して配置した。 （もっと読む）

【課題】極力簡単な構成で、効率よく、均一な照明分布を得ることが可能な顕微鏡照明装置を提供する。
【解決手段】光源２と、光源２からの光を略平行光束に変換するコレクタレンズ３と、該略平行光束を集光するフィールドレンズ５と、フィールドレンズ５により集光された光束を被照明面８に導くコンデンサレンズ７と、コンデンサレンズ７の入射側焦点位置に配置された開口絞り６を有し、コレクタレンズ３とフィールドレンズ５を介して、開口絞り６と光源２とがほぼ共役な位置関係にある照明光学系において、中心領域とその周辺領域とで異なる特性を有する光学素子１１が略平行光束に変換された光路中に配置される構成を備える。 （もっと読む）

【課題】共焦点光学系と白色光光学系とを備えて、カラーの走査顕微鏡のコストダウンと小型化を図る。
【解決手段】対物レンズ１７から試料ｗまでの距離を変化させながら、共焦点光学系によって輝度情報を得る手段と、白色光光学系によってカラー撮像情報を得る手段を備えると共に、走査領域における各撮像単位ごとに前記輝度情報に基づいて、合焦点の座標を求める手段と、前記各撮像単位ごとに前記合焦点の座標に基づいて、前記カラー撮像情報のうち焦点の合ったものを用いて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段とを備える。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系は、ユニットとして光学系に取り付け、かつ、光学系から取り外すことができるモジュール（５０、１５０）を含む。モジュールは、液体（３４、１３４）で完全に満たし、かつ、気密に密封することができる空洞（４２、１４２）と、投影露光装置（１０）の動作中、頂部において空洞の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）を含む。これは、光学系の外でモジュールを満たすことを可能にする。完全な充填を妨害する空気の泡が凹に湾曲した光学面の下方に形成できないように、モジュールを傾けることができる。
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【課題】簡便で汎用性が高く、ケーラ照明光の光軸等を厳密に調整することを可能とすること。
【解決手段】照明調整用器具２０をレボルバ１２に取り付け、対物レンズ１３の瞳面１３ａに対応する位置に光源４の光源投影像１５を結像させ、この光源投影像を平面ミラー３０ａにより偏向し、各リレーレンズ３１によりカメラ３４のＣＣＤ面３４ａ上で結像させ、このカメラ３４によって撮像されたケーラ照明の光源投影像１５をモニタし、落射照明投光管２内に設けられたリレーレンズ７及び光源４の位置を変える等してケーラ照明の光軸及びフォーカスを調整する。 （もっと読む）

本発明は、光学軸（ＨＡ）を中心として、光学軸（ＨＡ）に沿って配置された、第１の鏡（Ｍ１）、第２の鏡（Ｍ２）、第３の鏡（Ｍ３）、第４の鏡（Ｍ４）、第５の鏡（Ｍ５）、第６の鏡（Ｍ６）を少なくとも備え、光が物体面（１）から第１の鏡（Ｍ１）へ、第１の鏡（Ｍ１）から第２の鏡（Ｍ２）へ、第２の鏡（Ｍ２）から第３の鏡（Ｍ３）へ、第３の鏡（Ｍ３）から第４の鏡（Ｍ４）へ、第４の鏡（Ｍ４）から第５の鏡（Ｍ５）へ、第５の鏡（Ｍ５）から第６の鏡（Ｍ６）へ進む、波長が１９３ｎｍ以下の光を物体面（１）から像面（３）へ導く投影光学系に関する。本発明は、第１の鏡（Ｍ１）が光学軸（ＨＡ）に沿って、幾何学的に第５の鏡（Ｍ５）と第６の鏡（Ｍ６）の間に配置され、第３の鏡（Ｍ３）が凸面鏡であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物に含まれる分子の３次元位置及び３次元配向を観測することができる顕微鏡の提供。
【解決手段】 フェムト秒レーザをパルス発振させるレーザ出力装置１０、レーザ出力装置１０から出力されるレーザ光を空間光変調器１２に照射させるミラー１１、空間光変調器１２からの反射光の位相を変調したうえで再度空間光変調器１２に照射させる１／４波長板１３及びミラー１４、空間光変調器１２からの反射光を１／４波長板１５を透過させたうえでガルバノスキャナ１８へ導くミラー１６，１７、ガルバノスキャナ１８で走査される光を試料２２の内部に集光させる対物レンズ２１、試料２２からの光のうち、第２高調波を検出する光電子増倍管２５を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で点光源と面光源との双方を可変に形成できるレーザ光照射装置およびレーザ光照射装置付顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】物点１１と像点１０との間隔であるＩ−Ｏ距離が固定値に定められたレンズ９と、発光点１２からのレーザ光を点光源として導く光ファイバ１と、レンズ９の物点１１位置に配置された光束絞り５と、光束絞り５の位置に発光点１２または発光点１２の投影像を形成する第１の状態と、発光点１２からの光によって光束絞り５の絞り径を満たすように照射する第２の状態とを切り換え可能な照射ユニット１３とを備え、第１の状態ではレンズ９の像点１０位置に発光点１２が投影され、第２の状態では像点１０位置に光束絞り５の形状が投影される。 （もっと読む）

複雑な構造を用いることなく、発光部の発する光を効率的に集めて、照明ムラの少ない照明を行うことができる照明光学装置及びこれを用いた光学装置を提供する。発光部と、発光部から発せられる拡散光を平行光に変換するレンズ系と、レンズアレイによって得られた平行光の断面積を調整するアフォーカル光学系と、アフォーカル光学系によって断面積を調整された平行光から複数光源像を形成するフライアイレンズと、フライアイレンズが形成した複数光源像を光源として用いるケーラー照明光学系とが設けられている。
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【課題】 液浸光学系において、ＮＡを最終レンズに用いられる硝材の屈折率の屈折率近傍以上まで高める。
【解決手段】 光源からの光１０を第１の面１３ａに向かって集束させる光学系であり、該第１の面に最も近いレンズ面１１ａが凹面であるレンズ１１と、該レンズ面と第１の面との間の光の透過領域を満たす液体１２とを有する。さらに、以下の条件を満足する。
ｄ＞Ｌ／［２×ｔａｎ｛ａｒｃｓｉｎ（ＮＡ／ｎｉ）｝］
但し、第１の面に対して略直交する方向において該レンズ面上の第１の点１１ｂと第１の面上の第２の点１３ｂとの間の距離が最大となる場合に、ｄは第１の点と第２の点との間の距離、Ｌ／２は第２の点から第１の面上での光の照射領域Ｌの端までの最大距離、ＮＡは該光学系の開口数、ｎｉは該液体の屈折率である。 （もっと読む）

【課題】観察光学系と自動焦点系とを併用したとしても自動焦点系の光束に影響を及ぼすことがないこと。
【解決手段】ＤＵＶ照明／結像装置５１におけるランプハウス２０から出射された照明光束を無限遠補正光学系７に入射させる偏光ビームスプリッタ２４と標本面９からの戻り光束を無限遠補正光学系７から分離するダイクロイックミラー２５との間にλ／４波長板５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で、異なる波長で観察しても対物レンズの後側焦点位置の変化による影響を受けることなく、標本に対して照明効率の高い照明を実現できる照明装置及びそれに用いる投光管を提供する。
【解決手段】光源部と、光源部からの光を対物レンズへ向けて集光する投光管２を有する。投光管２は、前記光のうち少なくとも２つの波長が夫々、これらの波長ごとに異なる対物レンズの夫々の後側焦点位置に集光するように、投光管２を構成する光学系全体の軸上色収差を補正する軸上色収差補正光学素子２２を、コリメートレンズ２１と視野絞り２３との間に挿脱可能に備えている。さらに、次の条件式を満足する。
｜ｆ／Ｌ｜＞１０³
但し、ｆは軸上色収差補正光学素子２２の所定基準波長における焦点距離、Ｌは光源部の出射位置から投光管２の所定基準波長における集光位置までの長さである。 （もっと読む）

【課題】戻り光による雑音を抑制して高いＳ／Ｎ比と広いダイナミックレンジを有するとともに高速応答が可能な共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】ＳＬＤ１００の出射端１０１から出射された前方出射光Ａは、コリメータレンズ２３１によって平行光束とされ、偏光フィルタ２３３によって所定の偏光成分のみが透過され、対物レンズ２３２によって集光されて、被測定体２２０の所定位置に照射される。被測定体２２０で反射された光は、対物レンズ２３２、偏光フィルタ２３３およびコリメータレンズ２３１を経て、ＳＬＤ１００の出射端１０１に戻り光Ｂとして入射する。ＳＬＤ１００に戻り光Ｂが入射すると、ＳＬＤ１００が有する光増幅機能によって、ＳＬＤ１００の出射端１０１から出射する前方出射光Ａの強度は変化する。 （もっと読む）

【課題】 絞り径が可変であると共に取り扱いが容易で、コストの低減が図れることができ、暗視野観察における照明の光量を最大限に確保することが可能であり、凹凸のない試料におけるピント合わせを容易に行うことができる顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 光源１１からの光を試料Ｓへ照射する照明光学系と、対物レンズ６を介して試料Ｓの観察像を集光する観察光学系とを備え、落射照明装置１内で前記照明光学系の光束径を調整する羽根絞り２１を有し、羽根絞り２１を前記照明光学系の光路の共役位置Ｐ１と、共役位置Ｐ２との間で選択的に位置させる絞り装置１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】 走査の高速化を図ることにより測定時間の短縮を図ることができる顕微鏡撮像装置およびそれを用いた生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 被検査物２０を保持するステージ３０と、被検査物２０を照明する照明手段４０と、被検査物２０の画像を撮影する撮像手段６０と、ステージ３０と撮像手段６０とを相対的に移動させる移動手段３１と、被検査物２０の情報を被検査物変数として入力する被検査物変数入力手段６７と、入力された被検査物変数に基づきステージ３０および撮像手段６０の相対移動時間を計算する計算手段６８と、を備え、撮像手段６０が、タイム・ディレイ・インテグレーション方式と、二次元撮像方式と、の両方式での撮像が可能な撮像素子６３を備え、計算手段６８の計算結果に基づいて、撮像素子６３の撮像方式を切り替える切替手段を有する顕微鏡撮像装置を提供する。 （もっと読む）