照射光線束を発生する少なくとも１つの光源（１、３）と、前記照射光線束の光出力を調整するための音響光学素子（１３）と、前記照射光線束を試料（２７）の上に又はこれを透過して導くためのビーム偏向装置（１９、３６）とを有する走査型顕微鏡は、音響光学素子（１３）により前記照射光線束から部分光線束を空間的に分離し、この部分光線束を特に処理のために試料に向けるビームガイド手段を備える。
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【課題】 拡張性に優れ、さらに標本に対して不必要な光を当てないようにした顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 対物レンズ７と標本３の光像を観察する接眼レンズ１１を有する顕微鏡本体１側面に光源１３とＣＣＤカメラ２２を有する投光管１２を設け、顕微鏡本体１内で光源１３の光を標本３に反射し標本３からの光を接眼レンズ１１に透過するダイクロイックミラー２５ａと光源１３からの光を標本３に反射する全反射ミラー２４ａを選択的に光路に挿入可能にするとともに、投光管１２内で光源１３からの光をキューブターレット２３に反射し標本３からの光をＣＣＤカメラ２２に透過するダイクロイックミラー１６ａと光源１３からの光をキューブターレット２３に反射する全反射ミラー１７ａを選択的に光路に挿入可能にし、さらに光源１３の光を遮光するシャッタ２７を設け、全反射ミラー２４ａ、１７ａが同時に光路に挿入されたとき光源１３の光を遮光する。 （もっと読む）

マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置である。レチクル（Ｒ）を照明光（ＩＬ）で照明する照明光学系（ＩＬＳ）と、レチクル（Ｒ）のパターンの像をウエハ（Ｗ）上に投影する投影光学系（ＰＬ）とを有する。照明光学系（ＩＬＳ）において、露光光源（１）から直線偏光状態で射出された照明光（ＩＬ）は、進相軸の方向が異なる第１及び第２の複屈折部材（１２，１３）を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ（１４）等を経てレチクル（Ｒ）を輪帯照明の条件で照明する。
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本発明は、対象物保持体（１３）に配置された試料（１５）のためにエバネッセント波照明を提供する光源（１）を有する走査顕微鏡に関する。位置検出器（３５，３６）は、試料（１５）のラスターポイントから発された検出光（５１）を受ける。ビーム発散装置（２９）が検出光のビーム経路に配置され、それにより試料のラスターポイントの位置が移動する。
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第一試料範囲を光学的に励起するための励起光ビーム（３）を備え；また第一試料範囲と少なくとも部分的に重複する他の試料範囲での誘導放射又は別の励起を引き起こすための誘導光ビーム（１５）を備え；前記励起光ビーム（３）と誘導光ビーム（１５）を集束するための少なくとも一つの対物レンズ（４５）を備え；励起光ビーム（３）及び／又は誘導光ビーム（１５）の焦点の形状に影響する光学コンポーネント（２３）を備えるラスタ顕微鏡が開示される。当該ラスタ顕微鏡は、少なくとも一つの光学系（２９，５７）が前記対物レンズ（４５）の瞳（５９）に光学コンポーネントを結像するために設けられることで特徴付けられる。光学コンポーネント（２３）の像サイズは調整可能である。
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本発明は、照明ビーム路を画定する光源と、検出ビーム路を画定し、試料からの検出光を検出するスペクトル検出器とを有し、スペクトル分割部材を含む走査型顕微鏡に関する。この走査型顕微鏡は、スペクトル分割部材が照明ビーム路および検出ビーム路を分離することを特徴とする。
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励起レーザービームを出力するレーザーと、第１のコア及び第２のコアを有するファイバー部材とを有する走査型顕微鏡。第２のコアは第１のコア内に配置され、レーザーから励起レーザービームを受け、励起レーザービームを試料に供給する。可動ステージは、ファイバー部材の端部及び／または試料を支持し、ファイバー部材の端部及び試料を互いに相対的に移動させる。
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【課題】対象物の画像を形成する方法、及び対象物の画像を形成するための装置を提供する。
【解決手段】対象物の照射、及び対象物が位置する区域からの光の検出、並びに検出された光に基づく画像の形成を含み、対象物の照射は、撮像平面又は空間内の画素を識別し、各個々の画素に対して、検出された光出力の所定の第１の閾値に達するまで、ある一定の長さの時間に亘って対象物の一部分を照射することにより行われ、また、各個々の画素に対して対応する露出時間が指示され、それに続いて画像は、少なくとも１つの所定の照射パラメータに依存する計算された光出力値を各個々の画素に対して判断することにより構成される、対象物の画像を形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 落射照明を備えた工業用途の倒立型顕微鏡にも適用可能な種々の補助装置を簡単に組み込むことができ、コスト的に安価で、操作性にも優れた倒立型顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 試料の下側に配置された対物レンズ（１０）と、前記対物レンズから出射される観察光の光路に配置されて前記観察光を結像させる結像レンズ（１２）と、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置され、前記観察光の光路に落射照明を導入する落射照明光学素子（９）と、前記落射照明光学素子と前記結像レンズの間に配置され、前記観察光の光路からの光束の分岐又は前記観察光の光路への光束の導入を行う入出力ポート（２５）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 励起波長と蛍光波長を素早く切り換え、１つの細胞やオルガネラを時間分解して計測し、容易に暗視野に切り換えられバックグランドの低い鮮明な画像が得られる暗視野落射顕微鏡を提供する。
【解決手段】 光源１と、試料２０への照射光を選択的に透過させる切り換え可能な第１フィルタ３と、前記照射光をリング状の光束にする光学部材と、部材を透過した光を対物レンズ６の外側鏡筒と内側鏡筒との間に入射させる反射ミラー５と、試料から放出される光のみを透過させる切り換え可能な第２のフィルタ８、第２フィルタを透過した光を検出する検出手段を有する暗視野落射顕微鏡。対物レンズが、外側の鏡筒先端部１７に前記照射光を試料に集光する為の鏡面を有すると共に、試料からの光が内側の鏡筒内を通過する如く配されている。また、対物レンズと第２フィルタの間に、迷光の混入を防ぐ筒が配されている。 （もっと読む）

【課題】 落射照明光を遮蔽する部材の着脱の手間を省き、遮蔽部材の装着忘れを防止することができる光学顕微鏡の提供。
【解決手段】 ターレット６にはフィルタユニットが装着可能な装着部Ｐ１〜Ｐ４が設けられている。このターレット６を駆動手段５０で回転駆動して、フィルタユニット７ａ〜７ｃが装着されていない装着部Ｐ２を落射照明光路中に位置決めすると、シャッタ板３１が落射照明光路中に配設され落射照明光源５の光２２が遮蔽される。一方、フィルタユニット７ａ〜７ｃがポートＰ１〜Ｐ３に装着されるとシャッタ板３１が開き、フィルタユニット７ａ〜７ｃのいずれかを落射照明光路中に位置決めすることにより落射照明観察を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系の光軸が対物光学系の光軸に対して極力接近した光学構成を有し且つ、照明光学系の鏡筒内から照明光が漏れて対物光学系内に入り込まない顕微鏡を提供する。
【解決手段】撮影光学系２００は、クローズアップ光学系２１０と、その光軸Ａｘ１からオフセットした位置に置かれたズーム光学系２２０で、構成される。クローズアップ光学系は、ズーム光学系の光軸Ａｘ２の通過位置から離れた側のコバが切り欠かれている。切欠面の側方には、照明光学系３００を保持するズーム鏡筒５がある。ズーム鏡筒は、レンズ群３１１，３１２をその内部に保持した第１、第２レンズ移動枠５３，５４，これらの外周面から突出した駆動ピン５８，５９を案内する案内溝５１ｄ，５１ｅが形成された固定環５１，駆動ピン５８，５９を駆動するカム溝５２ａ，５２ｂが形成されたカム環５２，及びこのカム溝を外側から塞ぐ遮光シート６０から、構成される。 （もっと読む）

【課題】手術用顕微鏡下で使用される手術器具の操作性を向上させて、誤作動を確実に防止することのできる手術用顕微鏡システムを提供することである。
【解決手段】この手術用顕微鏡システムにあっては、手術用顕微鏡１とこの手術用顕微鏡１下で使用される電気メス５等を有している。そして、電気メス５の使用状態は、ＬＥＤ部９により検出され、フットスイッチ８によって電気メス５の入力操作が行われる。そして、上記検出結果に基いて、ジェネレータ７、ワークステーション１２、制御部によってフットスイッチ８が制御される。 （もっと読む）