【課題】高性能且つコンパクト、大口径比であっても明るい画像を広画角で投影面上に拡大投影できる画像投影装置を提供する。
【解決手段】ＤＭＤで反射された照明光のコーンアングルが投射光学系のコーンアングル以下、投射光学系のＦナンバーをＦno、ＤＭＤで反射された照明光の主光線と投射光学系の光軸とのなす角をα、ＤＭＤで反射された照明光のコーンアングルをβとしたとき、Ｆno＜1.8、8.5゜＜α＜10.5゜、β＜11.5゜投射光学系の射出瞳位置をEXP、投射光学系の射出瞳中心とＤＭＤの最大像高とを結んだ方線と投射光学系の光軸とのなす角をθ_１、投射光学系の最大像高での下光線と投射光学系の光軸とのなす角をθ_２、ＤＭＤで反射された照明光の下光線と投射光学系の光軸とのなす角をθ_３としたとき、θ_１＝θ_２−sin（1／(Ｆno×2)）、θ_２＞β−θ_３、41mm＜EXP＜60mmの関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】 例えば４極状の瞳強度分布において一方の２極状の領域と他方の２極状の領域との間の光強度のバランスを調整することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（ＬＳ）からの光により被照射面（Ｗ；Ｗ）を照明する照明光学系（１〜７）は、光束変換素子（２）と、光束変換素子を介した光に基づいて照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系（３，４）とを備えている。光束変換素子は、入射した各光束に基づいて互いに異なる光強度分布の光束を遠視野領域に形成する複数種類の単位領域を備え、複数種類の単位領域は、光束変換素子に対する入射光束の位置の変化に応じて光領域の外形形状が変化することなく光領域の光強度分布が変化するように配列されている。 （もっと読む）

【課題】太陽熱集熱器の受光面の面積を増大させることなく、曇天時の集熱量を増大させることができる太陽熱集熱器を提供する。
【解決手段】受光面６を形成するガラス部材を、前側に位置する第１のガラス部材４と後側に位置する第２のガラス部材５とによって構成する。これらの第１、第２のガラス部材４，５を、前方の全方位からの光を集光するレンズ１１とする。これらの第１、第２のガラス部材４，５の間に断熱部１７（隙間Ｓ）を形成した。 （もっと読む）

【課題】水晶基材の優れた光学特性を備え、かつ、表面の微細な凹凸形状による種々の機
能を発揮することができる光学物品、および、光学物品の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光学物品は、水晶基材５１と、水晶基材５１の少なくとも一面に熱
圧着されたガラス材５２と、を備え、ガラス材５２の表面に微細な凹凸形状５３が形成さ
れたことを特徴とする。本発明の光学物品の製造方法は、複数の金型を用いて熱圧着する
光学物品５の製造方法であって、一方の金型と他方の金型との間に水晶基材５１とこの水
晶基材５１のα−β相転移温度よりガラス転移温度が低いガラス材５２とを配置するとと
もに、これらの金型を型締めし、加熱してガラス材５２の表面に微細な凹凸形状５３を形
成する加熱プレス工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で良好な光学性能を有し、短いタクトタイムで効率よく成形が可能な導光レンズを提供することにある。
【解決手段】光源Ｐを覆う側に第１光入射面２、第２光入射面３、第３光入射面４、第４光入射面５、及び第４光出射面１２を設け、反対側に第１光反射面７、第２光反射面８、第１光出射面９、第２光出射面１０、及び第３光出射面１１を設けた。光源Ｐから出射した光線Ｌ１は第１光入射面２、第１光反射面７及び第１光出射面９を経て外部に出射され、光線Ｌ２は第２光入射面３、第４光出射面１２、空気層１５、第４光入射面５、第２光反射面８、及び第２光出射面１０を経て外部に出射され、光線Ｌ３は第３光入射面４及び第３光出射面１１を経て外部に出射される。 （もっと読む）

【課題】照明装置において、発散光を出射する光源からの光を高効率に導光部材へ入射させる。
【解決手段】照明装置１は、発散光を出射する光源２と、コア部４ａ、および該コア部４ａの外周に配設されて該コア部４ａより屈折率の低いクラッド部４ｂを有する導光部材４と、光源２と導光部材４の間の光路に配置されて、光源２および導光部材４を光結合させるコンデンサー光学系３とを備える。コンデンサー光学系３の焦点距離をｆとし、光源２の発光部からコンデンサー光学系３の光源側の焦点位置までの距離をＤＬとしたとき、下記条件式（１）を満足する。
１．５≦ｆ／ＤＬ≦４ … （１） （もっと読む）

【課題】 透明材料からなる柱状太陽レンズの全面に当たる全高度全方位からの太陽光線をレンズ底面に集光する太陽レンズを提供することが課題である。
【解決手段】 柱状の縦集光レンズに断面が逆台形の集光レンズを微少な空隙を介して噛み合わせると共に、二等辺三角形の整流ユニットを無数に並べてなる鋸歯状の整流レンズを微少な空隙を介して出光面に噛み合わせ、レンズの外周全面から入射する光線を縦集光レンズや集光レンズの斜面、整流レンズの斜面で反射または透過させて出光面に集光させるように構成し前記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】 集光式の太陽光発電装置や自然照明のための採光装置においては、太陽光を有効に活用するために、太陽追尾装置で移動する太陽の位置に合わせて集光面を絶えず太陽に直面させる必要があった。太陽の位置に関係なく静止したレンズで所定の範囲に太陽光を集光できる太陽レンズの性能向上とコストを削減することが課題である。
【解決手段】 断面が逆台形の集光レンズの出光面に、二等辺三角形の整流ユニットを無数に並べてなる鋸歯状の整流レンズを噛み合わせなる太陽レンズにおいて、集光レンズの入光面を断面が逆三角形の中空斜面で形成すると共に、集光レンズの外斜面に鏡面反射処理を施して前記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】狭い空間内に組み込むことができ、特定の波長域の検査光を選択的に出射させるコンパクトな構造の集光レンズ系及び照明装置を実現する。
【解決手段】本発明による集光レンズ系は、光源（２ａ）から出射した広帯域の波長光を集光すると共に所定の波長帯域の波長光を集束性光ビームとして選択的に出射させる集光レンズ系である。当該集光レンズ系は、第１の正レンズ（２０）と、特定の波長域の波長光を選択的に透過させる波長選択フィルタ（２１）と、負レンズ（２２）と、第２の正レンズ（２３）とを順次有する。或いは、第１の正レンズと第２の正レンズとの間に２つの負レンズ（３１，３３）を配置し、これら負レンズ間に波長選択フィルタ（３２）を配置する。光源から出射した照明光が波長選択フィルタに斜めに入射して収差が生じても、当該収差は後段の負レンズにより補正される。この結果、光路長の短い集光レンズ系が実現される。 （もっと読む）

【課題】太陽の光エネルギーを有効に収集可能な光熱転換器を提供する。
【解決手段】少なくとも、一つの外スリーブ１２と、少なくとも一つの集光レンズ１４と、を含む光熱転換器１において、外スリーブ１２は、その管壁に貫通孔２２が少なくとも一つ開設されている。集光１４レンズは、貫通孔２２に設けられており、光線の焦点を外スリーブ１２の内部に位置させるためのものである。これにより、熱交換効率が向上し、流体を数百℃に加熱可能である。 （もっと読む）

【課題】発光体自身での光の吸収による光量ロスを極力減らして、発光体から発せられる蛍光、発光、照明光などを取り出す効率を格段に向上させることが可能な光学系を提供する。
【解決手段】楕円状面１１ａ，２１ａ、円錐状面１１ｂ，２１ｂを有する側面１１，２１と、上面１２，２２と、底面１３，２３とを備えた、板状光学部材１，２が、底面同士が面対称に重ね合せられてなる。底面間には、上面１２，２２と同じ形状及び大きさの反射領域Ａが、楕円状面側の端部から円錐状面側へ向けて設けられている。板状光学部材１は、楕円形状の第一焦点位置に溝部１４を有する。板状光学部材１，２は、夫々、楕円形状の第一焦点と円形状の曲率中心とが一致し、楕円形状の第二焦点が円錐状面の近傍に位置し、円錐状面における楕円形状の第二焦点位置近傍に、開口部１５，２５を有する。 （もっと読む）

【課題】 所望の形状および所望の照度の瞳強度分布を形成することができ、ひいては多様性に富んだ照明条件を実現することのできる照明光学装置。
【解決手段】 照明光学装置は、光の入射順に第１空間光変調器（２）と第２空間光変調器（３）とからなる空間光変調ユニットと、第１空間光変調器および第２空間光変調器を介した光束に基づいて照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系（５，７）とを備えている。第１空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の第１光学要素（２ａ）を有する。第２空間光変調器は、複数の第１光学要素と対応付けられて配列されて個別に制御される複数の第２光学要素（３ａ）を有する。 （もっと読む）

【課題】 空間光変調器とオプティカルインテグレータとの間の光路の省スペース化を図りつつ、多様性に富んだ照明条件を実現することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（ＬＳ）からの光に基づいて被照射面（Ｍ）を照明する照明光学系。二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素（２ａ）を有する空間光変調器（２）と、空間光変調器と被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータ（４）とを備えている。空間光変調器とオプティカルインテグレータとの間の光路中には、実質的にパワーを有する光学部材が配置されていない。 （もっと読む）

【課題】 照明瞳面に形成する瞳輝度分布の制御性を向上させる
【解決手段】 光源部（１）からの光に基づいて照明瞳面（５ｂ）に所定の光強度分布を形成し、被照射面をケーラー照明する照明装置は、二次元的に配列された複数の反射面（ＳＥ１）を備え、複数の反射面の姿勢がそれぞれ独立に制御可能な空間光変調器と；この空間光変調器の前記複数の反射面を経由することによって角度分布が与えられた光を集光して、前記照明瞳面に所定の光強度分布を形成する集光光学系（４）とを備え、反射面の大きさをＤ、反射面の曲率半径をｒ、光源部（１）からの光の波長をλとするとき、
０．８ ≦ Ｄ² ／（ｒ*λ） ≦ ５
を満足する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系に関し、照明系（２００，７００）は、投影露光装置の作動において投影露光装置の投影対物系（４０）の物体平面（ＯＰ）を照明し、かつ照明系（２００，７００）は、照明系の作動において生成されて物体平面（ＯＰ）内でのみ重ね合わされる互いに点対称な関係にある光成分（１０，２０）が互いに直交する偏光状態を有するように適応される。 （もっと読む）

【課題】有効光源形状を精度良く形成する照明光学系、露光装置、デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】光源からの光束を用いて被照明面を照明する照明光学系において、被照明面とフーリエ変換の関係を有する位置に多重極形状の光強度分布を形成する第１の光学素子と、第１の光学素子に入射する光束の角度分布を規定する第２の光学素子と、第１の光学素子を経た光束を集光するコンデンサ光学系と、一方のプリズムが円錐形状の凹面と平面を有して他方のプリズムが円錐形状の凸面と平面を有し、各プリズムの半頂角が互いに等しく、各プリズムの間隔が可変である一対の円錐プリズムと、を有し、半頂角をｓ［°］、角度θを９０−ｓ［°］、一対の円錐プリズムに入射する光束の片側の開き角をｂ［°］とするとθ＋ｂ≦３５［°］が満足され、一対の円錐プリズムに入射する光束の開口数が０．１以下で、一対の円錐プリズムに入射する光束の光束径は２０ｍｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】 例えば回折光学素子のような光学部材の光学特性を安定的に維持することのできる照明光学系。
【解決手段】 本発明の照明光学系は、光源（ＬＳ）からの光束を回折光学素子（３ａ）の有効回折光学面まで送光する送光光学系（１，２）を備えている。送光光学系は、周辺よりも中央において光強度の高い第１光強度分布の状態で入射した非平行光束に基づいて、中央の光強度が第１光強度分布よりも低く且つ周辺の光強度が第１光強度分布よりも高い第２光強度分布を特定領域に形成する分布形成部材（２）を備えている。分布形成部材は、光軸（ＡＸ）と特定の角度をなして入射する光線群が、有効回折光学面において特定の角度に応じた位置に、周囲よりも光強度の低い中央領域を有する光強度分布を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成かつ低コストでレーザ光を効率良く合成することができるレーザ光合成装置を得ること。
【解決手段】レーザ光の放射角に異方性を有した複数のレーザ光源１１と、レーザ光源１１に対して１対１で配設されて、レーザ光源１１から射出された各レーザ光を平行光化するコリメーターレンズ１２と、各コリメーターレンズ１２で平行光化されたレーザ光の光束を集光するコンデンサーレンズ１３と、コンデンサーレンズ１３によって集光されたレーザ光の光束を入射させて合成する合成光学素子１４と、を備え、レーザ光源は、レーザ光の発光領域の長手方向がコンデンサーレンズ１３の径方向に一致するよう配置される。 （もっと読む）

入射光を収集する集束素子と、光を受け取り、その光を転送するために複数の増分段差を備えた転送部品と、レシーバに光を集めかつ集束させることができる複数のインクリメンタル部分を有する導波路とを備えたソーラー・コンセントレータが提供される。別のシステムでは、レシーバを光源に置き換え、システムの光学部が照明を提供する。
（もっと読む）

【課題】光軸の回りで光拡散の程度が異なる照明レンズと、その照明レンズを備えた照明装置とを提供すること
【解決手段】平面状に形成された第一面と、前記第一面とは反対側に位置する第二面とを備え、前記第一面と直交する方向から見た場合に円形状に形成された照明レンズにおいて、前記第二面は、前記照明レンズの周面側のある一の向きから見た場合に、周辺部に対して中央部がへこむように凹状に形成され、一方、前記第二面は、前記照明レンズの周面側の前記一の方向と直交する向きから見た場合に、山形状に形成されている。 （もっと読む）