【課題】マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系を提供する。
【解決手段】マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）用の照明光学系は、光源（２、２’）からの照明光（３、３’）で物体表面（１９）を照明するのに用いられる。少なくとも二つの照明設定を照明光学系の瞳面（１２）に設定するために、少なくとも二つの個々の光学モジュール（２８、２９）を用いる。光学モジュールの上流にある光路には、第１の光学モジュール（２８）及び／又は第２の光学モジュール（２９）に照明光（３、３’）を任意に送る分離要素（９）がある。二つの光学モジュール（２８、２９）の下流にある光路には、第１の光学モジュール（２８）及び／又は第２の光学モジュール（２９）を通過した照明光（３、３’）を照明領域に送る結合要素（３５）がある。これにより、照明光学系と光源をも有する照明系とがもたらされ、異なる照明設定間の高速切り換えが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ露光装置用の照明システムのための向上した集光装置を提供すること。
【解決手段】マイクロリソグラフィ露光装置の照明システムは瞳平面５４を視野平面６２に変換するための集光装置６０１を有する。集光装置６０１は、薄い平面状プレートＬ１１として形成される第１のレンズ、非球面凹面の後面を有する負のメニスカス・レンズとして形成される第２のレンズＬ１２、第３のレンズＬ１３は非球面凸面の後面を有する正のメニスカス・レンズ、、第４のレンズＬ１４はやはり非球面凸面の後面を有する両凸面レンズ、第５のレンズＬ１５は凹面の後面を備えた正のメニスカス・レンズ、第６のレンズＬ１６は平凹面レンズ、最終段レンズである第７のレンズＬ１７はわずかに凹面の前面を備えた正のメニスカス・レンズで構成される。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状を必要な形状に容易に調整できるようにする。
【解決手段】光源調整方法は、照明光源の目標とする形状に対する実際の形状の変化を表す画像変調パラメータＺ_jを設定するステップ１０２と、照明系変調パラメータｆＢｊに基づいて照明光源の形状が調整される第１の照明光学系に関して、画像変調パラメータＺ_jと照明系変調パラメータｆＢｊとの変換の行列Ｂを求めるステップ１１３，１１４と、その行列Ｂを用いて、画像変調パラメータＺ_jの第１組の値ＺＶ_jに対応する照明系変調パラメータｆＢｊの第２組の値ｆＢＶｊを求めるステップ１１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現する。
【解決手段】被照射面（Ｍ）を照明する照明光学装置。照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸（ＡＸ）を含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するための照明瞳形成手段（３，４、７，８）と、複数の周辺領域に位置する光強度分布の位置および大きさを中心領域に位置する光強度分布とは独立して変更するための領域変更手段（６：６ａ，６ｂ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第１円弧状領域分布を形成するための第１基本素子(50A)と、第２円弧状領域分布を形成するための第２基本素子(50B)と、第３円弧状領域分布を形成するための第３基本素子(50C)と、第４円弧状領域分布を形成するための第４基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】長短軸方向ビームサイズを方向別に変更可能とするとともに、均一な強度でビームを照射することができるようにする。
【解決手段】長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａと、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａと、を含み、光源１から入射した平行光の直交する２軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系を備えたビームサイズ可変照明光学装置であって、前記シリンドリカルアレイレンズ群１０ａ，２０ａ及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群３０ａのいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し（Ｄｂ）、投影面９上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する。 （もっと読む）

【課題】空間の仕切り面に自在に配置される反射部材に照明器具からの光を反射して配光する反射照明システムにおいて、配光方向を可変でき、かつ、配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整できるようにする。
【解決手段】本照明システムは、天井面１０１の任意の位置に配置自在である反射部材１と、側壁面１０３に配置され反射部材１に光を照射する照明器具２とを有する。反射部材１は照明器具２からの光を反射する反射面を有する複数の反射片と、各反射片をそれぞれ回転自在とする回転軸とを有し、各反射片は回転軸が互いに平行に、かつ、各反射面と天井面１０１との成す角が相互に同じに配置される。従って、各反射片を回転して反射光を所望の方向に配光でき、かつ、複数の反射片により配光方向を調整するので、１枚の反射片を用いる場合に比し配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の反射光学素子のうちの１つを光路中に位置決めする装置であって、各反射光学素子を容易に交換することのできる素子切換装置。
【解決手段】 複数の反射光学素子（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ）のうちの１つを光路中に位置決めする素子切換装置（３０）は、光路側とは反対の側から複数の反射光学素子を着脱自在に取り付け可能な本体部（３０ａ）と、本体部に取り付けられた複数の反射光学素子から選択された１つの反射光学素子を光路中に位置決めするために本体部を駆動する駆動部（３０ｃ）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】変更可能な部分干渉性及びフィールドサイズを有するマイクロリソグラフィー系を提供する。
【解決手段】該マイクロリソグラフィー系は、照明源、対物レンズ側からの順序で、（ａ）前記照明源からの照明を受光する第１の回折光学部材、（ｂ）ズームレンズ、（ｃ）第２の回折光学部材、（ｄ）コンデンサレンズ、（ｅ）リレーレンズ、（ｆ）レチクルを含む照明光学系、及び基板上に前記レチクルを結像する投影光学系からなり、前記マイクロリソグラフィー系がズーミング可能な開口数を提供する。 （もっと読む）

【課題】光源の消耗を抑制し露光光の照度を適切に設定することができる照明装置を提供する。
【解決手段】感光基板Ｐに対して露光光を照射する照明装置ＩＬにおいて、少なくとも１つの口径が異なる複数の入射口１２ａ〜１２ｃを有し、該複数の入射口１２ａ〜１２ｃから受光した前記露光光を前記感光基板Ｐに対して共通の射出口１４ａ〜１４ｇから射出させるライトガイド１３と、前記複数の入射口１２ａ〜１２ｃのうち少なくとも１つの入射口に対して選択的に前記露光光を入射させる光源部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学性能に影響を与えない方法で顕微鏡の光学系を伸縮させて、接眼部の高さを変えられる顕微鏡照明装置を提供する。
【解決手段】光源１５からの光を略平行光束にするコレクタレンズ１４と、コレクタレンズ１４からの略平行光束中に備えられた視野絞り１３と、視野絞り１３からの光線を略平行光線に変換するフィールドレンズ７と、フィールドレンズ７からの略平行光線を試料面１２に集光するコンデンサレンズ５を備えた顕微鏡照明装置において、コンデンサレンズ５とフィールドレンズ７の間の距離を可変とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高品位な解像を可能にする照明光学系及び露光装置を提供する。
【解決手段】光源からの光を利用して原版のパターンを基板に露光する露光装置に使用され、前記原版を照明すると共に露光量調整部を有する照明光学系において、前記露光量調整部は、各群が一以上の光学素子を含み、各群の間隔が可変な一対の光学素子群と、前記照明光学系の光路内において、前記一対の光学素子群よりも原版側に配置された開口絞りと、を有し、前記一対の光学素子群の間隔が変化することによって、前記一対の光学素子群を経た前記光の光束径が変化し、かつ、有限又は無限遠にある点から射出される光線の前記開口絞りにおける広がりが変化することを特徴とする照明光学系を提供する。 （もっと読む）

【課題】
広範囲で連続的に輪帯率を調整することができる照明光学装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光束を被照射面に照射する照明光学装置であって、複数のプリズムを有する第１のプリズム群と、複数のプリズムを有する第２のプリズム群と、第１のプリズム群又は第２のプリズム群を選択して光路中に導入するプリズム群選択手段とを有し、光路中に導入された第１のプリズム群又は第２のプリズム群の複数のプリズムのうち少なくとも１つを光軸方向に移動することにより、第１のプリズム群又は第２のプリズム群から射出される光束の輪帯率を変化させ、第１のプリズム群から射出される光束の輪帯率の上限値は、第２のプリズム群から射出される光束の下限値以上であり、第２のプリズム群から射出される光束の上限値よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】 高精度な露光量制御を行う露光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光束を用いてレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系と、を備える露光装置であって、前記照明光学系は、前記レチクルとフーリエ変換の関係にある面の光強度分布である有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記有効光源形成手段よりも前記光源側に配置され、露光面における露光量を調節する露光量調整手段と、を有し、前記露光量調整手段は、離散的に前記光束の透過率を変更する透過率変更手段と、前記光束の径を調整するズーム光学系と、前記ズーム光学系により調整された前記光束の径を規定する一定の開口領域を有する光束径規定手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置レイアウトに対して高い自由度を有する照明光学装置を提供する。
【解決手段】光源から射出された光束を照明対象に導光する照明光学装置であって、前記光源と前記照明対象との間に配置された拡大結像光学系と、前記拡大結像光学系と前記照明対象との間に配置された縮小光学系とを有し、前記拡大結像光学系は、前記光源と前記照明対象との間に像面を形成するように構成されると共に、１倍よりも大きい倍率を有し、前記縮小光学系は、１倍未満の倍率を有することを特徴とする照明光学装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ハードの複雑化を防ぎながら、無段階の光量調整を行うことができ、望ましい分解能での光量調整が可能な手段を提供する。
【解決手段】 光源３０からの光でレチクル１９を照明する照明光学系３１の瞳面に固定開口を有する絞り２５を配設し、かつ、該絞りの該固定開口を含む領域への前記光源からの光の照射範囲を拡大または縮小して該固定開口を通過する照明光光量を調整するズーム光学系２８または開口面積可変の第２絞り３６を設ける。 （もっと読む）

【課題】シンプルで明るいケーラー照明系と照明ムラの少ない集光レンズアレイを用いたケーラー照明系との両方が簡単な構成で交換使用可能な顕微鏡落射照明光学系。
【解決手段】顕微鏡の対物レンズをコンデンサレンズと兼用させる顕微鏡用落射照明光学系において、顕微鏡の対物レンズの後側焦点位置５に光源の像を結像させるリレー光学系４の少なくとも一部を共通化させ、その入射側に、少なくとも光源１とコレクターレンズ２とからなる第１の照明光学系Ｂと、少なくとも光源１１とコリメートレンズ１２と集光レンズアレイ１３とからなる第２の照明光学系Ｃとを、それぞれの光学系による光源の像位置が相互に一致するように入れ換え可能に配置した顕微鏡落射照明光学系。 （もっと読む）

【課題】オートフォーカス装置、レーザー光源の導入部、又は像出力ポート等の付加装置を付加し、この付加装置を用いながら位相差観察を行うことができる位相差顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源と、前記光源からの光を標本に照射するための照明光学系２と、照明光学系２の瞳位置に配置された輪帯状の遮光手段と、対物レンズ４と、対物レンズ４の瞳位置Ｐ１を瞳共役位置Ｐ２へ伝達する伝達レンズ１３ａ，１５を有する観察光学系３と、を有し、観察光学系３に観察付加装置２５を設置可能である標本の位相差観察を行う位相差顕微鏡１において、対物レンズ４の瞳位置Ｐ１と瞳共役位置Ｐ２との間に設置され、対物レンズ４の光軸方向の位置が変更される際に、対物レンズ４の瞳共役位置Ｐ２を維持する補正手段１３ｂを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明光による照明視野の照明のためのマイクロリソグラフィ照明システム、この種類の照明システムを含むマイクロリソグラフィ投影露光装置、微細構造構成要素のためのマイクロリソグラフィ製作方法、更に、この種類の方法によって作製した構成要素を提供する。
【解決手段】マイクロリソグラフィ照明システム（５）は、照明視野（３）の照明の役割をする。有利に用いられる配光デバイス（９、１０）は、第１の照明面（１１）内に２次元強度分布を発生させる。光学ラスター要素の第１のラスターアレイ（１２）は、２次光源のラスターアレイを発生させる。付加的な光学効果を有するデバイスは、２つのラスターアレイ（１２；１６）に空間的に隣接して配置され、このデバイスは、照明角度変動デバイス（１４）として構成することができる。付加的な光学効果を有するデバイス（１４）は、照明光（８）の強度及び／又は位相及び／又はビーム方向に影響を与える。この影響は、全照明強度に対するラスター要素（２３、２８）の強度寄与が照明視野（３）にわたって変化するようなものである。これは、全照明強度に関して及び／又は異なる照明方向からの強度寄与に関して、照明強度が所定の方法で照明視野にわたって影響を受けることを可能にする。 （もっと読む）

簡易な構成に基づいて、照明瞳に形成される二次光源の縦横比を随時調整することのできる照明光学装置。光源（１）からの光束に基づいて被照射面（Ｍ）を照明する照明光学装置。被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある照明瞳に形成される光強度分布の縦横比を変化させるための縦横比変化手段（８，９）を備えている。縦横比変化手段は、照明瞳と実質的にフーリエ変換の関係にある位置またはその近傍に配置されて、直交する２つの方向のパワー比を変化させる機能を有する光学素子群（８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ）を備えている。
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