【課題】顕微鏡装置を構成する光学系により生じる偏光状態の変化を補正する偏光補正光学系及びこの偏光補正光学系を備える顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】偏光子１、コンデンサレンズ２、対物レンズ３及び検光子４を備える偏光顕微鏡光学系において、偏光子１及びコンデンサレンズ２の間に、第１光学素子１１、第１λ／４板１２、第２光学素子１３及び第１λ／２板１４の順で並んだ第１偏光補正光学系１０を配置し、対物レンズ３及び検光子４の間に、第２λ／２板２１、第３光学素子２２、第２λ／４板２３、第４光学素子２４の順で並んだ第２偏光補正光学系２０を配置して、コンデンサレンズ２及び対物レンズ３で生じる偏光状態の変化を補正する。 （もっと読む）

【課題】 光源から射出される光を効率よく利用することのできる光学ユニットを提供すること。
【解決手段】 光学ユニットが、仮想面を挟んで２つの反射面が対向して配置されている光学ユニットであって、一方の側の反射面は、半球状の第１反射面と、放物面であってその頂点近傍に第１開口部を有する第２反射面を備え、他方の側の反射面は、放物面であってその頂点近傍に第２開口部を有する第３反射面を備え、第１反射面の周辺部が第１開口部と接するように設けられ、第２反射面の放物面頂点が第３反射面の放物面焦点位置と一致し、第３反射面の放物面頂点が第２反射面の放物面焦点位置と一致するように第２反射面と第３反射面が配置され、第１反射面の曲率中心が第２反射面の放物面頂点と一致するように第１反射面と第２反射面が配置され、仮想面よりも第１反射面側に設けられた第１屈折面と、仮想面よりも第３反射面側に設けられた第２屈折面を有すること。 （もっと読む）

【課題】標本の個々の断層面を効率よく観察できるようにする、シート光を発生するための光学装置を提供すること。
【解決手段】１つの光束を放射するための１つの光源と、この光束をシート光の形状に変換するための複数の光学素子とを有する、特に選択的平面照明顕微鏡（ＳＰＩＭ）における３次元標本の個々の断層面の照明に適した光学装置において、シート光３の断面を変更する手段、シート光３の長さを変更する手段、および／または、シート光３の内部を走る個々の放射成分を標本物質に向けるために使用される、向きに影響を及ぼす手段が設けられる。それにより、種類が異なる複数の対物レンズを使用して同じ標本断層面を観察する際に、それぞれの照明条件にシート光３の幾何形状を適合させることが可能になるとともに、必要な場合には、観察される標本断層面の内部に照明に起因して形成される影を低減することも達成される。 （もっと読む）

【課題】放射ビームの偏光を調整することができる新規の装置および方法を提供することである。
【解決手段】リソグラフィ装置の照明器で、照明モード規定要素２が放射ビームＰＢを双極形６に変換する。所与の角度範囲を有する放射ビームの割合が、偏光回転体１０ａを通過する。変形回転体１０ａは、リソグラフィ装置の光軸を横断する方向１２ａで平行移動可能である。偏光回転体１０ａは、自身を通過する放射の偏光を調整するように作用する。そして、異なる角度範囲を有する放射ビームの割合は、異なる偏光回転体１０ｂを通過する。偏光回転体１０ｂは、リソグラフィ装置の光軸を横切る方向１２ｂで平行移動可能である。偏光回転体１０ｂは、自身を通過する放射の偏光を調整するように作用する。偏光回転体１０ａ，１０ｂは例えば半波長板、１／４波長板、または他の何らかの形態の偏光回転体を含むことができる。 （もっと読む）

本発明は、光源（６）と、光学装置（４）とを有し、さらに、ビームの第１の部分を光源から可視領域の第１の波長領域で画像表示装置（２）へ伝送し、ビームの第２の部分を可視領域外の第２の波長領域で拡散的に反射するための少なくとも１つのフィルタ装置（１０，１２）を有している投影装置に関している。
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【課題】マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム、特に、マスク上に入射する投影光の照明角度依存偏光状態を設定することができる照明システムを提供する。
【解決手段】マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の照明システム（１２）は、光束を発生させるための第１の光学的配置（２６、３２；１３２）を有する。光束の光は、光束の断面の少なくとも一部にわたって異なる偏光状態を有し、空間的に少なくとも部分的にコヒーレントである。更に、照明システム（１２）は、第１の光学的配置（２６、３２；１３２）と瞳平面（４２）との間に配置された第２の光学的配置（３６、３８）を有する。第２の光学的配置（３６、３８）は、瞳平面（４２）内の少なくとも２つの異なる位置（Ｐ_xＰ_-xＰ_YＰ_-Y）間に光束を分割し、この場合に、第１の光学的配置によって発生された偏光状態を重ね合わせて、少なくとも２つの位置（Ｐ_xＰ_-XＰ_YＰ_-Y）で異なっている瞳偏光状態を形成する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光量を損失することなく輪帯照明を得られ、明るい位相差観察や暗視野観察が可能な照明光学系、露光装置用の照明光学系とそれを用いた顕微鏡照明装置。
【解決手段】光源１１と、光源１１から発散する光束を集光して集光又は発散あるいは平行な光束にする集光光学系１３と、光束を輪帯状に集光するドーナツ状レンズ１０と、輪帯状に集光した光束の集光位置近傍に配置された輪帯開口２と、輪帯開口２の像を観察光学系又は投影光学系の対物レンズ５の瞳位置６に投影するコンデンサーレンズ３とを備えている照明用光学系。 （もっと読む）

投影露光装置が、物体平面３４、像平面、光軸２８、非テレセントリック入射瞳３２を有する投影レンズ１０を備える。この装置は、中間像平面８０と視野絞り３６；３６’とを有する照明系１２を更に備える。この視野絞りは中間像平面８０内またはその近傍に位置決めされ、投影レンズ２４の光軸２８を含まない物体平面３４内に照明されたフィールド１４を決める。照明系１２は、物体平面３４においては、中間像平面８０から出て来る主光線４２全部と投影レンズ２４の光軸との間に形成された角度の平均が０°とは異なるように構成されている。
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