【課題】半導体リソグラフィ光学システムにおいて、狭い設置領域で使用可能であると共に、レンズを汚す粒子を生成しないシステム絞りを備えた光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置（ＰＬ）は少なくとも１つのシステム絞り（１）を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】リセットセンサが経年変化等によって劣化した場合であっても、絞り制御の精度を保てるようにする。
【解決手段】システム制御部１０１は、絞りのリセット動作の開始位置に対応する所定の励磁位相にステッピングモータを励磁し、絞りの位置カウンタをクリアした後、絞りのリセット駆動を開始し、リセット位置が検出されたか否かを判定する。リセット位置が検出されると、リセット動作の開始位置からリセット検出位置までのステッピングモータの駆動パルス量と、記憶部１１２に記憶されている調整時のリセット駆動量との差から絞り駆動補正量を算出し、記憶部１１２に記憶する。絞り駆動の際には、ＡＥ処理等で決定された目標絞り値を取得して目標パルス位置に変換し、その目標パルス位置と記憶部１１２に記憶した絞り駆動補正量とから、駆動パルス位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】調整可能な絞り開口部を有したＰアイリスレンズを備えたカメラのキャリブレーション法において、Ｐアイリスレンズのパラメータをカメラが利用できるものにする手順を容易にする。
【解決手段】第一の開口部の位置と第二の開口部の位置との間の絞り開口部のサイズを調整する段階、前記調整の間に複数の画像を記録する段階、前記画像を分析する段階、および高品質な画像が得られる絞り開口部を前記分析に基づき決定する段階を含むキャリブレーションとする。 （もっと読む）

【課題】面積の異なる複数の絞り開口を段階的に制御するようにした絞り装置で、各段階ごとの個体差を好適に調整できるようにする
【解決手段】絞り入力手段４４が所定の絞り値を入力すると、制御回路３９は、回転子３４，２５の回転位置から間接的に検出するホール素子３７，３１から得た情報と絞り制御データ記憶回路４０から得た情報とによりモータ駆動回路４９を介して絞り部材１６，１７を駆動するモータＭ１，Ｍ２を回転させ、所定の絞り開口が得られる。組立後の個体差調整時には、予め絞り制御データ記憶回路４０に記憶された基準データでモータＭ１，Ｍ２を回転させ、回転子３４，２５が停止したときのホール素子３７，３１の出力電圧と、電圧基準データ４６から得た設計上の基準電圧とを調整用比較回路４２が比較し、その比較情報によって調整データ抽出回路４３がタイムテーブル４８から調整データを抽出し、絞り制御データ記憶回路４０に記憶させる。 （もっと読む）

【課題】遮光羽根の作動特性の調整を容易かつ精度よくおこなうこと。
【解決手段】永久磁石からなる回転子１０１と、回転子１０１の周面に対向するように脚部を配置したヨークと、を備え、回転子１０１の回動にともなって当該回転子１０１に設けられた駆動ピン１０６を往復動させることによって、当該駆動ピン１０６に連結された遮光羽根の開閉動作をおこなう駆動機構１００の駆動特性調整機構であって、回転子１０１の回転中心を中心としてヨーク１０２を回動可能に設け、ヨーク１０２に対して、当該ヨーク１０２を所定方向に回動させる付勢力を作用させる突起１１２と、ヨーク１０２を所定方向とは反対方向に付勢するとともに、突起１１２による付勢力に抗してヨーク１０２を回動させるネジ１１４およびネジ孔１１６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】絞り駆動リングを用いて複数枚の絞り羽根を同時に同じ方向へ往復回転させて絞り開口を制御する絞り装置であって、個体差調整を、組立完了後に羽根室外で簡単に行えるようにした光学機器用絞り装置を提供すること。
【解決手段】地板１とカバー板２との間に構成された羽根室に、絞り駆動リング６と３枚の絞り羽根７，８，９が配置されている。地板１の羽根室外には、電磁アクチュエータＭ１が取り付けられていて、回転子１４と一体の腕部１４ａに設けられた出力ピン１４ｃが、羽根室内で絞り駆動リング６の長孔６ｄに嵌合している。地板１には、出力ピン１４ｃを羽根室に挿入させるための長孔１ｅの長さ方向の両側に、偏心部材１０，１１を取り付けていて、それらを回転させて腕部１４ａの当接位置を変えることにより、最大絞り開口と最小絞り開口の個体差調整が可能になっている。 （もっと読む）

【課題】オートアイリス制御時のアイリスの感度を制御装置側の設定手段を操作することで遠隔調整可能な雲台システムを提供する
【解決手段】雲台１０と，雲台に搭載された撮像装置５０と，撮像装置に装着されたレンズ装置６０と，雲台，撮像装置およびレンズ装置を遠隔制御する制御装置２０とを含む雲台システム１００であって，レンズ装置は，撮像光学系の透過光量を調節自在なアイリス部６６と，アイリス部を駆動するアイリス駆動部７５と，アイリス部の感度調整量を手動で設定可能な手動設定手段７３とを備え，制御装置は，アイリス部の感度調整量を遠隔で設定可能な遠隔設定手段４５と，手動設定手段と遠隔設定手段との間の設定を遠隔で切替選択可能な遠隔切替手段４３とを備え，レンズ装置は，手動設定手段または遠隔設定手段で設定された感度調整量に応じて，アイリス部の感度を調整自在なアイリス感度調整手段８０を備える。 （もっと読む）

【課題】 光量調節部材を駆動するステッピングモータに対して、励磁力が強い位相に励磁を行うことで、リセット動作を行う光量調節装置の場合、モータの位相を正確に合わせて光量調節装置に取り付ける必要がある。このため、製造コストが高くなるという問題があった。
【解決手段】 最初にリセット位置とは異なる所定の位相に励磁を行ってから、さらにリセット位置の位相に励磁を行うことを特徴とする。これにより、光量調節部材を駆動するステッピングモータの取り付け誤差による位相のずれが存在しても、正常にリセット動作を行うことが可能となる。 （もっと読む）