【課題】 開口数ＮＡ＞１で浸漬リソグラフィを可能にする値に達し得る非常に高い像側開口数の可能性を有する、真空紫外領域での使用に適したカタディオプトリック投影対物レンズを提供する。
【解決手段】 投影対物レンズの物平面に設けられたパターンを投影対物レンズの像平面上に結像するためのカタディオプトリック投影対物レンズが、物平面に設けられたパターンを第１中間像に結像するための第１屈折対物レンズ部分と、第１中間像を第２中間像に結像するための少なくとも１つの凹面鏡を有する第２対物レンズ部分と、第２中間像を像平面上に結像するための第３屈折対物レンズ部分を有し、投影対物レンズが最大レンズ直径Ｄ_ｍａｘ、最大像視野高さＹ’、及び像側開口数ＮＡを有し、ＣＯＭＰ１＝Ｄ_ｍａｘ／（Ｙ’・ＮＡ^２）であり、条件ＣＯＭＰ１＜１０が当てはまる、カタディオプトリック投影対物レンズ。 （もっと読む）

正の屈折力を有し像面に対して固定された第１レンズ群（１）と、負の屈折力を有し光軸上を移動することにより変倍作用をもたらす第２レンズ群（２）と、像面に対して固定された絞り（６）と、正の屈折力を有し変倍及び合焦時に光軸方向に対して固定される第３レンズ群（３）と、負の屈折力を有し像面に対して固定された第４レンズ群（４）と、正の屈折力を有し、第２レンズ群の光軸上での移動及び物体の移動によって変動する像面を基準面から一定の位置に保つように光軸上を移動可能な第５レンズ群（５）とが、物体側より順に配置される。第３レンズ群は、光軸に対して垂直方向に全体が移動可能である。条件式、０．０３５＜｜βｗ・βｔ／Ｚ｜＜０．０７５を満足する。βｗ：広角端での第２レンズ群の倍率、βｔ：望遠端での第２レンズ群の倍率、Ｚ：ズーム比。
（もっと読む）

【課題】 全変倍範囲において高い光学性能を持ったズームレンズ及びそれを有する光学機器を得ること。
【解決手段】 物体側より順に、ズーミングのために移動しない正の屈折力の第１レンズ群、ズーミングに際して光軸方向に移動する負の屈折力の第２レンズ群、ズーミングのために移動しない第３レンズ群、ズーミングに際して光軸方向に移動する正の屈折力の第４レンズ群の４つのレンズ群のみをレンズ群として有するズームレンズにおいて、該第１レンズ群は物体側に凸状の貼合せ面を有し、該貼合せ面に回折格子により構成される回折光学部が設けられており、該貼合せ面の曲率半径をＲＤ、該第１レンズ群の焦点距離をｆ１とするとき、
０．５ ＜ ＲＤ／ｆ１ ＜ １．２
なる条件を満足すること。 （もっと読む）

【課題】 主光線の射出角を一定の範囲に制御し、低コスト化及び量産化を実現しつつ、広角での結像画質を高め、百万画素以上の高解像度の製品に応用される小型撮像レンズ系を提供する。
【解決手段】 物体側から順に、開口絞りと、両凸の第１レンズと、物体側に凹面を向けたメニスカス第２レンズとから構成され、該第１レンズと第２レンズでは共に少なくとも１面が非球面を有し、さらに、そのうち少なくとも一枚のレンズがガラスレンズであり、条件式
１＜Ｔ／ｆ＜１．６ ．．．（１）
ｄ／Ｒ２＞１．６ ．．．（２）
を満足する。
但し、Ｔ：開口絞りから像面までの距離、ｆ：全系の焦点距離、Ｒ２：第１レンズの結像面に近い面の表面曲率半径の絶対値、ｄ：第１レンズの厚みと定義する。 （もっと読む）

【課題】 全変倍範囲において高い光学性能を持ったズームレンズ及びそれを有する光学機器を得ること。
【解決手段】 物体側より順に、ズーミングのために移動しない正の屈折力の第１レンズ群、ズーミングに際して光軸方向に移動する負の屈折力の第２レンズ群、ズーミングのために移動しない第３レンズ群、ズーミングに際して光軸方向に移動する負の屈折力の第４レンズ群、正の屈折力の第５レンズ群の５つのレンズ群のみをレンズ群として有するズームレンズにおいて、該第１レンズ群は物体側に凸状の貼合せ面を有し、該貼合せ面に回折格子により構成される回折光学部が設けられており、該貼合せ面の曲率半径をＲＤ、該第１レンズ群の焦点距離をｆ１とするとき、
０．５ ＜ ＲＤ／ｆ１ ＜ １．２
なる条件を満足すること。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズは、ひとみ平面（Ｅ１、Ｅ３）または中間像平面（Ｅ２）によって互いに分離された、Ｎ＞−２である投影対物レンズ（１０）の連続セクションＡ₁〜Ａ_Nで配置された複数の光エレメント（Ｐ、Ｓ、Ｌ１〜Ｌ８、Ｌ１３、Ｌ１９）を備えている。本発明によれば、波面変形を修正するために、少なくとも２つの光エレメントが、それぞれ、局部的に非球面再処理された光活性表面を有している。この場合、第１の光エレメントは、ｊ＝１．．．Ｎである１つのセクションＡｊに配置され、第２の光エレメントは、ｋ＝１．．．Ｎである他のセクションＡ_kに配置されている。絶対値の差｜ｋ−ｊ｜は奇数である。
（もっと読む）

レーザ光源部、レーザ光源部からの励起光を試料上に集光する対物レンズ光学系、試料面上を走査する走査手段、走査手段と対物レンズ光学系との間に配置された瞳投影レンズ、試料からの蛍光を検出する検出光学系を備え、対物レンズ光学系が、対物レンズ、試料の中間像を形成する結像レンズを有し、対物レンズの後側焦点位置が、結像レンズと瞳投影レンズとによって走査手段の近傍位置で共役になるように構成されている。対物レンズの同焦点距離をＤ、試料面から走査手段近傍に配置された、対物レンズの後側焦点位置の共役位置までの距離をＬとするとき、次の条件式を満足する。
０．１５≦Ｄ／Ｌ≦０．５ （もっと読む）

【課題】 画角が広角端において６７度以上、望遠端において１．６度以下と超広角域から超望遠域までをカバーできて４０倍程度のズーム比を有しつつ、各種収差が良好に補正されていて、量産性に優れたズームレンズを提供することを課題とする。
【解決手段】 物体側より順に配列された、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇｒ１と、負の屈折力を有し、主としてズーミング（変倍）を行うために光軸方向に移動可能とされた第２レンズ群Ｇｒ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇｒ３と、負の屈折力を有し、ズーミング中における焦点位置の変動を補正すると共に焦点合わせを行うために光軸方向に移動可能とされた第４レンズ群Ｇｒ４と、正の屈折力を有する第５レンズ群Ｇｒ５とから成り、上記第１レンズ群は、物体側から順に配列された凹レンズと凸レンズと真ん中に特殊低分散ガラスから成るレンズＬ６を挟み込んだ３枚接合レンズＴ１を少なくとも１つづつ有する。 （もっと読む）

【課題】 ４群ズームレンズにおいて、第３レンズ群全体を光軸に対して垂直に可動させることにより、小型・軽量化を図り、かつ良好な収差性能を有するズームレンズを提供する。
【解決手段】 物体側から順に、第１レンズ群１１〜第４レンズ群１４が配置されており、第３レンズ群１３は、手振れ補正時には光軸に対して垂直方向に移動する。このことにより、ズームレンズの大型化を防止でき、小型、軽量、省電力化に有利となり、色収差の劣化も防止できる。さらに、１．０＜ＨＨ３１−３２×｜ｆ₂／ｆ₃｜＜１２．０の関係を満足することにより、像面湾曲を良好に補正でき、０．００５＜｜ν₃／ν₄｜＜２０．０の関係を満足することにより、コマ収差、球面収差の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 映像信号処理による手振れ補正手段の使用を前提として、画角を、広角端においては８５°以上、望遠端においては２．５°以下とすることによって、超広角域から超望遠域までをカバーすることを可能にする小型で各種収差の補正が良好なズームレンズを提供する。
【解決手段】 ５群１９枚構成のレンズ系を有するズームレンズ１において、ｆ１．４を第１レンズ群Ｇｒ１の第１レンズＬ１乃至第４レンズＬ４の合成焦点距離、ｆＩを第１レンズ群の合成焦点距離、ｈ１．４を光軸に平行で高さ１の近軸光線を物体側から入射させた時に、第４レンズから射出する時の近軸光線の高さ、ｆ１．３を第１レンズ群の第１レンズ乃至第３レンズＬ３の合成焦点距離、ｆ２を第２レンズＬ２の焦点距離、ｒ６を第３レンズの像面側の面の曲率半径とすると、｜ｆＩ／ｆ１．４｜＜０．０４、１．２５＜ｈ１．４＜１．５、０．２＜｜ｆ１．３／ｆ２｜＜０．５、０．８＜ｒ６／ｆＩ＜１．５の各条件を満足するようにした。 （もっと読む）