【課題】 各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、汎用性に富むとともに、スループットにも優れる基板洗浄技術を提供する。
【解決手段】 基板洗浄部Ｂは、複数種類の薬液で洗浄処理可能な多機能洗浄槽３（３ａ、３ｂ）と、専用の薬液で洗浄処理可能な単機能洗浄槽４（４ａ、４ｂ）とを組み合わせてなる洗浄槽列１（１ａ、１ｂ）が２組設けられてなり、各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、スループットにも優れる。 （もっと読む）

【課題】 変調伝達関数測定システム及びそれによるカラー液晶表示素子の画質評価方法を提供する。
【解決手段】 ＬＣＤの画質評価に用いられる変調伝達関数を測定するためのシステムにおいて、試験しようとするカラーＬＣＤ上の白色ドットを拡大させる対物レンズ１１０と、対物レンズ１１０を通して拡大された白色ドットの輝度分布を撮像するＣＣＤカメラ１３０と、ＣＣＤカメラ１３０で撮像された白色ドットの輝度分布情報をデジタル情報に変換するアナログ／デジタル変換器１４０と、デジタル情報化された白色ドットの輝度分布情報に対して対物レンズの倍率を補正した後、輝度分布に応じる線広がり関数を直接フーリエ変換して変調伝達関数を算出する制御装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 最終的に決定すべき光学要素の設計パラメータ数に影響されない一般性のある手法で、液晶変調素子における光学変調特性としての明度変調量を表す指標を表現し、その光学特性値を簡便に求めることができ、その光学変調特性を最適にして良好な光学変調を行うのに必要な設計パラメータの条件を容易に見いだすことができる液晶変調素子の光学変調特性の評価方法を提供する。
【解決手段】 暗表示に対する明表示の明度変調量を、位相差物体へ光が入射する直前と出射した直後との間でのMueller マトリクスを求めることによって求める。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルのセル厚分布を全体的に把握できるとともに、セル厚の基準値に対するずれ量（差異）を容易に把握できる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ２４は偏光板２３から射出される透過光を受けて所定のカラー画像を取得し、このカラー画像データをコンピュータ装置２６に送出する。コンピュータ装置２６は、あらかじめＲＯＭやハードディスク等に格納されたデータ処理プログラムを実行することにより、ＣＣＤカメラ２４から出力されたカラー画像データに演算処理を加えて後述するセル厚相関データに変換し、このセル厚相関データを用いて変換画像をモニタ２７に出力する。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示パネルのイオン密度を非破壊で測定できるようにする。液晶表示パネルのイオン密度分布を把握できるようにする。
【解決手段】 １Ｈｚ程度の低い周波数の矩形波を印加して、フリッカーを観測する（ステップＳ３０３）。観測されたフリッカーの振幅又はフリッカー面積を測定する（ステップＳ３０８）。予め求めてある検量線（フリッカーの振幅又は面積とイオン密度との相関関係を示す線図）から液晶パネル内のイオン密度を算出する（ステップＳ３０９）。 （もっと読む）

【課題】基板サイズが大型化，薄板化しても真空中で高精度に同程度の基板同士を貼り合せることが可能な基板の組立方法およびその装置を提供することである。
【解決手段】加圧板から上基板に静電吸着力を作用させて加圧板に上基板を保持させて真空中で貼り合わせを行う。さらには、上基板を加圧板に吸引吸着力で保持させ、減圧を進める過程で吸引吸着力が消えた時に落下し加圧板から僅かに離れた程度の位置に受け止められた上基板に静電吸着力を作用させて、再度加圧板に上基板を保持させて真空中で貼り合わせを行なう。 （もっと読む）