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Fターム[2H096BA20]の内容

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Fターム[2H096BA20]に分類される特許

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半導体材料をリワークする方法であって、(i)シリコーン組成物を基板表面に塗布して膜を形成する段階と、(ii)前記膜の一部を放射線で照射し、前記表面の一部である非照射部と前記表面の残りの部分である照射部とを有する、部分的に照射された膜を作成する段階と、(iii)前記照射部が実質的に現像液に対して非可溶であり、前記非照射部が前記現像液に対して可溶であるような時間、前記部分的に照射された膜を加熱する段階と、(iV)前記加熱後の膜の非照射部を前記現像液で除去し、パターン形成された膜を作成する段階と(V)硬化シリコーン層を形成するのに十分な時間前記パターン形成された膜を加熱する段階と、(Vi)有機溶媒及び塩基を含む無水エッチング液に浸漬して硬化シリコーン層の全部または一部を除去する段階と、を含む方法。 (もっと読む)


本発明は、(a)ポリマーバインダーと、(b)光活性化合物と、(c)溶解阻害剤と、を含む、10〜165nmで使用するのに好適なフォトレジスト組成物に関する。ここで、溶解阻害剤は、少なくとも(i)2個の芳香族基と(ii)フッ素と(iii)非ブロック化されたときにpKa<12を有するブロック化酸基とを含む。好ましい溶解阻害剤は、架橋炭素原子がフッ素化脂肪族基で置換されている、場合によりブロック化されたビスフェノール誘導体である。 (もっと読む)


アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基を有する感光剤並びに硬化剤を含んでなる感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂であり、硬化剤がエポキシ基を含む硬化剤であり、さらに前記感光性樹脂組成物がカルボン酸を含んでなる感光性樹脂組成物、およびこの感光性樹脂組成物を用いて形成された平坦化膜あるいは層間絶縁膜を具備してなるフラットディスプレィパネルまたは半導体素子。前記カルボン酸としては、C1218の飽和脂肪酸、C12〜C24の不飽和脂肪残が好ましい。 (もっと読む)


硫酸化ポリマーを含む画像形成可能要素、およびこれらの画像形成可能要素から平版印刷版として有用な画像を調整する方法を開示する。この要素は熱的に画像形成され、水または湿し水溶液において現像され、結果としてアルカリ性現像液は必要としない。これらは印刷機上で画像形成され、湿し水溶液を用いて現像することができ、結果として別個の露光装置に取付ける必要がない。 (もっと読む)


本発明は、有機溶剤としてベンジルアルコールまたはその誘導体を含んでなるレジスト組成物を提供するものである。本発明は、レジストを除去するための、ベンジルアルコールまたはその誘導体を含んでなる有機溶剤も提供する。本発明のレジスト組成物は、UV光で照射することにより、照射部分と非照射部分との間の溶解度の差を利用する、微小パターンを形成するためのリソグラフィー法に使用し、薄膜を塗布した時の被膜厚の均質性を大幅に改良する。さらに、本発明の有機溶剤は、微小回路形成工程の際に感光性材料と接触するデバイスを、デバイスから感光性材料を除去することにより、洗浄するのに使用することができる。本有機溶剤は、感光性材料が塗布されている基材の好ましくない部分上に残留する感光性材料を除去することもできる。 (もっと読む)


【課題】 赤外線を放射する固体レーザまたは半導体レーザを用いて記録することにより、コンピューター等のデジタルデータから直接製版可能であり、さらに特定の露光波長に対して高感度でありながら、白灯下でも取り扱うことのできるネガ型の画像記録材料を提供する。
【解決手段】 支持体上に、(A)ラジカル発生剤と、(B)ラジカル重合性化合物と、(C)分子内に2つ以上の環式構造を有するキノン類とを含有する画像記録層を設けてなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ハロゲン化銀等の酸化剤を必要とせず、効率よく画像形成が可能な色素形成材料、及びこれを用いた画像形成材料、画像形成方法の提供。
【解決手段】 下記一般式(1)で示されるアゾメチン色素前駆体と、該アゾメチン色素前駆体に作用してアゾメチン色素を形成する下記一般式(2)で表される脱保護剤とを含む色素形成材料、該色素形成材料を用いた画像形成材料および画像形成方法。
【化1】


[式中、Arは芳香環等を、Cpはカプラー残基を、L1は、−CO2CH2CH2SO21を、R1はアルキル基等を、L2は色素形成の過程で離脱する置換基等をそれぞれ表す。]
【化2】


[式中、Aは1価ないし3価の陽電荷を有する原子団を表し、BはAの電荷を中和する陰電荷を有する原子団を表す。p、qは1ないし6の整数を表す。] (もっと読む)


【課題】 支持体の表面に感光層を設けた光重合系感光性平版印刷版を、製造後長期間、高温高湿条件下で保存しても、その後画像露光及び現像を行い印刷した時に、地汚れの発生のない、経時安定性の高い光重合系平版印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】 アルミニウム支持体上に中間層及び光重合性感光層を順に積層してなる感光性平版印刷版を画像露光し、現像液で現像することを含む平版印刷版の製版方法であって、該中間層が側鎖に燐酸基を有する高分子化合物を含み、並びに該現像液が無機アルカリ塩、及びポリオキシアルキレンエーテル基を有するノニオン系界面活性剤を含みかつpHが11.0〜12.7である、上記平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】 近赤外レーザー等を光源とする露光に適し、画像部の残膜率の高いポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】 (A)光熱変換物質及び(B)アルカリ可溶性樹脂を含有し、熱分解性物質を含有しないポジ型感光性樹脂組成物に於いて、更に(C)界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。 (もっと読む)


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