【課題】 微細構造体の倒壊を防止するとともに、効率よく現像、洗浄またはエッチングをするための方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細構造体の製造方法は、リソグラフィにより基板上の樹脂層を露光し、露光後の樹脂層に現像液を供給して樹脂型を形成する工程を含み、供給する現像液にメガヘルツ帯域の振動を与えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 永久透明感光性レジストを現像処理した際に、現像液に使用されている現像液成分が感光性レジスト膜の表層に浸透、もしくは感光性レジスト膜表面に付着し、付着した現像液成分は、純水によるリンス工程でも十分除去出来ておらず、加熱工程での着色要因となっているので、これを解決し、透明性に優れる感光性レジスト膜を提供しうる現像後の洗浄処理方法を提供すること。
【解決手段】 感光性レジストのパターニング工程において、露光及び現像処理した感光性レジスト膜に対して、酸性水溶液を供給して洗浄処理を行う工程を有する、透明永久膜の洗浄処理方法。
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