【課題】放射が調整される少なくとも３つの光路を備える放射ビーム調整システムを提供する。
【解決手段】パルス放射ビームを調整する放射ビーム調整システムは、少なくとも第１、第２及び第３の光路に沿ってパルス放射ビームを分割する放射ビーム分割器と、単一の出力パルス放射ビームを形成するために、少なくとも第１、第２及び第３の光路からの放射パルスを再結合する放射ビームコンバイナと、第１の光路に沿って伝搬する放射パルスに合わせて構成された放射パルストリマと、を備え、放射パルストリマが、単一の出力パルス放射ビームの総エネルギー量が実質的に所定のレベルになるように、第１の光路内で前記放射パルスをトリミング処理し、第１、第２及び第３の光路の光路長は、放射ビーム分割器と放射ビームコンバイナとで異なっている。 （もっと読む）

【課題】ランプを簡単に取り外して、ランプの部品をリサイクルすることができ、生産コストを低減することができる露光装置用ランプを提供する。
【解決手段】小型水銀ランプ１０は、バルブ２０と、該バルブ２０から発生した光を前方へ反射させる集光鏡２１と、バルブ２０の端部を保持するホルダー２２と、を備える。バルブ２０と集光鏡２１のランプ取付孔４８との間には、断熱材５０が配置される。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持するカセット８１とを備え、複数のカセット８１が配設された支持体８２の前面側の４隅には、支持体８２に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する支持体用緩衝部材８８が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、光源部７３には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材８８、８９が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、カセット８１には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材１０１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】光源部の交換時間及び装置のダウンタイムを短縮することができる露光装置用光照射装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】光照射装置８０は、ランプ７１とランプ７１から発生された光に指向性をもたせて射出する反射鏡７２をそれぞれ含む複数の光源部７３と、所定数の光源部７３をそれぞれ取り付け可能な複数のカセット８１と、複数のカセット８１を取り付け可能な支持体８２と、を備える。カセット８１のランプ押さえカバー８４は、複数の光源部７３を取り付ける際に、複数のランプ７３の光がインテグレータレンズ７４の入射面に入射されるように複数のランプ７３を支持する支持部材８６を有する。 （もっと読む）

【課題】光源部の照射時間の経過に伴う照度低下を抑制することができる露光装置用光照射装置、光照射装置の制御方法、露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】発光部と反射光学系を含む複数の光源部７３と、所定数の光源部７３の光がインテグレータレンズ７４の入射面に入射されるように、光源部７３を光源支持部８３で支持する複数のカセット８１と、全ての光源部７３の光がインテグレータレンズ７４の入射面に入射されるように、複数のカセット８１を取り付ける複数のカセット取り付け部を有する支持体８２と、各光源部７３の光軸角度を調整可能な光軸角度調整機構９９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ（LD）、LED、ランプ等の発光源、およびレンズ、ファイバ等の伝送、転写、集光等の光学部品を備えた光源装置において、装置内における硫酸イオン量を低水準に保つことにより、硫酸アンモニウムの光学部品への付着を防ぐことのできる光源装置を提供する。
【解決手段】光を出射する光源１と、光源から出射された光２を処理する光学部品３と、光学部品を収納する、または光学部品が取り付けられる筐体とを備え、筐体は、硫黄成分を含まない材料を切削することにより形成され、前記材料が表面に露出している。 （もっと読む）

【課題】ランプの位置調整を短時間に精度良く行う。
【解決手段】ランプ３１を固定するクランプ７０と、クランプ７０を移動してランプ３１の位置を調整する調整機構、及び調整機構を駆動するモータ５５，６６を有する位置調整装置と、ランプ３１の陰極３２ａの像及び目標位置を表示する表示装置（アークモニター４５）とを設け、表示装置（アークモニター４５）に表示されたランプ３１の陰極３１ａの像及び目標位置の画像を取得し、ランプ３１の陰極３１ａの像及び目標位置の画像信号を処理して、ランプ３１の陰極３１ａの目標位置からのずれ量を検出し、検出結果に基づき、位置調整装置のモータ５５，６６を制御して、ランプ３１の中心を集光鏡３２の焦点に合わせる。 （もっと読む）

【課題】光学部材が過剰に温度上昇して、熱変形・破損し、所期の性能を発揮できなくなり、稼動率が低下することによる稼動率の低下を抑制できる光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置２０は、ランプ１の少なくとも一部が配置される開口部２Ａと、開口部の周囲に設けられ、ランプから発した光を反射する凹面状の反射面２Ｒとを有する反射鏡２と、少なくとも開口部近傍の反射面に気体を導く反射面給気部４１とを備えている。またランプの口金部１Ａに接続されるケーブル２６の少なくとも一部に気体を導くケーブル給気部４２を備えている。 （もっと読む）

【課題】放電ランプに対して加わる瞬間的な外力を緩衝することにより、放電ランプに装着された口金とランプホルダとの接続を安定な状態で維持することができる放電ランプ保持機構を提供する。
【解決手段】端部に有底筒状の口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを着脱することのできるよう保持する柱状のランプホルダ5とからなり、前記ランプホルダ5は、灯具側ホルダ部53と、その端部に前記ホルダ側本固定機構52が設けられた、当該灯具側ホルダ部53に対して独立に回転可能な状態で灯具側ホルダ部53に連結された口金側ホルダ部51と、前記灯具側ホルダ部53と前記口金側ホルダ部とに接続された弾性体と、前記灯具側ホルダ部53に対する前記口金側ホルダ部51の回転が所定範囲以内となるよう制御する回転制御機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ピットの相対位置の精度を低下させることなくピットの絶対位置の精度を向上させることができる露光ビーム照射装置を提供する。
【解決手段】回転体１３の所定の回転角ごとに検出される位相誤差から回転体１３の任意の回転数にわたる位相誤差の平均値が差し引かれる。こうして算出される非定常誤差は回転体１３の回転に非同期の誤差に相当する。非定常誤差に基づき偏向器２４の動作は制御される。露光ビームの偏向方向は微調整される。その結果、ピットの相対位置精度の低減は回避される。その一方で、前述の位相誤差の平均値に基づき第２定常誤差が算出される。第２定常誤差は、スケール誤差を除去した真の定常誤差に相当する。第２定常誤差に基づきブランカ２３の動作は制御される。回転体１３上に正確なタイミングで露光ビームが照射される。その結果、ピット形成領域の絶対位置の精度は向上する。 （もっと読む）

【課題】複数のランプを用いて、高輝度及び輝度の変更の要求に対応しながら、ランプの表面温度を均一にして、露光光の照度を安定させる。
【解決手段】露光光を発生する光源に複数のランプ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを用い、各ランプの間に隔壁５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅを設けて、各ランプから発生した露光光が他のランプへ照射されるのを防止し、かつ各ランプから発生した熱が他のランプへ伝わるのを抑制する。ランプ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ及び集光鏡３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ並びに隔壁５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅをランプハウス３９に収容し、ランプハウス３９に冷却媒体の吸気口３９ａ及び排気口３９ｂを設け、各ランプの周囲に冷却媒体の流れを形成して各ランプを冷却する。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を抑制できる光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置２０は、フランジ２４を有する放電ランプ１と、フランジ２４と当接して放電ランプ１を保持する保持装置２１とを有している。放電ランプ１は、その放電ランプ１の種類に応じてフランジ２４に形成された第１凹凸構造を備え、保持装置２１は、第１凹凸構造と嵌り合う第２凹凸構造を備えている。 （もっと読む）

【課題】 プラズマから発生するデブリ粒子によって、光源装置内のミラーが劣化するのを防ぐことを目的とする。
【解決手段】 本発明のＥＵＶ露光装置は、プラズマを生成する手段と、前記プラズマから発する光を反射するミラーと、前記プラズマと前記ミラーとの間に、前記光が発光する発光中心を通る軸を中心として放射状に配置された複数の板状部材と、前記プラズマと前記ミラーとの間に磁力線を発生させる磁場発生手段と、を備えており、前記プラズマと前記ミラーとの間の第１位置における前記磁力線の方向が、前記軸と同一平面内で且つ前記第１位置における前記発光点からの放射方向と垂直な成分を有しており、前記第１位置が、前記複数の板状部材で挟まれた第１空間内或いは前記第１空間と前記プラズマとの間の第２空間内のいずれかに位置していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 作業者が片手で反射鏡の所定の取付位置に露光装置用光源ランプを取り付けることができる露光装置用光源ランプと、その露光装置用光源ランプの交換可能な露光装置を提供する。
【解決手段】
露光装置用光源ランプの両端にそれぞれ電極先端部を設ける。一方の電極先端部に、片手で把持するための把持部材を着脱可能に設ける。把持部材は、金属製で剛性のあるリング形状の部材である。前述の露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置には、反射鏡と、その反射鏡を配置する枠体と、枠体に配置された反射鏡の下方の取付部材に露光装置用光源ランプの下方の電極先端部を取り付ける際に作業者の片手を支えるためのテーブルを設けるのが好ましい。一方の片手をテーブルに置いて支えながら、他方の片手で把持部材を把持して、所定の取付位置に露光装置用光源ランプを取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 超高圧水銀ランプを用いた従来装置の問題点を解決し、しかも均一な光を取り出すことができる露光装置用光源を安価に提供する。
【解決手段】 複数の紫外線波長域のＬＥＤを平面基板上に配置したＬＥＤ発光部８を内側を完全反射とした楕円面反射鏡８の第１焦点より楕円面反射鏡８の頂点側に配置し、且つＬＥＤ発光部８の発光面の前方にＬＥＤ発光部８の発光面が球面レンズ９の焦点付近になるよう、球面レンズ９を配置し、前記ＬＥＤ発光部８からの発散光とＬＥＤからの発散光が楕円面反射鏡８の内側で反射した光束が入射するように透光性ロッド１１を配置し、その透光性ロッド１１の出射光をコンデンサーレンズ１２及びリレーレンズ１３を介して露光面１４に出射させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 窓部材の外面に二酸化珪素膜が析出した場合でも光透過率（紫外光透過率）の変化（低下）が小さく、且つ分光透過率の特性変化の波長毎の相違も小さくなる窓部材を有し、窓部材を交換することなく長期間の使用が可能となるような紫外光学装置を得る。
【解決手段】 紫外光学装置は、紫外線を透過させる窓部材（２０，２１，２２）を有したチャンバー（１０）と、このチャンバー内に配設された主要光学部材、すなわち、レンズ（３０）、ビームスプリッタ（４０）およびフィルタ（５０）を備え、窓部材を介して外部から光学系に紫外光を入射させたり、光学系から出射する紫外光を窓部材を介して外部に出射させたりするように構成され、窓部材は二酸化珪素を主成分とする材料から作られるとともに、外面はコーティングを施すことなく無垢の二酸化珪素が露出して形成されている。 （もっと読む）

【課題】 短時間で露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】 露光装置１は外箱３ａを有し、外箱３ａの内部には内箱３ｂが設けられている。
ランプ９ａ、９ｂは、内箱３ｂの内部に設けられており、ランプ９ａ、９ｂの上部には、基板７１を搬送する搬送コロ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ、１１ｇが設けられている。
搬送コロ１１ｂ、１１ｃ、１１ｅ、１１ｆの周囲には、３角カバー１３ａ，１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが設けられており、それ以外の搬送コロ１１ａ，１１ｄ、１１ｇには、４角カバー１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられている （もっと読む）

【課題】複数の光源を用いる光源モジュール、および、これを用いる光源装置において、光源モジュールの特性等の登録を間違いなく行うことができ、装置の組み立てやメンテナンスを容易にできる光源モジュールおよび光源装置を提供する。
【解決手段】光源モジュールに記憶素子を一体的に設け、この記憶素子に光源モジュールの情報を記憶しておくことにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）