【課題】原版を迅速に、かつ安全に搬送するのに有利な搬送システムを提供する。
【解決手段】この搬送システム１は、原版３に形成されたパターンを基板に露光する少なくとも１つの露光装置２と、原版３を保持し露光装置２に搬送する搬送車４と、該搬送車４が走行する走行路５とを有する。このとき、露光装置２が敷設される面から、露光装置２に設置された原版３を搬入する搬入口９までの高さが、搬送車４が走行する面から、搬送車４が原版３を保持して走行する際の原版３の保持位置までの高さよりも高く、搬送車４の保持位置と、露光装置２が搬入口９から原版３を受け取る位置とが一致する。 （もっと読む）

【課題】人手による搬送作業をなるべく抑えて露光装置とマスク検査装置との間でフォトマスクを搬送することができるマスク搬送システムを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスク搬送システムは、ストッカ１１〜７１と、搬送路３と、収納容器と、搬送装置２００と、制御装置８０と、を備える。収納容器はウェハ搬送用とマスク搬送用とで同一の構造を有する。制御装置８０は、露光エリア３０のストッカ３１、またはマスク検査エリア７０のストッカ７１に収納容器が入庫されると、収納容器がマスク搬送用であるかを判別し、マスク搬送用の収納容器である場合には入庫されたストッカではないストッカ７１，３１に収納容器が搬送されるように搬送装置２００を制御する搬送装置制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性に優れたマスクホルダを提供すること。
【解決手段】円筒状に形成された固定部と、円筒状に形成され、前記固定部と同軸に該固定部の周囲に設けられるとともに前記固定部に対して回転可能に接続される回転部と、前記回転部に設けられ、シート状のマスク部材を取り外し可能に保持する保持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置コストを大幅に抑制することができる露光装置、露光方法及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】スキャン露光装置１は、基板ＷをＸ方向に搬送する基板搬送機構１０と、マスクＭをそれぞれ保持し、Ｙ方向に沿って配置される複数のマスク保持部１１と、露光用光を照射する照射部１４と、各マスク保持部１１の下面と対向可能なマスクトレー部３３を有するマスクチェンジャー２と、を備える。マスクチェンジャー２は、マスクトレー部３３に載置されるマスクＭを、Ｘ方向及びＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構３５Ａ、３５Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる搬送装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】 マスクケース搬送装置（２９）のメンテナンス方法は、ＣＺ軸駆動部（２６）によってケース保持部（２３）を上下方向の第１位置に配置する工程（Ｓ１０２）と、最上段、最下段および中央段に設けられた複数のＣＺ軸駆動部２６のカバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し作業を行う工程（Ｓ１０６）と、第１取り外し作業後に取り外されていない複数の前記カバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し作業を行う工程（Ｓ１０７）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】部品の点数の大幅な増加や大型化等を防ぎつつ、マスクの交換時間を短くすること。
【解決手段】第１のマスクＭ１での露光中に、第１のハンドラ１１ａがマスク保管部６から次に使用する第２のマスクＭ２を取り出し、プリアライメントステージ５に載せてプリアライメントを行う。露光が終わると第２のハンドラ１２ａが第１のマスクＭ１をプリアライメントステージ５まで運ぶ。マスク退避機構１３の第３のハンドラ１３ａは第１のマスクＭ１を受け取りいったん保持する。第２のハンドラ１２ａは、第２のマスクＭ２を保持し、マスクステージ２へ搬送する。同時に第３のハンドラ１３ａが保持していた第１のマスクＭ１を第１のハンドラが受け取ってマスク保管部６に回収する。マスク退避機構１３を設けマスクを退避させるようにしたのでマスクの交換時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】マスクライブラリを備える両面露光装置において、ワークの露光処理に要する全体の時間を短くし、スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】ワーク搬入搬出部２０に搬送されてきたワークＷを、ワークステージ４に搬送し、ワークＷに、マスクライブラリ６から取り出した第１面（表面）露光用のマスクに形成されたパターンを露光する。そして、反転ステージ部３０でワークＷを反転させ（裏返し）ワーク保管部４０に保管する。このようにて１ロット分のすべてのワークの第１面（表面）を露光する。ついで、マスクを第２面（裏面）露光用のマスクに交換し、ワーク保管部４０から第１面露光済みのワークを取り出し、ワークの第２面（裏面）を露光する。裏面の露光が終わったワークＷは、第１のワーク搬送機構５０ｂにより、ワーク搬入搬出部２０に搬送される。 （もっと読む）

【課題】大型化の方向にあるマスクよりも更に大きな基板への露光であっても、微細なドットパターンが転写されることのない露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置において、マスク１００を下方からマスクホルダへ押し付けるマスクリフタ１０１と、マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャ１０２と、マスクの位置の調整の際に、マスクとマスクホルダとの間の摩擦抵抗を低減するためのガスを供給する開口部１０３−１１を備えたマスクホルダを有する。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとを相対移動させながら露光を行う際に、遮光部材を用いて非露光領域を適切に遮光できるスキャン露光装置を提供する。
【解決手段】近接スキャン露光装置１は、マスクMを保持するマスク保持部７１と、マスク保持部７１の上方に配置され、露光用光を照射する照射部８０と、照射部８０とマスク保持部７１との間に配置され、照射部８０から出射された露光用光ＥＬを遮光する遮光部材と、を備える。遮光部材は、露光用光ＥＬを遮光するＸ方向における遮光幅を可変とする一対のブラインド部材１０８，１０９を有し、一対のブラインド部材１０８，１０９は傾斜角度が可変となるように支持され、且つ、一対のブラインド部材１０８，１０９の一端部１０８ａ，１０９ａ同士は、傾斜角度に関わらず、上下方向から見て互いにオーバーラップしている。 （もっと読む）

【課題】露光装置におけるマスクの交換時間、アライメント時間を短縮し、露光処理時間を短縮することが出来るようにする。
【解決手段】露光用光学ユニット１と、マスクが固定されるマスクステージを装着しこのマスクステージが光学ユニット１に対向するように移動できるマスクチェンジャ２と、マスクステージに前記マスクを搬入・搬出するマスク搬送手段（１７）とを備えた露光装置において、マスク搬送手段は、１つのマスクを搬入中に他のマスクを搬出するように複数（１７，１７ａ）有し、マスクチェンジャ２は、マスク３〜５がそれぞれ固定される複数のマスクステージ７〜９を少なくとも一列に配置してその列方向に移動する機構を有し、複数のマスクステージ７〜９は、これらマスクステージ７〜９と前記各マスク３〜６とのアライメントを行なうアライメント手段（アライメントスコープ１４）をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送時、及び露光時におけるガラス基板の保持において、ガラス基板を安全に保持することが可能な露光装置用基板アダプタ及び露光装置を提供する。
【解決手段】マスクアダプタ８０は、マスクＭの周縁部を囲う開口８１ａを形成するフレーム部８１と、開口８１ａの周縁に設けられ、マスクの周縁部と当接してマスクＭを保持する保持部８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マスク上のパターンを基板上に高精度で転写する。
【解決手段】第１マスク及び第２マスクを保持するマスク保持装置において、マスク保持装置は第１マスクを保持する第１マスク保持部と第２マスクを保持する第２マスク保持部とを有し、第１マスク保持部及び第２マスク保持部は第１マスクの保持位置及び第２マスクの保持位置を調整するマスク調整部を有する。さらに、第１マスク保持部及び第２マスク保持部は互いに同一平面上に隣接して配置される。また、そのマスク保持装置を備える露光装置によって、マスク上のパターンを基板上に転写する。 （もっと読む）

【課題】複数のマスクを露光装置から効率的に回収し又分配できる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置３０が、受け渡し位置を挟んで、搬送ラインＬに沿った一方の端側でマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２との間でマスクＭの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、搬送ラインＬに沿った他方の端側で待機するので、待機位置からマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２に向かう動作で使用済みマスクＭの回収を行い、マスクストッカＭＳ１，ＭＳ２から待機位置に向かう動作で未使用マスクＭの搬送を行えるため、１往復動作でマスクＭの回収及び装着を実現でき、必要な時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、パレット上に複数枚載置された平版印刷版を一枚毎に給版を行う自動給版機構を有する自動製版機において、パレット上の平版印刷版の位置ずれを簡便に防止し、給版に関する不具合の発生を抑制すること。
【解決手段】自動製版装置へ装着され、自動製版装置の給版機構により一枚毎に供給するための平版印刷版供給用パレットであって、少なくともパレット上に位置決めされた平版印刷用原版を複数枚積載するパレットにおいて、平版印刷版の載置位置周囲に１個以上の位置規制手段を有する平版印刷版供給用パレットを用いる。 （もっと読む）

【課題】 レチクル搬送の自動化を円滑に行なって省人化の図れる半導体装置の生産ラインで、半導体装置を製造できる技術を提供する。
【解決手段】 レチクルをレチクルポッドに入れて、ホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとを関連付ける。次に、レチクルポッドを露光装置へ搬送する。そして、レチクルポッドが露光装置に到着した時点で、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう。続いて、レチクルポッドからレチクルを取り出した後、レチクルの異物検査を行なう。そして、異物検査の結果が良好である場合（Ｓ１１０）、異物検査に結果が良好である旨のイベント情報を露光装置からホストシステムに送信するとともに（Ｓ１１４）、露光装置上での関連付けを切断する（Ｓ１１５）。そして、ホストシステムは、上記イベント情報を受信すると、ホストシステム上での関連付けを切断する（Ｓ１１６）。 （もっと読む）