【課題】ドレインアバランシェ効果を抑圧し、信頼性を向上させることが可能となるラッチ回路を提供する。
【解決手段】ゲートに前記走査電圧が入力されたときに、「０」あるいは「１」のデータに対応する電圧を取り込む入力トランジスタと、他端に容量制御信号が入力されるとともに、一端が前記入力トランジスタの第２電極に接続され、前記入力トランジスタで取り込まれた電圧を保持する保持容量と、ゲートが前記入力トランジスタの第２電極に接続され、第２電極が第１出力端子に接続されるとともに、第１電極に第１ラッチ制御信号が入力される第１導電型の第１トランジスタと、ゲートが前記第１トランジスタの第２電極に接続され、第２電極が第２出力端子に接続されるとともに、第１電極に第２ラッチ制御信号が入力される第２導電型の第２トランジスタとを備える。 （もっと読む）

【課題】視野角特性の問題を解消すること、あるいはシャッタの可動距離の確保を目的とする。
【解決手段】固定開口２４は、移動ライン３４を挟む両側の領域にそれぞれ配置された第１固定スリット２６及び第２固定スリット３０を有する。駆動開口３８は、移動ライン３４を挟む両側にそれぞれ配置された第１駆動スリット４２及び第２駆動スリット４４を有する。第１固定スリット２６及び第１駆動スリット４２は、第１ライン２８に沿って延びるように形成され、シャッタ３６が光を透過する位置にあるときに連通するように配置される。第２固定スリット３０及び第２駆動スリット４４は、第１ライン２８と交差する第２ライン３２に沿って延びるように形成され、シャッタ３６が光を透過する位置にあるときに連通するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】第一の基板２０と、第二の基板３０と、複数の画素ＰＩＸと、複数の画素ＰＩＸの各々に形成されたシャッタ機構部３２と、第一の基板２０と第二の基板３０との間に封入された流体Ｌと、第一の基板２０または第二の基板３０の一方の基板の流体Ｌとは反対側に形成された緩衝部４０とを有する表示装置１であって、シャッタ機構部３２は第二の基板３０に形成され、且つ、可動すると共に画素ＰＩＸの光透過率を制御するシャッタ部３１を有し、緩衝部４０は、一方の基板の流体Ｌとは反対側に対向する第三の基板４１と、一方の基板と第三の基板４１とを貼り合せるシール部４２と、一方の基板と第三の基板４１とシール部４２との間に形成された所定の間隙とを有する。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、低減された消費電力の直視型ＭＥＭＳディスプレイを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ光変調器のアレイ７０２と、ドライバ７０８、７１０、７１４とアレイ内の各光変調器の状態を制御するためのコントローラ７０４とを含む。コントローラ７０４は、表示のために画像フレームを符号化した画像データを受信し、画像データから、複数のサブフレームデータセットを導き出し、サブフレームデータセット内で示された状態にするために、出力シーケンスに従って複数のサブフレームデータセットをドライバ７０８、７１０、７１４に出力する。ドライバ７０８、７１０、７１４は、データおよび作動電圧をアレイ７０２に伝える。 （もっと読む）

【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるＭＥＭＳシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。ＭＥＭＳシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第１バネ、第１バネに接続された第１アンカー、第２バネ、及び第２バネに接続された第２アンカーを有し、シャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ（ＴＨｚ）帯域を含む広域の電磁波を発生させることができ、出力電磁波の波長制御が可能な電磁波発生器及び光シャッタを提供する。
【解決手段】互いに離隔されて対面するように配された２つの電極、２つの電極間に配された帯電可能粒子、及び２つの電極間で、帯電可能粒子を取り囲むように配されたチャンバを含む電磁波発生器である。該電磁波発生器の２つの電極に直流電圧が印加され、２つの電極間に電場を発生させれば、帯電可能粒子が帯電される。それにより、帯電された粒子は、２つの電極間を往復するが、そのような帯電された粒子の移動によって電磁波が発生する。出力電磁波の波長は、２つの電極間の電位差を調節することによって制御することができる。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳベースの光変調器（シャッタ組立体１０２ａ〜１０２ｄ）の動きを制御するための制御マトリクス（書き込み許可相互接続１１０と、データ相互接続１１２と、共通相互接続１１４を含む。）を利用して、ディスプレイ装置１００上に画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳ基板とＡＰ基板との貼り合わせ作業におけるセルフアライメントが可能であり、外部衝撃に対する信頼性の高い表示装置を提供すること。
【解決手段】
透明基板（ＳＵＢ１）上に可動式のシャッターを備えたＭＥＭＳ基板と、他の透明基板（ＳＵＢ２）上に光を透過するアパーチャを該シャッターの開口に対応して備えたＡＰ基板とを有し、両基板を所定の間隔で対向配置する表示装置において、該ＡＰ基板の面上には、複数の支柱（ＣＯ）が形成され、該ＭＥＭＳ基板の該可動式のシャッターが形成された面上には、該支柱が挿入され、該支柱を保持するコンタクトホール（ＣＨ）が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機械式のシャッタが配置されたパネルを満たすオイルに気泡が発生することを防止することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板１０，１２と、一対の光透過性基板１０，１２を貼り合わせるシール材３８と、封止空間に充填されたオイル４２と、光透過性基板１０に形成され且つ封止空間に配置されたシャッタ１４とを有し、シール材３８の熱膨張係数αはオイル４２の熱膨張係数βよりも大きい、又は０．８β≦α≦１．２βの関係を有する。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】光変調アレイ１００は、行および列内に配置された複数のシャッタ組立体１０２ａ〜１０２ｄを含み、シャッタ組立体は開および閉の２つの状態を選択的に設定可能である。光変調アレイは複数の光透過領域を画定する第１の反射面と、複数の光透過領域の方へ光を反射するための、第１の反射面に少なくとも部分的に面した第２の反射面とを有する。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイ装置の正面から離れるように光を反射するための、複数の光透過領域２０６を画定する前部反射面２０２と、ディスプレイ装置の正面の方へ光を反射するための、前部反射面に少なくとも部分的に面した後部反射面２０４と、前部反射面によって画定されたそれぞれの光透過領域を選択的に遮ることによって複数のディスプレイピクセルを形成するための、後部反射面とディスプレイ装置の正面との間に配置された光変調器のアレイとを備え、光変調器のアレイ内の光変調器は、それぞれの光透過領域に対応する。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

ディスプレイを動作させる方法であって、データローディング段階中に画素のアレイにおける画素の複数の行内の画素に画像データをロードするステップと、更新段階中に複数の行内の画素を作動させるステップと、ランプ照明段階中に少なくとも１つのランプを照明させて作動された画素を照明し、ディスプレイ上に画像を形成するステップとを含み、更新段階が、ローディング段階および照明段階の少なくとも一方と時間が部分的に重畳する方法。
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本明細書において説明するこの方法およびデバイスは、ディスプレイ、およびＭＥＭＳを含む低温封孔流体充填ディスプレイを製造する方法に関する。この流体は、ＭＥＭＳディスプレイの可動構成要素を実質的に囲んで静摩擦作用を低減させ、ディスプレイの光学性能および電気機械的性能を向上させる。本発明は、蒸気気泡が封止温度よりも約１５℃〜約２０℃低くならないかぎり形成されないようにＭＥＭＳディスプレイを低温で封止する方法に関する。いくつかの実施形態では、ＭＥＭＳディスプレイ装置は、第１の基板と、ギャップによって第１の基板から分離された光変調器のアレイを支持する第２の基板と、ギャップを実質的に充填する流体と、ギャップ内の複数のスペーサと、第１の基板を第２の基板に接合する封止材料とを含む。
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【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスなどパターンを有するウェハ，液晶基板およびメディア等の欠陥の高精度な異物検出方法および異物検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の第１の特徴は、検査対象基板に光を照射する照射光学系と、前記検査対照基板からの光を検出する検出光学系と、前記検査対象基板からの回折光を遮光する空間フィルタとを有する検査装置において、前記空間フィルタは、複数の遮光材と、前記遮光材の形状，角度、または間隔の少なくとも１つを変化させる制御部材と、前記制御部材を制御する制御部と、を有することにある。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器から照射されたレーザ光を透過させる透過状態と、レーザ光を遮断する遮断状態とを迅速に切り替えること。
【解決手段】レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌを透過させる透過状態と、該レーザ光Ｌを遮断する遮断状態とを切り替える。レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌの一部を反射可能な第一反射ミラー１０ａと、レーザ光Ｌの残部を反射可能な第二反射ミラー１０ｂと、を備えている。透過状態において、第一反射ミラー１０ａおよび第二反射ミラー１０ｂは、レーザ光Ｌを反射しない位置に位置づけられ、遮断状態において、第一反射ミラー１０ａは該レーザ光Ｌの一部を反射する位置に位置づけられ、第二反射ミラー１０ｂは該レーザ光Ｌの残部を反射する位置に位置づけられる。 （もっと読む）

【課題】高開口率の光制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の光制御装置は、基板と、前記基板に形成された光透過領域と、前記基板上で水平移動することで前記光透過領域に対して進退する複数の遮光板と、を有し、複数の前記遮光板のうち少なくとも２つの前記遮光板が、互いに異なる移動平面を有するとともに、前記光透過領域から後退した位置で少なくとも部分的に重なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】開口率を高めることが容易であり、かつ高速動作が可能な光制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の光制御装置１００は、基板と、基板を貫通して形成された貫通孔と、遮光性を有するとともに貫通孔の内側に少なくとも一部が配置されたフラップと、を備えており、貫通孔に入射した光の遮断状態では、フラップが前記基板の厚さ方向に対して斜めに配置されて前記貫通孔を遮蔽する一方、通過状態ではフラップが遮断状態よりも貫通孔の内壁側に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）