【課題】電気回路と光回路のそれぞれにおいてパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高い光路を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体は、互いに屈折率が異なるコア部とクラッド部とを有する光導波路と、導体層とを有する積層構造体で構成され、厚さ方向に延在し、前記コア部に光学的に接続される導光路と、厚さ方向に延在し、前記導体層に電気的に接続される導体部とを有する。前記コア部は、（Ａ）環状オレフィン樹脂と、（Ｂ）前記（Ａ）とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、（Ｃ）光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し活性放射線を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】曲率半径が導波路方向に変化する任意曲線形状の導波路パターンをＥＢ描画等により滑らかに描画する。
【解決手段】設計データの最小の曲率半径から所定の長さΛを決定し、光導波路パターンを前記光導波路パターンの露光開始位置の曲率半径とΛで決定される長さＬ_１′だけ、サブ露光量ｄでレジストを露光する第１回目の一次サブ露光工程と、光導波路パターンのＬ_１′の終点位置において、終点位置の曲率半径とΛで決定される長さＬ_２′だけ、サブ露光量ｄでレジストを露光する第１回目の２次サブ露光工程と、第１回目のサブ露光工程を光導波路パターンの終点まで２次サブ露光工程と同じ手順で順次繰り返す第１回目のサブ露光工程と、光導波路パターンの露光開始位置から長さＬ_１′に対する曲率中心からの見込み角の1／Ｎだけ移動した位置を露光開始点として、１回目のサブ露光工程と同じ手順で第２回目以降のサブ露光工程を繰り返して行う。 （もっと読む）

【課題】長波長用の可変光モジュールに用いることができる電気光学特性に優れた光学素子を提供する。
【解決手段】シリコンを含有する単結晶基板１１０と、単結晶基板１１０上にエピタキシャル成長により形成された第１の電極１３０と、第１の電極１３０上にエピタキシャル成長により形成された電気光学効果を有する電気光学膜１６０と、電気光学膜１６０上に形成された第２の電極１８０とを備え、第１及び第２の電極１３０及び１８０は、電気光学膜１６０の膜厚方向に電圧を印加するためのものであり、電気光学膜１６０は、単一配向を有しない結晶化膜である光学素子。 （もっと読む）

【課題】基板面から非平行な方向へ出射された光の発散を防止することができる光導波路を形成する。
【解決手段】まず、ＳＯＩ基板を用意する。次に、ＳＯＩ基板のＳｉ層上に、レジスト層を形成する。次に、レジスト層から、一定方向に沿って順次に厚みが増加していく形状のレジストパターンを、Ｓｉ層のコア形成予定領域を被覆するように形成する。次に、レジストパターンをマスクとして用いてＳｉ層をエッチングすることによって、コア形成予定領域に残存したＳｉ層の残部から、一定方向に沿って順次に厚みが増加していく形状のコア３７を形成する。次に、レジストパターンを除去した後、ＳｉＯ_２層１５の上側全面に、コアを被覆する上部ＳｉＯ_２層３７を形成することによって、ＳｉＯ_２層及び上部ＳｉＯ_２層からクラッド４１を形成する。 （もっと読む）

【課題】石英系光導波路の製造方法において、コアパターンの熱膨張係数が基板の熱膨張係数を大きく上回る場合に損失の低減等の光学特性の向上を図ること。
【解決手段】平面基板４−１上に、下部クラッド層４−２を形成する（図４（ａ））。次に、下部クラッド層４−２に、コア層４−３のコアパターン４−３Ａに対応する凸部４−２Ａを形成する（図４（ｂ））。凸部４−２Ａは、コア層４−３の厚さの２倍以上の高さになるようにする。次に、下部クラッド層４−２上に、平面基板４−１の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有するコア層４−３を堆積する（図４（ｃ））。コア層４−３に対して予め定めた熱処理温度で熱処理を行った後、コア層４−３を覆うように上部クラッド層４−４を形成する（図４（ｄ））。凸部４−２Ａの幅、すなわちコアパターン４−３Ａの幅は、熱処理によりコアパターン４−３Ａに作用する引っ張り応力が７０ＭＰａ以下となる幅に定める。 （もっと読む）

【課題】複数のグレーティングカプラを一括して評価することができる、グレーティングカプラを含む光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】先ず、単一基板１０のチップ列領域２０に複数のグレーティングカプラ３０を形成するとともに、単一基板の評価用領域４０に、評価用グレーティングカプラ５０及び多分岐導波路５５を形成する。この多分岐導波路は、複数のグレーティングカプラのそれぞれと評価用グレーティングカプラとを光学的に接続する。次に、複数のグレーティングカプラを評価する。この評価は、評価用グレーティングカプラに評価用光信号を入射し、複数のグレーティングカプラからの回折光を測定し、及び、回折光の強度と、予め設定された基準値とを比較することにより行われる。次に、チップ列領域と評価用領域とを分離するとともに、チップ列領域を、それぞれグレーティングカプラを含む、複数のＯＮＵチップに個片化する。 （もっと読む）

【課題】 十分な光伝送能力及び十分に高いパターン形成精度を有する光導波路を形成することが可能な光導波路用樹脂組成物の製造方法を提供すること。
【解決手段】 テトラカルボン酸無水物とジアミンとの重合反応により得られる下記一般式（１）で示されるポリイミド前駆体と、光重合開始剤とを含有しており、前記重合反応においてリン酸トリエステルを溶媒として用いることを特徴とする光導波路用樹脂組成物の製造方法。
【化１】
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【課題】反射膜をグレーティングカプラ直下にのみ形成し、グレーティングカプラの結合効率を高めるとともに、その他の領域部分には、反射膜を設けずに迷光による雑音を抑制する、光学素子を提供する。
【解決手段】支持シリコン層３０、ＢＯＸ層４０及びＳＯＩ層５０がこの順に積層されたＳＯＩ基板２０と、ＳＯＩ層に形成されたグレーティングカプラ５４と、ＳＯＩ層上に形成されたオーバークラッド層６０とを備えて構成される。ここで、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層には、ＢＯＸ層を露出する窓３１が形成されており、窓内に露出したＢＯＸ層上に反射膜８０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】入射光を２つの偏波に分離して光回路に入射する光回路装置において、ＰＤＬ及び挿入損失を低減する。
【解決手段】光回路と、入射波から２つの偏波への分離、及び２つの偏波から出射波への合成を行う偏波分離合成器と、前記光回路及び前記偏波分離合成器の間を接続し、前記分離された２つの偏波が個々に入射される第１及び第２の光導波路と、
前記第１の光導波路に配置され、前記偏波分離合成器により分離された一方の偏波の偏波面を、前記分離されたもう一方の偏波の偏波面となるよう回転する偏波回転素子と、を平面基板上に集積したことを特徴とする光回路装置。 （もっと読む）

【課題】小さな寸法を有し、且つ光学性能に優れた光ハイブリッド回路を提供する。
【解決手段】光ハイブリッド回路１０は、４つの入力チャネル１１と、４つの出力チャネル１２と、一方の端部に４つの入力チャネル１１が接続され、他方の端部に４つの出力チャネル１２が接続される多モード干渉カプラ１３と、を備える。多モード干渉カプラ１３は、一方の端部から他方の端部に向かって光を伝搬する。多モード干渉カプラ１３は、一方の端部１４から他方の端部１５側に向かって幅が漸減する第１部分１３ａと、この第１部分１３ａと接続され接続部分の幅を保持したまま一方の端部１４側から他方の端部１５側に向かって延びる第２部分１３ｂと、この第２部分１３ｂと接続され一方の端部１４側から他方の端部１５に向かって幅が漸増する第３部分１３ｃと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 安価に所望のフィルタ特性を持つ光導波路型波長を提供する。
【解決手段】 光導波路型波長フィルタ２は、光を伝送する直線状の直線導波路コア３と、該直線導波路コア３と同一面に形成された環状の下環状導波路コア４と、下環状導波路コア４と同一形状であって、該下環状導波路コア４の上に形成された上環状導波路コア５とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で信号光と同位相のモニタリングを行うことのできる光導波路デバイスおよび光導波路デバイス製造方法を得ること。
【解決手段】ＬＮチップ１１の出力側端面は、導波路１１ａにおける信号光の進行方向に対して傾斜した構成を有する。傾斜は、信号光の一部が上方向に反射するように形成する。加えて、出力側端面の上方に設けた補強部材３１＿２の上に受光素子４１を配置し、出力側端面で反射した信号光を受光する。かかる構造によって、受光素子４１が取り出すモニタ光と出力側端面から透過する信号光は同位相となり、モニタ光に基づいて制御を行うことでバイアスシフトの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】基板内に光導波路が内装された光基板を、安価な材料で且つ生産性の高いプロセスであり、低コスト且つ接続性のよい光基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】第一の絶縁樹脂層の第一面に光導波路を接着する工程と、該光導波路の外周全体または外周の一部にスペーサを積層する工程と、光導波路の光入出力部に合わせて接着層を開口する工程と、第一の絶縁樹脂層の第一面に第二の絶縁樹脂層を接着層により加熱圧着する工程と、絶縁樹脂層の最外層に貫通口を設ける工程と、絶縁樹脂層の最外層にパターニングにより電気気配線を形成する工程と、光導波路の光信号の入出力部が露出するように前記第二の絶縁樹脂層に開口部を設け、電気配線上に光入出力を行う受発光素子を実装する工程と、電気配線上に上に受発光素子制御素子を設ける工程を有することを特徴とする光基板の製造方法で得られる光基板とする。 （もっと読む）

【課題】導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品において、熱応力および機械的外力による光学特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】第２の導波路型光素子２０２には、互いに対向する第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２がマウント２１０との間に間隙を設けて固定される。マウント２１０には、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２が設けられ、これらも互いに対向している。第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２の上に押さえ部材３１３が配置され、これは、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２により、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２との間に間隙を設けて固定される。第２の導波路型光素子２０２並びに第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２は、周囲の部材と固定されておらず、マウント２１０に平行な方向（図３の紙面に垂直な方向）に摺動可能である。 （もっと読む）

【課題】ＰＬＣと他の導波路型光素子とが付き合わせ接続されて構成された光素子チップをパッケージに収納する光モジュールにおいて、熱応力による光学的・機械的信頼性の低下を抑制すること。
【解決手段】光モジュール３００は、ＧａＮ系光変調器３１１の両端に第１及び第２のＰＬＣ３１２、３１３が突き合わせ接続された光素子チップ３１０と、ＧａＮ系光変調器３１１が固定された凸部３２０Ａを有するパッケージ３２０とを備える。パッケージ３２０の材料を、熱膨張係数がＧａＮ系光変調器とＰＬＣの両方に合うように選択することが可能であり、そのような場合、ＧａＮ系光変調器３１１に加えて、第１及び第２のＰＬＣ３１２、３１３もパッケージ３２０の凸部３２０Ａに固定することができる。たとえば、パッケージ３２０の材料として、熱膨張係数が５．３×１０^-6／Ｋ程度のコバールを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】光の伝搬損失の発生を抑制できる感光性樹脂組成物、光導波路フィルムおよび光導波路フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、（Ａ）置換または無置換の環状オレフィン樹脂と、（Ｂ）（Ａ）とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーと、（Ｃ）光酸発生剤と、を備える。このような感光性樹脂組成物は、屈折率が異なる領域を含むフィルムに使用され、たとえば、光導波路フィルムに使用される。 （もっと読む）

【課題】研磨による端面の切削量を精確に調整するためのマーカを備える導波路型光素子を提供すること。
【解決手段】導波路型光素子３００は、導波路型光素子３００の端面３００Ａで一端が露出した光導波路３０１と、当該端面３００Ａで一部が露出した研磨マーカ３０２とを備える。研磨マーカ３０２の幅３０２Ａは、端面３００Ａからの距離に応じて増加または減少する。図３（ａ）には、三角形状で、端面３００Ａからの距離に比例して幅３０２Ａが減少する研磨マーカ３０２の例が示されているが、幅３０２Ａが増加するようにしてもよい。導波路型光素子３００の研磨の際、研磨マーカ３０２を端面方向から観察し、その幅３０２Ａを測定することにより、切削量を容易にモニタすることができる。 （もっと読む）

【課題】温度無依存化を達成する。
【解決手段】等価屈折率の温度依存性が互いに異なる第１部分光導波路１２Ａ_１〜６と第２部分光導波路１２Ｂ_１〜６とが直列に接続された第１〜第６光導波路１２_１〜１２_６を備えた光導波路アレイ１４と、光導波路アレイの一端に接続された入力側平面導波路１６と、光導波路アレイの他端に接続された出力側平面導波路１８と、入力側平面導波路に接続された入力用光導波路２０と、出力側平面導波路に接続された出力用光導波路２２ａ〜２２ｃとが、Ｓｉを用いて、屈折率差が４０％以上のクラッドＣＬに形成されていて、第１〜第６光導波路において、（１）光導波路番号ｉが順次増大する毎に、光路長が一定値Δｌずつ増加し、（２）光導波路番号ｉ順次増大する毎に、全幾何学的長さが一定値ΔＬずつ増加し、（３）光導波路番号ｉ順次増大する毎に、前記第２部分光導波路の幾何学的長さが一定値ΔＬａずつ増加する。 （もっと読む）