【課題】平面光波回路素子を高精度で製造できる方法を提供する。
【解決手段】第１コア部を有する第１導波路回路部と、前記第１導波路回路部の第１コア部よりも最大厚さが厚い第２コア部を有する第２導波路回路部とを備えた平面光波回路素子の製造方法であって、下部クラッド層上に、前記第１コア部の厚さに対応する厚さを有する第１コア層と前記第２コア部の最大厚さに対応する厚さを有する第２コア層とを形成するコア層形成工程と、前記第１コア層を少なくとも該第１コア層の厚さだけ前記第１コア部のパターンにエッチングするとともに、前記第２コア層を少なくとも前記第１コア層の厚さだけ前記第２コア部のパターンにエッチングする第１エッチング工程と、前記第２コア層の残りの厚さの部分を選択的に前記第２コア部のパターンにエッチングする第２エッチング工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】より高い信頼性を有するアサーマルＡＷＧモジュールを提供する。
【解決手段】アサーマルＡＷＧモジュール１０は、ＡＷＧ１１の導波路の一部を切断して分離し、分離された２つのチップを補償板３３により連結したアサーマルＡＷＧチップ１２と、開口部１４を有しアサーマルＡＷＧチップ１２を収容するパッケージ１３と、開口部１４を塞ぐ蓋１５とを備える。ＡＷＧ１１の導波路の切断部と補償板３３を覆い、ＡＷＧ１１の導波路と屈折率が整合した第１のマッチングゲル５１と、マッチングゲル５１を覆う第２のマッチングゲル５２とを備える。針入度が高くかつ密着性に優れた第１のマッチングゲル５１により導波路の切断部と補償板３３を覆っているので、補償板３３の柔軟な動きが可能になる。透湿度が低い第２のマッチングゲル５２により第１のマッチングゲル５１を覆っているので、高湿下での信頼性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓから選ばれる１種以上の成分及びＮｂ、Ｔａから選ばれる１種以上の成分を含有するペロブスカイト型（ＡＢＯ_３）酸化物材料は、光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特にその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】屈折率が異なる第１の平面光波回路と第２の平面光波回路とが、それぞれの平面光波回路に形成された複数の光導波路同士を光結合するように端面で突き合わせ接続された光部品において、使用環境の温度変化に対して安定な光部品を提供すること。
【解決手段】光部品５００は、第１の屈折率ｎ₁を有する第１の平面光波回路５０１と、第１の屈折率ｎ₁と異なる第２の屈折率ｎ₂を有する第２の平面光波回路５０２とが光軸方向に対して直角な端面で突き合わせ接続されている。第１及び第２の平面光波回路５０１、５０２には、それぞれ第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の光導波路が形成されている。第１の平面光波回路５０１の第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数）の光導波路と第２の平面光波回路５０２の第ｉの光導波路の位置が接続界面において一致するように調心して接続する。この際、第１の平面光波回路５０１の第ｉの光導波路が界面の法線となす角度φ_iがスネルの法則を満足する範囲でｉ毎に異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＭＺ型導波路の合波部から放出される主出力光とモニタ光（放射モード光）との光強度変化が相補的関係となるように設定することが可能な光導波路素子を提供する。
【解決手段】基板に少なくとも１つのマッハツェンダー型導波路が形成され、該マッハツェンダー型導波路の出射側の合波部２０には、２本の分岐導波路２２，２３が導入されると共に、出力主導波路２４と該出力主導波路を挟む２本の出力副導波路２５，２６とが導出されるように構成された光導波路素子において、該分岐導波路２２，２３はシングルモード導波路で構成され、該合波部２０の導波路はマルチモード導波路で構成され、該マルチモード導波路の幅Ｗ２は、該シングルモード導波路の幅Ｗ１，Ｗ３よりも広く、かつ、該シングルモード導波路の幅の２倍の幅よりも狭く構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ＭＵＸおよびＤＥＭＵＸモジュールを一つのパッケージに配置することが可能であるとともに、一方の端面に入出力用のファイバアレイを接続可能な小型のアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供する。
【解決手段】 導波路チップ１５の端部には、複数の導波路５ａが形成される。導波路５ａは、スラブ導波路７を介して、それぞれ異なる長さで同一方向に屈曲する複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路９と接続される。アレイ導波路９は、スラブ導波路８を介して導波路５ｂと接続される。すなわち、導波路５ｂは、導波路５ａとは反対側に向けて設けられる。導波路チップ１５の導波路１５ａとは反対側に設けられる導波路５ｂは、反転導波路チップ１１上に形成された反転導波路１１ａと接続される。反転導波路１１ａは、一方の端部から入力する光信号を入力方向に向けて逆向きに出力することが可能な略Ｕ字状の形状である。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対する波長特性変化に加え又は温度変化に対する波長特性変化に代えて、光導波路の作製上の寸法誤差に対する波長特性変化が低減された、シリコン等の高屈折率の材料をコアに用いた光導波路を有する光波長フィルタを提供する。
【解決手段】互いに異なる複数の波長が多重された入力光を波長毎に分離して出力する光波長フィルタであって、クラッドとクラッドの１．４倍以上の高屈折率を有するコアとで構成された複数の光導波路を備え、複数の光導波路の各々は、基準となる基準区間と位相差を調整するための１つ又は２つの調整区間とに区分されており、互いに隣接する２つの光導波路の各出力端から出力される二光波が予め定めた位相差を生じるように、複数の光導波路の各々について、基準区間の光導波路の等価屈折率及び長さと調整区間の光導波路の等価屈折率及び長さとが、予め設定された光波長フィルタである。 （もっと読む）

【課題】マッハツェンダ干渉計とアレイ導波路回折格子とを備える波長合分波器において、簡便な構成にてマッハツェンダ干渉計に設けられた温度補償材料の温度補償特性の劣化や剥離を低減可能な波長合分波器およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る波長合分波器１は、分離スラブ導波路５１ａ、５１ｂを有するＡＷＧ５と、２つのアーム導波路６３ａ、６３ｂを有するＭＺＩ６とを備える。上記２つのアーム導波路６３ａ、６３ｂには、温度補償溝６４ａ、６４ｂが形成されており、該温度補償溝６４ａ、６４、および分離スラブ導波路５１ａおよび５１ｂの間の空間９には、ＡＷＧ５やＭＺＩ６の導波路コアと屈折率整合し、該導波路コアの温度依存係数と異なる符号の温度依存係数を有し、可塑性または流動性を有する補償材料１０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】集積化が容易な光分散補償器を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による導波路型光分散補償器（１００）は、入力導波路（１０１ａ）と、入力導波路と接続された第１のスラブ導波路（１０２）と、第１のスラブ導波路と接続された第１のアレイ導波路（１０３）と、第１のアレイ導波路と接続された第２のスラブ導波路（１０４）と、第２のスラブ導波路と接続された第２のアレイ導波路（１０６）と、第２のアレイ導波路と接続された反射器（１０７）と、第１のスラブ導波路と接続された出力導波路（１０１ｂ）とを備える。また、第２のスラブ導波路（１０４）は、入力導波路から入射した光のスペクトル面（１０８）と反射器から反射した光のスペクトル面（１０８）が一致するように形成された空間位相変調器（１０５）を備える。光分散補償器は、入力導波路から入射した光の分散が補償された光が出力導波路から出射されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】温度変化および水分の影響による光伝播損失の変動を低減化するアレイ状光導波路フィルムを提供する。
【解決手段】アレイ状光導波路フィルム１００は、平面に複数本の光導波路コアが配列させたアレイ状光導波路とそのアレイ状光導波路全面を加熱する発熱体層１０３より成る。アレイ状光導波路はポリマー材料で構成され、熱伝導性が低いため、光導波路の光信号伝搬に影響を与えないように、光導波路コア１０２より１０ミクロン以上離して、均一に加熱されるように配置する。 （もっと読む）

【課題】半導体光装置において温度が変化しても出力光の変動を抑制する。
【解決手段】半導体光装置１は、半導体光増幅器２と光波長選択素子３とを有し、光波長選択素子３は第１の光導波路２１と、第１の光導波路２１の結合導波路３２に光学的に結合されるリング共振器２２を有する。さらに、リング共振器２２と光学的に結合される結合導波路４１を含む第２の光導波路２３が設けられており、第２の光導波路２３には、波長選択反射鏡２４が形成されている。波長選択反射鏡２４は、垂直回折格子２５からなり、リング共振器２２で選択された共振モードのピークのうち、１つの共振モードのピークの波長を有する光を反射する。 （もっと読む）

【課題】温度調整装置を必要とすることなく、中心波長の温度依存性を抑制する。
【解決手段】光導波路部１０３の各光導波路Ｐ（Ｐ１〜Ｐｎ）を、それぞれ石英系導波路１１１，１１３とシリコン導波路１１２とから構成し、各光導波路Ｐにおける中心波長に対する温度依存性が互いに等しくなるよう、これら石英系導波路１１１，１１３とシリコン導波路１１２の長さを調整する。 （もっと読む）

【課題】波長特性の温度依存性を低減することができる、低損失のマッハ・ツェンダ干渉計、アレイ導波路回折格子及びマッハ・ツェンダ干渉計の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、入射光を分波した光を通過させるアーム部１０ａ及び１０ｂを有する。アーム部１０ａ（１０ｂ）は、シリコン細線導波路１１ａ（１１ｂ）、シリコン導波路１２ａ（１２ｂ）及び導波路１３ａ（１３ｂ）を有する。シリコン導波路１２ａ（１２ｂ）はシリコン細線導波路１１ａ（１１ｂ）よりも幅が広い。導波路１３ａ（１３ｂ）は、一端がシリコン導波路１２ａ（１２ｂ）の一端と光学的に接続され、シリコン細線導波路１１ａ（１１ｂ）及びシリコン導波路１２ａ（１２ｂ）とは異なる材料からなる。シリコン細線導波路１１ａ（１１ｂ）の一端は、シリコン導波路１２ａ（１２ｂ）の他端又は導波路１３ａ（１３ｂ）の他端と光学的に接続される。 （もっと読む）

【課題】温度無依存化を達成する。
【解決手段】等価屈折率の温度依存性が互いに異なる第１部分光導波路１２Ａ_１〜６と第２部分光導波路１２Ｂ_１〜６とが直列に接続された第１〜第６光導波路１２_１〜１２_６を備えた光導波路アレイ１４と、光導波路アレイの一端に接続された入力側平面導波路１６と、光導波路アレイの他端に接続された出力側平面導波路１８と、入力側平面導波路に接続された入力用光導波路２０と、出力側平面導波路に接続された出力用光導波路２２ａ〜２２ｃとが、Ｓｉを用いて、屈折率差が４０％以上のクラッドＣＬに形成されていて、第１〜第６光導波路において、（１）光導波路番号ｉが順次増大する毎に、光路長が一定値Δｌずつ増加し、（２）光導波路番号ｉ順次増大する毎に、全幾何学的長さが一定値ΔＬずつ増加し、（３）光導波路番号ｉ順次増大する毎に、前記第２部分光導波路の幾何学的長さが一定値ΔＬａずつ増加する。 （もっと読む）

【課題】温度無依存で使用することができるマッハツェンダ干渉器及びアレイ導波路グレーティングを提供する。
【解決手段】基板上の同一平面にプレーナ導波路としてそれぞれ形成されている、第１入出力光導波路１３と、第２入出力光導波路１５と、第１及び第２入出力光導波路端１３ａ及び１５ａ間を繋ぎ、互いに異なる光路長を有し、及び共通のクラッドを用いて形成された第１光導波路及び第２光導波路とを具える。第１光導波路１７には第１屈折率調節領域３３が、及び第２光導波路１９には第２屈折率調節領域３５が、それぞれ形成されており、かつ第１及び第２屈折率調節領域は、前記クラッドとは異なる材質の別のクラッドを用いて形成されている。 （もっと読む）

【課題】光リング共振器において光学素子による損失を低減する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるリング共振器は、リング状光導波路と、リング状光導波路に光を入力する入力用の光結合器と、リング状光導波路から光を出力する１以上の出力用の光結合器と、リング状光導波路に配置された１以上の光学素子とを備える。１以上の光学素子は、入力用の光結合器から入力された光の伝搬方向において、入力用の光結合器とその次の出力用の光結合器との間の全損失が他の光結合器間の全損失の総和よりも小さくなるように配置される。あるいは、１以上の光学素子は、入力用の光結合器から入力された光の伝搬方向において、最後の出力用の光結合器と入力用の光結合器との間の全損失が他の光結合器間の全損失の総和よりも大きくなるように配置される。 （もっと読む）

【課題】低コストで低損失な、温度に依存しない導波路型光干渉計を提供する。
【解決手段】光分岐部、複数の長さの異なる光導波路、及び光結合部から構成される光干渉計が開示される。前記複数の長さの異なる光導波路の光路長の温度依存性を等しくするため、前記複数の長さの異なる光導波路の長手方向に平均したコア幅は、互いに異なるように調整される。 （もっと読む）

【課題】 光導波路のコアとクラッドとの剥離を低減させた光電気配線基板および光モジュールを提供する。
【解決手段】 光電気配線基板は、基板と、前記基板上に設けられ、上面に第１の凹凸部を有する下部導体層と、前記下部導体層上の前記第１の凹凸部上に設けられ、下部クラッドとコアと上部クラッドとから構成される光導波路と、前記光導波路に設けられ、前記第１の凹凸部とともに前記光導波路を挟むように下面に第２の凹凸部を有する上部導体層と、前記下部クラッドおよび前記上部クラッドを貫通するように前記下部導体層から前記上部導体層まで連続して設けられた貫通電極と、を具備する。 （もっと読む）

入力スラブ導波路領域および出力スラブ導波路領域の少なくとも１つから延びる複数のシリコンフォトニクスアレイ導波路を含み、複数のアレイ導波路のそれぞれの第１の部分は、第１のコアの幾何形状を有し、複数のアレイ導波路のそれぞれの第２の部分は、第２のコアの幾何形状を有する、シリコンフォトニクスＡＷＧ（アレイ導波路回折格子）およびそれらの製造方法である。第１のコアの幾何形状および第２のコアの幾何形状は、異なる導波路のコアの幅および／または異なるコアの構造を備えることができる。ＡＷＧの温度安定性が、本発明の技法により提供される。

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