【課題】洗浄性能および作業安定性が良く、被洗浄物へ悪影響を与える恐れが少なく、特にＩＣ及びＬＳＩ等の半導体素子や液晶パネル素子の製造に有用な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 凝固した弗素系溶剤からなる粒子を被洗浄物表面に噴射して固体噴射洗浄することを特徴とする固体噴射洗浄方法を提供する。なお、弗素系溶剤が、炭素数４〜６の環状ハイドロフルオロカーボンであることが好ましく、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタンであることが特に好ましい。 （もっと読む）

【課題】より高い精密洗浄能力を有するスピン洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄体を被洗浄物２へ照射するノズル１と、ケーシング３で且つ被洗浄物２周囲の位置に複数枚の遠心翼４を有する回転体とを備えている。ノズル１から噴射され被洗浄物２から振り飛ばされた飛沫やミスト１５を、遠心翼４の回転により該遠心翼の外側へ排出させる排出機能と、排出された飛沫やミスト１５の遠心翼４の内側への回帰を防止する回帰防止機能とを生じさせ、被洗浄物２から除去されたゴミや塗膜の除去の実行性を高めている。これにより、所定のケーシング３内で被洗浄物２を回転しこの被洗浄物２に気体や液体またはそれらの混合物から成る洗浄体を噴射することで、被洗浄物２からゴミや塗膜を除去するスピン洗浄装置において、一度除去されたゴミや塗膜を含む飛沫やミスト１５が再び洗浄面に付着することを防止する。 （もっと読む）