【課題】 被洗浄対象面を確実に液体に浸して洗浄効果の高い洗浄を可能とし、周囲への漏水を最小限とする洗浄装置を提供する。
【解決手段】 第１の底部体１１０ａの被洗浄対象面側に第１の突起体１２０a、１２０bを設け、第１の底部体に隣接した第２の底部体２１０ａの被洗浄対象面側に第２の突起体２２０を設け、第１の突起体の先端部と被洗浄対象面との間に液体保持空間１３０ａ、１３０ｂを形成し、第１の底部体１１０ａに設けた第１の振動子１１１の振動を伝達体１２１ａ、１２１ｂにより液体保持空間１３０ａ、１３０ｂ内の液体に伝達すると共に、第２の底部体２１０ａに設けた第２の振動子２１１により、第１の振動子とは異なる振動数の振動を第２の突起体に伝達し、前記液体保持空間と第２の突起体を被洗浄対象面に当接して被洗浄対象面を洗浄するようにした。 （もっと読む）

【課題】パーティクルを含んだ洗浄液が基板表面に再付着することを防ぐ基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】水平搬送される基板Ｗの表面に、回転する洗浄ブラシ２を摺接することによって、基板Ｗ表面のパーティクルの除去を行う基板洗浄装置において、洗浄ブラシ２をブラシケース３によって覆うことによって、洗浄ブラシ２の回転による洗浄液Ｌの飛散を防止する。さらに、洗浄液Ｌの供給を、ブラシケース３に設けた吐出ノズル４１によって、洗浄領域の下流側から上流側に向けて行うとともに、ブラシケース３に設けた吸引ノズル５１によって、洗浄領域の上流側において洗浄液Ｌの回収を行う。これにより、パーティクルの基板表面への再付着を防止する。 （もっと読む）

【課題】基板の表裏両面の好適な洗浄を可能とする。
【解決手段】ベース部材２に設けられた保持部材６によってベース部材２と基板Ｗとが離間された状態で基板Ｗの周縁部が保持され、保持部材６に保持された基板Ｗの面のうち、ベース部材２に向く側の第１洗浄面ＷＦ１を洗浄するための第１洗浄ブラシ２１は、第１洗浄具支持アーム２２によって、基板Ｗとベース部材２との間に第１洗浄面ＷＦ１に沿って移動可能に配置支持される。回転モーター１１によってベース部材２に連結された中空状の回転軸９を介して基板保持機構１及びそれに保持された基板Ｗを回転させながら、回転モーター１６による移動動力によって、第１洗浄面ＷＦ１に沿って第１洗浄ブラシ２１を移動させ、第１洗浄ブラシ２１により基板Ｗの第１洗浄面ＷＦ１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 印刷機のシリンダ洗浄装置に関し、洗浄液の飛散を防止しながらシリンダの洗浄効率を向上できるようにする。
【解決手段】 シリンダ７３外周面の近傍に設けられ、シリンダ７３外周面に洗浄液を噴射する第１の洗浄液噴射手段５と、第１の洗浄液噴射手段５よりも下方に設けられ、シリンダ７３外周面に接触して回転しうるブラシローラ７と、シリンダ７３外周面に対向する側に開口部８ａが形成され、第１の洗浄液噴射手段５及びブラシローラ７をシリンダ７３の周外方向から覆って開口部８ａをシリンダ７３外周面により閉塞して洗浄液の飛散を防止する洗浄液飛散防止部材８とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板を非接触で水平姿勢に保持する場合において、簡易な構成により、基板を浮上させるために基板下面に向けて噴出される気体の流量を均一化することができる装置を提供する。
【解決手段】 空気通路となる微細孔が全体にわたって均一に形成された円環状の多孔質部材２０と、多孔質部材２０が一体的に固設されて上面に多孔質部材の平坦な表面が露呈し多孔質部材の一部に連通する気体供給路２６が内部に形設されたステージ１８と、ステージ１８の気体供給路２６を通して多孔質部材２０へ気体を供給する気体供給手段とを備え、多孔質部材２０へ気体を供給して多孔質部材の表面から上向きに気体を噴出させ、ステージ１８の直上に基板Ｗを浮上させて非接触で保持する。 （もっと読む）

【課題】 塵埃を確実に除去でき、しかも、塵埃除去の処理効率（処理数）を確保できる除塵装置を提供する
【解決手段】 複数の載置台５を具備することにより、一の載置台で除塵処理が行われている間、他の載置台においてワーク集積体２１の搬入、搬出の作業を行うことが可能となり、単位時間当たりのワーク２０の除塵処理数を増大させることができる。また、上部エアノズル７１と側部エアノズルと７２を具備し、ワーク集積体２１の上方及び側方からエアを吹き付け、ワーク集積体２１の各ワーク２０が偏り無く拡開して分離するように構成している。これにより、ワーク２０間に挟まった塵埃を確実に除去することが可能となる。従って、ワーク２０の除塵処理数が増大し、処理能率が向上する。また、除塵効果が高まり、ワーク２０への塵埃付着に伴う不良発生を防止できる。つまり、処理効率と除塵効果との向上を同時に実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 高速走行する光ファイバなどの線状体の外観検出を誤動作なく高精度に行う。
【解決手段】 走行する光ファイバＦの外観を光学的に検出する検出器を収容した検出室１４の入口１６ａに隣接して光ファイバＦが挿通可能な空間部を有する前室１３を配置する。前室１３の長手方向の長さＬ（ｍ）を、光ファイバＦの線速Ｖ（ｍ／ｍｉｎ）との間で、Ｌ≧（３.０×１０^−５）Ｖの関係を満たす長さとする。検出室１４及び前室１３にクリーンエアーを供給して陽圧とする。 （もっと読む）

本発明は、庭園および景観地の手入れに使用され長い駆動軸を備えた駆動機（５０）のためのブロアーアタッチメント（３０）に関する。ブロアーアタッチメント（３０）は、ケーシング（２０）と該ケーシング内で回転可能な羽根車（３０）とを有し手いる。羽根車は、該羽根車の回転に伴いケーシングの取り込み口（２２）を通じて空気が吸い込まれ且つケーシングの排出口を通じて空気が排出されるように構成されている。ブロアーアタッチメントは、羽根車が駆動機の駆動軸により駆動可能であるように（駆動機）に連結可能である。
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洗浄チャンバと、該洗浄チャンバ内において減圧下で接合面にエネルギー波を照射する洗浄手段と、洗浄チャンバ内から取り出した被接合物の金属接合部同士を大気中で接合する接合手段と、少なくとも一方の被接合物に関して先行する被接合物と後続の被接合物とを、実質的に同時に、少なくとも洗浄チャンバ内への搬入方向および洗浄チャンバ内からの搬出方向に搬送する搬送手段とを有する接合装置。洗浄した被接合物を大気中に取り出して接合するに際し、特に洗浄チャンバ周りの被接合物の搬入や搬出、受け渡しを円滑にかつ短時間で行うことができ、高スループットで所定の接合製品を量産することができる。その結果、接合工程全体のタクトタイムの短縮と、接合工程に要するコストの低減が可能となる。
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【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去した塵埃を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができる簡易なエア注入枠付ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２のユニットのゴミが噴出される側にユニットを覆うように差込んで装着可能な空気注入口１４を備えた長方形のエア注入枠１１とエア注入枠１１に取付けられ、ゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２とエア注入枠１１の反対側に設けられ、吸引ホースを装着可能なゴミ取出口１３とから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去したゴミ（塵埃）を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができるエアードーム型ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２の側面２１に密着して取付け可能で空気注入口１５を備えた方形の中空取付部１１とゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２と袋本体部１２の外周囲に固着（貼着）され、両端が方形の中空取付部１１に連通した数本の中空の支柱１４と方形の中空取付部１１の反対側に設けられ、吸引ホースを装着可能なゴミ取出口１３とから成り、空気注入口１５から空気を注入することにより、方形の中空取付部１１と数本の中空の支柱１４を膨らませることができることを特徴とする。 （もっと読む）