【課題】トランスファーチャンバ内の汚染を抑制することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】ロボットアーム１００は、半導体ウエハを搬送するロボットアームであり、ハンド２と前腕リンク１０と上腕リンク１４を備えている。ハンド２は、第１関節２０を介して前腕リンク１０に連結している。上腕リンク１４は、第２関節１１を介して前腕リンク１０に連結している。ロボットアーム１００では、前腕リンク１０が、第１関節２０と第２関節１１の間で分割可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】ベルト１１１の張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、テンション調整機構が、ベルト１１１に接触して張力を与えるアイドラ１３１と、アイドラ１３１を支持するとともにアームに対して第１支点１１９で回転可能に設けられたリンク１１８と、アームに対して第２支点１１７で回転可能に設けられ、リンク１１８の一部に接触するローラと、を備え、アームの温度上昇に伴って第１支点１１９と第２支点１１７とが離れると、リンク１１８がローラ１１７に接触しながら第１支点１１９で回転して張力を軽減するようにした。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒによって連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５には、基板１０の側部と当接して係止するための係止部５ａ、５ｂが設けられる。リンク機構２０の隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒには、基板１０の側部と当接し基板１０を載置部５の係止部５ａ、５ｂに対して付勢する付勢部６ａを有する弾性の付勢部材６が固定される。付勢部材６は、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの相対的な角度関係に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに対する付勢部６ａの距離が変化するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】クリーンプロセスにおける真空雰囲気下で熱の影響に耐えうる板状ワークの搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に保持された旋回ベース２と、この旋回ベース２に対して揺動可能に支持されたリンクアーム機構３と、リンクアーム機構３に支持されたハンド４とを備え、旋回ベース２およびリンクアーム機構３の動作に伴いハンド４でワークを水平に保持しながら搬送するものである。旋回ベース２と固定ベース１との間には、気密シール２３Ａが設けられているとともに、固定ベース１および旋回ベース２には、冷媒循環路が設けられており、この冷媒循環路の一部は、気密シール２３Ａの近傍に配置されている一方、冷媒循環路は、固定ベース１と旋回ベース２との境界に形成した環状空間１１０Ａ，２１０Ａを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 一般的に市販されている６軸などの多関節ロボットアームを用い、他の制御機構を設けなくてもよく、アームの先端に駆動力の伝達機構を持つ延長部材を取付けてラドルの駆動制御を行う溶湯搬送装置を提供する。
【解決手段】 多間接ロボットアームの先端にラドルを駆動できるように設けた溶湯搬送装置において、前記多間接ロボットアームの先端にはアームの長さ方向の軸を中心に回転する駆動部が備えられ、前記回転する駆動部の駆動力をラドルの上下駆動に用いることを特徴とする。 （もっと読む）

基板搬送用ロボットの為のエンドエフェクタ・アセンブリが全般的に提供される。一実施形態において、基板搬送中、四辺形基板を支持する為のエンドエフェクタ・アセンブリは、第１端部で配置された内縁部支持体と、末端部で配置された第１外縁部支持体と、を有するエンドエフェクタを含む。エンドエフェクタの第１端部は、ロボットリンク機構に結合するように適合されている。第１内縁部支持体は、第１外縁部支持体に平行となるように向けられ、第１外縁部支持体の面に対面する面を有する。縁部支持体の、この構成は、エンドエフェクタに対し基板を捕捉し、それにより、搬送中の基板の滑りを最小限にする。他の実施形態において、内縁部支持体と外縁部支持体との間が開放された、基板の端部に沿って基板の捕捉を更に高める側方ガイドが利用されてもよい。
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