【課題】ワークｗの被研削部ｗ１外周面に衝接されるワーク振れ止め部材１７によるワークｗの振れ止め作用を合理的に付与して精度の高い研削を行うほか、砥石台３の送り手段に大きな負荷が作用しないようにする。
【解決手段】ワークｗを主軸９回りへ送り回転させるものとしたワーク支持回転手段８と、砥石回転軸１１回りへ回転駆動され前記主軸９の前後側の一側でｘ方向へ送り変位されるものとした研削砥石１２とをベッド１上に備えている研削盤において、主軸９の前記一側に対し反対側となるベッド１上に設けられた駆動手段２７と、該駆動手段２７によりｘ方向への移動可能に支持され且つ被研削部ｗ１外周面の研削中に該外周面を研削砥石１２の研削力に対抗するように継続的に支持するものとなされたワーク振れ止め部材１７とを設ける。 （もっと読む）

研削加工後のワーク変形量から、砥石車の姿勢の狂いを検出して、砥石車を正しい姿勢に調整することで、平行度および平坦度に優れるワークを得られる両面研削技術を提供する。砥石車（１、２）の切込み完了時に、エアゲージセンサ（Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃ）を用いて、静圧パッド（２０、２１）とワーク（Ｗ）の表裏両面との距離を３箇所で測定し、これら３箇所の測定結果から、ワーク（Ｗ）の変形量を検出するとともに、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、砥石車（１、２）の切込み完了時のワーク（Ｗ）が変形を生じず平坦となるように、砥石車（１、２）を移動調整する。
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【課題】板状物に傷を付けずにその厚みを正確に計測する。
【解決手段】保持テーブルに保持された板状物２の上面２ａに向けて流体を流出させて流体膜３を形成すると共に、筒体１２の内部に流体柱４を形成し、送波部１７から超音波を送信してからその反射波が到達までの時刻から板状物２の厚みを求める。筒体１２は板状物２の接触しないため、板状物に傷を付けることがない。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の表面に保護テープを貼着して裏面を研削しても、保護テープの厚さのバラツキに影響されることなく、被加工物を所定の仕上がり厚さに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削手段と、研削手段をチャックテーブルの保持面と垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を検出するハイトゲージを具備する研削装置であって、被加工物の厚さを検出する厚さ測定器と、厚さ測定器とハイトゲージからの検出データに基づいて研削手段および研削送り手段を制御する制御手段具備している。制御手段は、厚さ検出器によって検出された加工前の被加工物の厚さと被加工物の仕上がり厚さデータから目標研削量を算出し、ハイトゲージからの検出データに基づいて加工前の被加工物の高さ位置から目標研削量に相当する高さ位置に達するまで研削する。 （もっと読む）