【課題】砥粒の脱落を防止し研削面粗さを許容限度に保つことで、砥石車の寿命が長い研削を実現する研削方法および研削盤を提供する。
【解決手段】研削中の砥石車７と工作物Ｗの接触弧の長さを所定の接触弧長さとすることで、砥石車７の砥粒のボンド層からの突出量である砥粒突出し量を所定の値以下とし、砥粒保持力を所定の値以上とする。さらに、切屑の厚さを所定の厚さ以下とし砥粒に加わる研削力を砥粒保持力以下とすることで、砥粒の脱落を防止する。 （もっと読む）

【課題】被加工物に対して、砥石を交換することなく、低コストで黒皮研削から仕上研削まで実行することができる研削装置及び研削方法を提供する。
【解決手段】被加工物を載置する支持板と、該支持板と略平行な面にて回転することが可能な砥石が配置された回転体とを備える。回転体の主軸回転数を下げた状態で黒皮研削を実行し、黒皮研削が完了したか否かを負荷電流値の変動に基づいて検出し、黒皮研削が完了した時点で回転体の主軸回転数を上げる。 （もっと読む）

【課題】砥石台に複数の砥石が載置された複合研削盤において、装置が大型化することなく、より単純な構成にて振動の発生をより低減することができる複合研削盤における回転バランス調整方法、及び複合研削盤を提供する。
【解決手段】砥石台１５上には、第１砥石駆動モータ４０Ｍの回転軸Ｚ４０と第２砥石駆動モータ５０Ｍの回転軸Ｚ５０とが平行、且つ隣り合うように、第１及び第２砥石装置が載置されており、回転軸Ｚ４０に対して対称となる位置が回転軸Ｚ５０と一致する仮想対称面ＭＡを仮定し、第１砥石駆動モータの回転方向と第２砥石駆動モータの回転方向が互いに逆方向となるように、且つ回転速度を一致させ、回転中の第１砥石駆動モータのアンバランス位置ＵＢ１と、回転中の第２砥石駆動モータのアンバランス位置ＵＢ２と、が仮想対称面ＭＡに対して対称位置となるように、第１砥石駆動モータと第２砥石駆動モータとを同期させて回転させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、円筒研削盤の主軸センタに挟み込むことで取り付け可能な軽量小型で且つツルーイング・ドレッシング効率の高いブレーキ制御式ツルーイング・ドレッシング装置を提供する。
【解決手段】 円筒研削盤の主軸センタに挟み込んで取り付けが可能である研磨装置であって、ブレーキシューにつれ回転半径方向に移動調整可能な球状錘を取り付けることにより、小型軽量でありながら研削効率が高く、砥石に制動力が働く回転数を調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの厚さを測定しながら研磨を行うことのできる両面研磨装置において、研磨中のウェーハの振動に代表される測定誤差の影響を受けずに、高い精度でウェーハの厚さを測定しながら研磨を行うことのできる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、回転駆動する平坦な研磨上面を有する下定盤１２と、前記下定盤に対向して配置され回転駆動する平坦な研磨下面を有する上定盤１１と、ウェーハを保持するウェーハ保持孔を有するキャリア１３とを備える両面研磨装置において、前記上定盤または前記下定盤の回転中心と周縁との間に設けられた複数の孔１４と、該複数の孔から前記ウェーハの厚さを研磨中にリアルタイムで測定するウェーハ厚さ測定機構１６とを具備し、該ウェーハ厚さ測定機構は、該研磨装置の前記上定盤または前記下定盤ではない固定端に固定されたものであることを特徴とする両面研磨装置。 （もっと読む）

【課題】高平坦性・高平滑性のウェーハを高い生産性で、歩留り良く製造することのできるウェーハの研磨方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、回転駆動する平坦な研磨上面を有する下定盤と、前記下定盤に対向して配置され回転駆動する平坦な研磨下面を有する上定盤と、ウェーハを保持するウェーハ保持孔を有するキャリアとによって、前記ウェーハを挟持して押圧摺動することで両面を同時に研磨するウェーハの研磨方法において、前記上定盤または前記下定盤の回転中心と周縁との間に設けた複数の窓から前記ウェーハの厚さを測定しながら研磨を行い、前記ウェーハの研磨途中で研磨速度の異なる研磨スラリーに切り替えることを特徴とするウェーハの研磨方法。 （もっと読む）

【課題】 刃先位置の検出にかかる時間を短縮して研削作業効率を向上すること。
【解決手段】 仕上げ研削装置１５と、仕上げ研削装置１５を制御する制御盤１７を備えた刃物研削盤において、制御盤１７は、刃物１の刃先に対してあらかじめ定められた近接位置に基づいて定められた送り量に達するまで砥石ユニット１１、１３を早送りする指令を出力し、砥石ユニット１１、１３が近接位置に達したら砥石ユニット１１、１３を低速で回転させて砥石ユニット１１、１３を微速送りに切り替える指令を出力し、砥石ユニット１１、１３の回転数の変化を検出して砥石ユニット１１、１３が前記刃物の刃先に当接したことを検知し、このときの砥石ユニット１１、１３の送り量に基づいて刃物１の刃先の位置を求めることを特徴とする刃物研削盤。 （もっと読む）

【課題】研磨時間を短縮した研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置１において、制御部６０は、マスク基板１０上の研磨部材４２の移動速度が略一定になるようにＸＹＺステージ２０の作動を制御するとともに、研磨工具４０（研磨部材４２）の回転速度および押圧機構５０による研磨圧力の少なくとも一方がマスク基板１０の形状に応じて変化するように、サーボモータ３３および押圧機構５０の作動を制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】主軸の加工回転速度が高速化する現状の主軸回転制御条件のもとで精度高く工作物の異常回転を検知できる工作物異常回転検出装置を提供する。
【解決手段】非真円箇所研削盤において、センサ２０が工作物Wの非真円箇所に対向して配置され、該センサ２０は、主軸１３が制御装置により低回転速度で回転制御される低速回転位相範囲内の域に回転されているときに、非真円箇所の最大径部と対向して該最大径部が検出位相区間に回転していることを検出するように配置され、主軸１３が検出位相区間に回転されているときに、センサ２０が最大径部を検出しない場合に異常と判定する異常判定手段を備える。 （もっと読む）

【課題】最適な研削加工条件を自動的に決定できる新たな研削加工条件決定装置および研削加工条件決定方法を提供する。
【解決手段】研削加工条件決定装置１は、シミュレーション部１１で算出される研削焼け深さ以上に設定される仕上げ取代と第二相対移動速度とに基づいて算出される仕上げ研削加工時間と、予め決定された初期径および最終径と仕上げ取代と第一相対移動速度とに基づいて算出される粗研削加工時間と、の合計である総研削加工時間を目的関数として、目的関数が最小となる工作物の第一回転数、砥石の第一回転数、第一相対移動速度、および、中間径を算出する研削加工条件算出部１２を備える。 （もっと読む）

【課題】高い研磨精度を有してワークの両面を同時に研磨する研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの両面Ｗａ及びＷｂを同時に研磨する研磨装置１００において、それぞれがワークＷに接触する研磨面１４２ａ，１６２ａを有して互いに反対方向に回転する一対の定盤１４０，１６０と、一対の定盤１４０，１６０の回転数を各々検出する一対の検出部１４８，１６８と、一対の定盤１４０，１６０の間でワークＷを加圧する加圧部１７０と、定盤１４０，１６０にスラリーを供給するスラリー供給部１７５と、研磨面１４２ａ，１６２ａとワークＷとの間の摩擦力が閾値を超えたと判断した場合に、加圧部１７０が加える荷重、定盤１４０，１６０の回転数、スラリー供給部１７５が供給するスラリーの少なくとも一つを減少する制御部１８０と、を有することを特徴とする研磨装置１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】定寸装置（測定手段）の接触子をワークから離間させることなく噛み込んだ異物を除去することができる加工方法及び加工装置を提供する。
【解決手段】回転手段と、加工手段（３０）と、測定手段（６０）と、異常検出手段とを用いてワーク（Ｗ）を加工する加工方法であって、回転手段にて、ワークの回転軸回りにワークを回転させるステップと、加工手段にて、回転しているワークの外周部を徐々に研削していくステップと、測定手段にて、研削している外周部に接触した状態を保持して当該外周部の外径を測定するステップと、異常検出手段にて、測定手段における外周部との接触部が異物を噛み込んだことを示す異常を検出するステップと、異常を検出した場合に、回転手段の回転速度を一時的に上昇させることで接触部に噛み込んだ異物を除去するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】大量生産されるガラス板を２基以上の研削加工ヘッドにより正確に研削加工することができるガラス板の周縁の研削加工方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板の周縁の研削加工装置１は、ガラス板２を吸着して保持する吸着テーブル３と、吸着テーブル３を回転させるテーブル駆動手段６と、吸着テーブル３の両側に夫々配置されている研削ホイール７及び８を夫々有しており、吸着テーブル３に対して進退移動自在に夫々装置された研削加工ヘッド９及び１０と、研削加工ヘッド９及び１０の夫々を進退移動させる加工ヘッド駆動手段１１と、テーブル駆動手段６による吸着テーブル３の回転及び加工ヘッド駆動手段１１による研削加工ヘッド９及び１０の進退移動を数値制御する数値制御装置１２と、研削ホイール７及び８の夫々の径を計測し、計測して得た計測値を数値制御装置１２にフィードバック入力する計測装置１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】自生作用を持つ研削砥石を用いる場合には定期的な目立てを行うことなく、またその他の研削砥石を用いる場合には本来必要な最小限の目立てのみを行いつつ、ワークの加工精度を安定させることが可能な両頭平面研削装置を提供する。
【解決手段】同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、ワークを回転駆動するワーク駆動手段と、砥石駆動手段及びワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備えた両頭平面研削装置において、各砥石駆動手段の負荷電流値の差を演算する電流値差演算手段と、電流値差演算手段で得られた電流値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する電流値差判定手段とを備え、駆動制御手段は、電流値差判定手段により電流値差が閾値以上であると判定されることを条件に砥石駆動手段の駆動方向を反転させるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】装置及び工程を複雑にすることなく、簡単な方法で研削痕が発生するのを防いで良好な研削面を得る。
【解決手段】研削砥石２７（研削手段）を回転させる砥石軸２１（第１回転軸）の回転数をウェーハ９（被研削物）を回転させるチャック回転軸１５（第２回転軸）の回転数で割った回転数比が整数倍とならないように、チャック回転軸１５の回転数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードに付与される超音波振動の振幅を検出することができる振幅検出手段を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレード４５を備えた切削手段と、切削ブレード４５に超音波振動を付与する超音波振動子と、超音波振動子に交流電力を印加する電力供給手段とを具備する切削装置であって、切削ブレード４５の径方向の振幅を検出する振幅検出手段１０を具備している。 （もっと読む）

【課題】ビビリ振動を防止することのできる研削方法及び研削盤を提供する。
【解決手段】研削盤１の砥石車９を回転する制御モータ７にパルスを印加して砥石車９の回転に回転方向の振動を付与してワークの研削を行うものであり、砥石車９を所定の回転数で回転してワークＷの研削を行っている最中にビビリ振動を検出したとき、砥石車９を回転するための制御モータ７にパルスを印加して砥石車９の回転方向に振動を付与するものである。研削盤は、制御モータ７の回転速度を制御する回転速度制御手段３３と、制御モータ７を回転駆動するモータドライバ３５と、砥石車９によるワークの研削時におけるビビリ振動を抑制するために、モータドライバ３５に対してパルスを印加するためのパルス発生手段３７と、砥石車９のビビリ振動を検出するためのビビリ振動検出手段４９を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークロールの偏芯やガタなどによって、砥石の研削状態に変化が生じた場合でも、安定して研削を行うことができるワークロールのオンラインロール研削方法を提供する。
【解決手段】圧延機のワークロールに回転砥石を押し付けて研削するワークロールのオンライン研削方法であって、前記ワークロールの研削時における回転砥石の押付荷重の振幅に応じて、前記押付荷重および／または砥石回転数を調節することを特徴とするワークロールのオンライン研削方法。 （もっと読む）

【課題】加工中に研磨材被覆テープが研削粉等で目詰まりしテープラップ研削による精度が向上しない状態になっても、加工中の主軸の負荷状態を常時監視し、最適なテープラップ研削を行うようにしたテープラップ加工機の主軸制御装置を提供。
【解決手段】主軸50の回転方向の変更及び回転速度の変更を制御する主軸制御装置52と、主軸50の負荷を検出し記録する主軸負荷検出記録装置51と、主軸50の負荷と予め設定した主軸の負荷しきい値との比較演算を行う比較演算装置53と、を有し、シュー５を前進させてテープラップ加工中の主軸50の負荷が予め設定した主軸の負荷しきい値より小さいとき、直ちに主軸制御装置52に主軸50の回転方向を変更させるか、又はシュー５を後退させるよう、割り込み処理を行わせるようにした。 （もっと読む）

【課題】 砥石の摩耗による影響を低減して研削加工することができる研削装置を提供する。
【解決手段】 円周面を有する円筒体Ａを回転可能に支持する支持体と、前記円筒体Ａを回転させつつ前記円周面を研削加工する砥石３と、該砥石３を回転駆動する電動モータ４と、前記支持体１を該砥石３の回転中心線と交差する方向へ移動させる移動手段と、前記砥石３及び前記円筒体Ａの周速比を設定する手段と、該手段により設定された周速比に基づいて前記砥石３の回転数を制御する制御部とを備えており、研削加工中における砥石３及び円筒体Ａの周速比を等周速比となるようにした。
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