【課題】砥石成形工程中においても使用可能な砥粒突出し量測定方法を備えた砥石成形方法および研削盤を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石車のツルーイング後に、成形面ｆから鉛直方向にｄ_１離離れた静電容量センサと所定成形面間の静電容量である第１静電容量Ｃｔ_１と、成形面ｆから鉛直方向にｄ_２離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第２静電容量Ｃｔ_２を測定する。ドレッシング後に、所定成形面ｆの位置から鉛直方向にｄ_１離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第３静電容量Ｃｄ_１と、所定成形面ｆから鉛直方向にｄ_２離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第４静電容量Ｃｄ_２を測定する。ドレッシング後の砥粒突出し量ｈを、式ｈ＝（（Ｃｔ_１−Ｃｄ_１）・ｄ_１^２−（Ｃｔ_２−Ｃｄ_２）・ｄ_２^２）／（（Ｃｔ_２−Ｃｄ_２）・ｄ_２−（Ｃｔ_１−Ｃｄ_１）・ｄ_１）で算出する。 （もっと読む）

【課題】高硬歯車の面粗さの改善などを目的として加工圧を調節することができる歯面加工装置及び歯車製造方法を提供する。
【解決手段】歯面処置装置１０は、はす歯状砥石２と、はす歯状砥石２の回転軸Ｃと被加工歯車Ｗの回転軸Ｘとの相対位置を移動できる位置調節手段３と、はす歯状砥石２の回転軸Ｃと被加工歯車Ｗの回転軸Ｘとの相対位置を調節して、被加工歯車Ｗの１つの歯を形成する歯面のうち一方の被加工歯面１１のみ、はす歯状砥石２の砥石歯面２１に当接させてはす歯状砥石２及び被加工歯車Ｗを噛み合わせるように位置調節手段３を作動させる相対位置制御部７１と、砥石回転手段４を作動させる砥石回転手段制御部７２と、回転トルクを所定範囲に調節するように回転トルク制御手段５を作動させるトルク制御手段制御部７３と、をもつ制御手段７とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＣＮＣ成形研削盤において製品ワークを研削加工する成形砥石に対し補正ドレスを自動で行うことを課題とする。
【解決手段】制御部７Ｃの自動制御により製品ワークＷに対し成形研削加工を行うＣＮＣ成形研削盤１において、制御部７Ｃは、砥石を成形するドレッサ手段２１、２３を制御するドレッサ制御手段と、成形された砥石である成形砥石１１に係る形状を計測する形状計測手段１３と、計測された結果と予め設定された目標成形砥石形状との差分情報を生成する差分情報生成手段とを備える。そして、制御部７Ｃは差分情報に応じて成形砥石１１を補正ドレスするための制御を続行する。 （もっと読む）

【課題】ツルーイングロール８を砥石車７の外周面に接触させながら、移動させるツルーイング方法において、砥石車７に対するツルーイングロール８の法線方向の切込み量が変動しても、所望の砥石車７の表面粗さが得られるツルーイング方法及び研削盤を提供する。
【解決手段】
砥石車７の研削作用面の法線方向へのツルーイングロール８の切込み量に反比例させて接線方向の移動の速度を大きくする。さらに、砥石車７の周速度Ｖ_ｗとツルーイングロール８の周速度Ｖ_ｔの比Ｖ_ｔ／Ｖ_ｗを、法線方向の切込み量が小さいほど大きくする。 （もっと読む）

【課題】ツルアの支持剛性を十分に確保することにより砥石車の形状成形精度を良好にしつつ、ツルアの偏摩耗の発生を防止することができる研削盤および砥石車のツルーイング方法を提供する。
【解決手段】砥石台６０は、砥石車６３の中心軸である第二軸Ｃ１の回りに回転可能に砥石車６３を支持すると共に、第二軸Ｃ１に直交する第三軸Ｂの回りに回転可能にベッド１０に支持される。制御手段８０は、ベッド１０に対して砥石台６０を第三軸Ｂの回りに回転させながら、砥石車６３におけるツルア７２との接線Ｅに対するツルア７２の向きが一定の状態となるように砥石車６３のツルーイングを行う。 （もっと読む）

【課題】金属を研削することでドレッシングする方法において、砥粒の突出し量を研削能率に関わらずに設定できる安価なドレッシング方法および研削盤
【解決手段】砥石車７で回転するドレッシングロール１０を研削し、砥石車７とドレッシングロール１０の接触弧の長さを所定の接触弧長さとすることで、ドレッシング後の砥石車７の砥粒のボンド層からの突出量である砥粒突出し量を所定の量とする。さらに、ドレス初期はドレッシングロール１０の回転当りの砥石切込みを小さくし、ドレッシングの進行に伴い砥石切りこみを大きくする。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングボードの厚みが規格の厚みに対して誤差範囲が大きくても、切削ブレードをドレッシングボードに所定の切り込み深さで切り込むことができるドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースを提供する。
【解決手段】切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている。 （もっと読む）

【課題】結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法およびトリミング装置を提供する。
【解決手段】トリミング体８は、トリミング板９上にて、規定された幅を有する輪形の領域内に配され、トリミング板９の外歯部１０は、トリミング板９に対して高さ調節可能であり、研削装置のすべての駆動部の回転方向が、トリミングまたは目立ての間に少なくとも２回変更され、２つの加工層の以前に測定した形状プロファイルに依って、下側および上側加工層からの材料除去が互いから独立して変動され得る。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法で研磨パッドの外周縁の振れ分を除去可能な研磨パッドの修正方法を提供することである。
【解決手段】 回転する研磨ヘッドの下面に装着された研磨パッドをチャックテーブル上に保持されたウエーハの上面に押し付けてウエーハを研磨する研磨装置における研磨パッドの修正方法であって、該研磨パッドの下端から所定の深さ分研削するため、該チャックテーブル上の該研削バイト上端の高さより該研磨パッドを該所定の深さに対応する距離下降させる下降動作と、該研磨パッドを回転させながら該研磨パッドの外周を研削するため、該研磨パッドと該研削バイトを該研磨パッドの面方向と平行方向に相対移動させる平行相対移動動作とを実施して、該研磨ヘッドに装着された該研磨パッドの回転中の外周縁を除去し、該研磨ヘッドの回転中心と円形に形成された該研磨パッドの中心とを合致させる研磨パッド外周研削工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】後工程におけるラップ仕上における取り代を少なくして、ラップ仕上に要する時間およびスラリー使用量を抑える。さらに、研削砥石の寿命を長くする。
【解決手段】粗研削された基板（Ｗ）の表面を仕上研削する仕上研削装置（２）は、基板を研削する研削砥石（１２）を備えていて回転可能な研削部（１０）と、研削部の研削砥石に対面して配置されていて、基板を保持しつつ回転可能なチャック（２０）と、研削部をその回転軸に沿ってチャックに向かって送込む研削送り部（１５）と、研削送り部が前記研削部を送込む送り量に応じて、前記研削砥石に対する前記基板の研削比を変更する研削比変更部（３０、３５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、使用限界に達した砥石を容易に短時間で交換して精度よくワークを短時間で研削加工する.
【解決手段】砥石１が使用限界に達した場合に新たな砥石１に交換するものであって、最初に取付けられた砥石１とワークＷとの歯合わせをするワークセットアップを行ってその初回ワーク位置関係データを読み込み記憶する初回ワーク位置関係データ読み込み工程と、各砥石１とドレッサ２との歯合わせをするドレスセットアップ（Ｓ２）を行ってそのドレスセットアップ位置関係データを読み込むドレスセットアップ位置関係データ読み込み工程（Ｓ３）と、初回ワーク位置関係データとドレスセットアップ位置関係データに基づいて、交換した新たな砥石１とワークＷとのワーク位置関係データを演算により求める演算工程（Ｓ１２）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】研削作業と並行して、研削砥石の研削面に対して常にほぼ同等の圧力でドレッサーボードを当接させてドレッシング作業を行うことを可能とする。
【解決手段】ドレッシング手段１を構成する位置付け機構１１が、保持テーブル１０に保持されたドレッサーボード８をチャックテーブル２の保持面２０よりも上方の所定位置Ｚ２に位置付け、保持テーブル１０と位置付け機構１１との間に介在する押圧部材１３が保持テーブル１０を下方から押圧した状態で研削砥石３１０のドレッシングを行い、規制部材１２によって保持テーブル１０が水平方向に揺動するのを規制することにより、簡単な構成で、ドレッサーボード８を研削砥石３１０の研削面３１０ａに当接させ、ドレッシングと並行して被加工物Ｗの研削を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ドレッサによる各パスの成形量を増大させ、短時間で効率的に歯車研削用砥石をツルーイングすることができるツルーイング方法及び歯車研削盤を提供する。
【解決手段】ワークＷの研削を行う砥石１７を砥石回転軸Ｂ１周りに回転可能に支持する一方、砥石１７のツルーイングを行うドレッサ３６ａ，３６ｂを砥石回転軸Ｂ１と平行なドレッサ回転軸Ｂ２周りに回転可能に支持し、砥石１７に対するドレッサ３６ａ，３６ｂのパス位置を砥石回転軸Ｂ１方向に複数設定し、ドレッサ３６ａ，３６ｂの１パスによる切り込みを砥石径方向から砥石１７に与えて、これら砥石１７とドレッサ３６ａ，３６ｂとを離間させた後、砥石１７を砥石回転軸Ｂ１方向に移動させて、ドレッサ３６ａ，３６ｂを次回パス位置に配置させる。 （もっと読む）

【課題】ドレッシング処理に要する負担が少なく、必要最小限のドレッシング処理を行うだけで所望形状の砥面を完成させることが可能であり、これによる砥石の長期に亘る経済的な利用が実現されることで、ドレッシング処理に対する効率化及び低コスト化を図ることが可能な砥石のドレッシング方法を提供する。
【解決手段】砥石２をその回転軸Ｈを中心に回転させながら、ドレスヘッド８で砥面Ｇ１にドレッシング処理を施すための砥石のドレッシング方法であって、ドレッシング処理前の現状の砥面形状と、ドレッシング処理後の完成予定としての砥面形状とに基づいて（Ｓ３）、ドレッシング開始位置及び完了位置を演算し（Ｓ４〜Ｓ７）、現状の砥面形状から完成予定としての砥面形状に至るまでのドレッシング量及び回数を演算する（Ｓ８〜Ｓ１１）。そして、演算された演算結果に基づいてドレッシング処理を施すことで、砥石の砥面を所望形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】研削加工用ツインドレッサー装置等で特殊な送りネジ等を使用せずにギア等やラック等を組み合わせることで大幅なコストの削減、さらにはナット等の付属品も使用せずにすむため装置の省スペース化、小型化を図る。
【解決手段】装置の中心部分に回転軸を付与させたギア等を配置し、ダイヤモンドツール等の固定台にラック等を対照に取り付ける。そしてそれぞれのラック等がギア等にかみ合うようにセットする。片方の固定台をマイクロメーター等の精密測定機器で押すまたは引くことで固定台を前進させる。その際に前進した固定台に取り付けてあるラック等がギア等を回転させ、対照側に配置したラック等を同時に駆動させるという構造である。固定台を後退させる機構はスプリング等を固定台と固定台との間に配置しておく。 （もっと読む）

【課題】ドレス部の摩耗量や装置ごとの寸法の違いを正確に把握しなくても所望のドレッシングを行うことができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨工具２３を下降させて研磨部２３２の研磨面２３３をドレス工具３３のドレス部３３２に接触させてドレッシングする構成において、ドレス部３３２が研磨面２３３から受ける下向きの圧力を検出する圧力検出部３２と、圧力検出部３２で検出される圧力に基づいて研磨工具２３の鉛直方向の移動量を制御する制御手段４を付加し、制御手段４によってドレス部３３２に接触する研磨面２３３の圧力の程度を調整して所望のドレッシングを可能とする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドとドレッシング部材とを接触させてドレッシング処理を行う際に、自励振動を防いで研磨パッドのドレッシングを確実に行い、パッド表面の研磨面の再生を行うことができるドレッシングユニットを備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、研磨テーブル上の研磨パッドに基板を押圧して研磨する基板保持ユニットと、該研磨パッドにドレッシング部材を接触させて該研磨パッドを目ならしするドレッシングユニットを備え、さらに該ドレッシングユニットは、ドレッシングユニット本体を内部に収容する容器と、該容器の上に載置される錘と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド形状測定装置で測定した研磨パッド形状を、ドレスツールを用いてウェーハが所望の表面形状になるような研磨パッドの目標形状に修正する。
【解決手段】被加工物を所望の表面形状に研磨するための研磨パッド１４の形状修正方法であって、研磨パッド形状測定装置１０を用いて、定盤１２に貼付した状態で研磨パッド形状を測定する測定ステップＳ９と、測定ステップＳ９の測定結果に基づいて予め備えられた複数のドレスレシピの中から、前記被加工物を所望の表面形状に研磨可能なドレスレシピを選択する条件決定ステップＳ１０と、条件決定ステップＳ１０で決定されたドレスレシピを用いて研磨パッド１４をドレッシングする形状修正ステップＳ１１を備える。 （もっと読む）

【課題】研削盤の砥石車の研削量の差による凹凸を効率的に平坦化するツルーイング方法を提供する。
【解決手段】ツルーイングロール９は砥石車７の凸部幅より広幅で、ツルーイングロール９と砥石車７を砥石幅方向の相対運動をさせることにより、砥石車７の凸部のみを選択的に除去して効率的に平坦化する。
砥石車７とツルーイングロール９との接触状態を検知するツルーイングモータ動力検知手段３３１を備え、検知出力に基づきツルーイングの開始と終了を判定し、開始までの迅速な動作と終了後の過剰なツルーイングの防止により、ツルーイング時間の短縮と過剰な砥石消耗を防止する。 （もっと読む）

【課題】研削盤の砥石車の研削量の差による凹凸を効率的に平坦化するツルーイング方法を提供する。
【解決手段】ツルーイングロール９は加工幅より広幅で、ツルーイングロール９と砥石車７を砥石幅方向の相対運動をさせることにより、砥石車の凸部のみを選択的に除去して効率的に平坦化する。
砥石車７とツルーイングロール９との接触状態を検知するツルーイングモータ動力検知手段３３１を備え、検知出力に基づきツルーイングの開始と終了を判定し、開始までの迅速な動作と終了後の過剰なツルーイングの防止により、ツルーイング時間の短縮と過剰な砥石消耗を防止する。 （もっと読む）