【課題】高精度な検知センサーを用いることなく、短時間に砥石車の外周面を最適な状態に成形できるツルーイング方法及び研削盤を提供する。
【解決手段】粗ツルーイングロール９と仕上ツルーイングロール１０を砥石車７の幅より広い間隔でツルーイング装置１１の回転軸に取り付ける。第１ツルーイング工程では粗ツルーイングロール９を先行させて粗ツルーイングを行った後に、仕上ツルーイングロール１０と砥石車７を接触させることにより、砥石車７と仕上ツルーイングロール１０の相対位置を決める。第２ツルーイング工程では仕上ツルーイングロール１０のみを使用して仕上ツルーイングを行う。 （もっと読む）

【課題】砥石のドレスを適切なタイミングで、かつ適切なドレス量で行う。
【解決手段】ある実施の形態における研削装置は、保持テーブル３に保持されたワークＷを研削加工する砥石７２を含む工具７とこの工具７を回転可能に支持する回転スピンドル６２２とを有する加工手段と、砥石７２を目立てするドレス手段９とを備える。ドレス手段９は、ドレス面９１１を有するドレス部９１と、このドレス部９１を、研削加工中の砥石７２にドレス面９１１が接触する作用位置と研削加工中の砥石７２にドレス面９１１が接触しない非作用位置とに選択的に位置付ける移動部９２と、回転スピンドル６２２の回転に供される電流値を検出する電流検出部９３と、電流検出部９３によって検出された電流値が予め設定された閾値を超えたときにドレス部９１を作用位置に位置付けるように移動部９２を制御する制御部９４とを有する。 （もっと読む）

【課題】研削盤に設けられ、モータの小型化及びドレス精度の向上を図ることができるドレス装置を提供することを課題とする。
【解決手段】回転駆動源４３は、回転軸４４に直交し且つドレス砥石４５の中心を通る中心面７５が支軸５３の中心７６又は中心７６近傍を通るように、支持部材５４に取付けられている。
【効果】ドレス作業中にドレス砥石は研削砥石による反力を受ける。この反力方向は中心面に重なる。反力は支軸に指向する。結果として、支軸に偶力（回転力）がほとんど作用しない。そのため、モータトルクを小さくすることができ、モータの小型化及びドレス精度の向上を図ることができるドレス装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】外周面研削と内周面研削を行う複合研削盤１において、異なる外周面研削用砥石整形装置と内周面研削用砥石整形装置を備えると、内周面研削から外周面研削へ切り替える場合または逆の場合に、砥石整形装置を交換する必要があり段取り変えに時間を要し、砥石整形装置を２式必要とし機械コストが高くなる。
【解決手段】外周面研削用砥石車１３の回転方向と内周面研削用砥石車１４の回転方向を同じとし、工作物Ｗの回転方向を、外周面研削時には外周面研削用砥石車１３と同じ方向に回転させ、内周面研削時には外周面研削時と逆の方向に回転させることで砥石整形装置１５を共用する。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、安価で、ドレッシングのための特別な段取を必要とせず、かつドレッシング時の抵抗の少ない平面研削盤用のブロックドレッサを提供する。
【解決手段】
平面研削盤２の研削テーブル４上に固定され、ドレッシング平面１０ａに設けられた砥粒層１２を砥石車１６の円周上の研削面１６ａに当接させるとともに、砥石車に対して該砥石車１６の回転軸１４に直角な方向に相対移動させて、砥石車１６の研削面１６ａをドレッシングするブロックドレッサ１０において、砥粒層１２は、ドレッシング平面１０ａ上に砥石車の回転軸１４に対して傾斜して延在する帯状に少なくとも１条ベース部材１０ｃに形成され、前記帯状の砥粒層１２の前記回転軸線方向の幅１２ｗは、砥石車１６の幅１６ｗより小さく形成されること。 （もっと読む）

【課題】 被研削材の研削加工時間を短縮できるドレッサ付き複合平面研削装置の提供。
【解決手段】 左右方向に往復移動するワークテーブル３１上に載置された被研削物の表面を、第一研削砥石車２６ａを備える砥石ヘッドと第二研削砥石車２６ｂを備える砥石ヘッドの一対で研削加工するドレッサ付き複合平面研削装置１であって、前記研削砥石車２６ａ，２６ｂはワークテーブル３１後端の略中央部に据え付けたロータリードレッサ４０で寸法精度よくドレス成形可能である。砥石車の交換が不要であるのでワークの研削加工時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】 被研削材の研削加工時間を短縮できる複合平面研削装置の提供。
【解決手段】 左右方向に往復移動するワークテーブル３１上に載置された被研削物の表面を、ワークテーブルの中心点３１ｃと第一研削砥石車２６ａの直径方向と第二研削砥石車２６ｂの直径方向を含む鉛直平面上に、かつ、ワークテーブルの中心点３１ｃ位置が、研削加工開始時待機位置の第一砥石軸の中心点２５ａと第二砥石軸の中心点２５ｂから等距離の位置に砥石車２６ａ，２６ｂを配置してなり、ワークテーブル３１上にワーク軸チルト機構を備えるワーク支持装置３３を搭載した複合平面研削装置１。砥石車の交換をすることが不要であり、研削加工時間を短縮できる。ワークをチルト機構３２により傾斜させることによりＶ溝研削加工やＲ面研削加工も可能である。 （もっと読む）

【課題】研削作業と並行して、研削砥石の研削面に対して常にほぼ同等の圧力でドレッサーボードを当接させてドレッシング作業を行うことを可能とする。
【解決手段】ドレッシング手段１を構成する位置付け機構１１が、保持テーブル１０に保持されたドレッサーボード８をチャックテーブル２の保持面２０よりも上方の所定位置Ｚ２に位置付け、保持テーブル１０と位置付け機構１１との間に介在する押圧部材１３が保持テーブル１０を下方から押圧した状態で研削砥石３１０のドレッシングを行い、規制部材１２によって保持テーブル１０が水平方向に揺動するのを規制することにより、簡単な構成で、ドレッサーボード８を研削砥石３１０の研削面３１０ａに当接させ、ドレッシングと並行して被加工物Ｗの研削を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ドレス部の摩耗量や装置ごとの寸法の違いを正確に把握しなくても所望のドレッシングを行うことができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨工具２３を下降させて研磨部２３２の研磨面２３３をドレス工具３３のドレス部３３２に接触させてドレッシングする構成において、ドレス部３３２が研磨面２３３から受ける下向きの圧力を検出する圧力検出部３２と、圧力検出部３２で検出される圧力に基づいて研磨工具２３の鉛直方向の移動量を制御する制御手段４を付加し、制御手段４によってドレス部３３２に接触する研磨面２３３の圧力の程度を調整して所望のドレッシングを可能とする。 （もっと読む）

【課題】平面研削砥石の初期摩耗を抑制し、工作物の幅寸法を高精度に保持できるようにした平面研削砥石の初期摩耗抑制方法を提供する。
【解決手段】対向配置された回転可能な一対の平面研削砥石１３、１４によって、工作物Ｗの両面を同時に平面研削する両頭平面研削装置における平面研削砥石の初期摩耗抑制方法であって、工作物を平面研削した後に一対の平面研削砥石の間にドレス用砥石３１を挿入し、平面研削砥石をドレス用砥石に対して切込んで目立てドレスする場合に、摩滅した砥粒２５を残して砥粒の突出量を確保するように、ドレス用砥石に対する平面研削砥石の切込み回数を設定した。 （もっと読む）

【課題】ワークを研削することなく、砥石の砥粒の突き出し量をより容易に測定することが可能な、砥石における砥粒の突き出し量の測定方法、及び、求めた砥粒の突き出し量に基づいて適切な時期にドレッシングを行うことができる研削盤、更に、砥石の砥粒の突き出し量に限定されず、より容易に回転体の表面粗さを測定する方法を提供する。
【解決手段】回転体の表面に連れ回っている流体の物理量を測定可能な流体検出手段を用い、検出した流体の物理量に基づいて、回転体の表面粗さを求める回転体の表面粗さの測定方法であって、予め表面粗さに対応する流体の流速または圧力の少なくとも一方を測定した表面粗さ−流体物理量特性を記憶しておき、回転体の表面から所定距離だけ離れた位置の流体検出手段を用いて、測定した流体の流速または圧力の少なくとも一方と、表面粗さ−流体物理量特性と、に基づいて回転体の表面粗さを求める。 （もっと読む）

砥石車を輪郭成形するためのツルーイング及びドレッシング装置。ツルーイング及びドレッシング装置は、砥石車スピンドルに取り付けられた砥石車に対してツルーイング砥石を位置決めするためのツルーイング砥石組立体を含む。ツルーイング砥石組立体は、ツルーイング砥石スピンドルハウジングと切込みスライドに装着された往復スライドとの間に位置づけされたツルーイング砥石スイベルを含む。切込みスライドスイベルは、切込みスライドとベースプレートに回転可能に接続される底部支持スイベルプレートとの間に位置づけされる。切込みスライドスイベル及びツルーイング砥石スイベルの両方を用いることによって、砥石車を取り外して、裏返して、装置に再挿入する必要なしに、砥石車の両側及び面のドレッシングを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 切削加工と研削加工が必要な円筒部分を有する被加工物に対する全工程に掛かる時間を短縮することができる加工装置及びその加工装置に用いられる加工工具を提供する。
【解決手段】 加工装置１０Ａに取り付けられる加工工具２１は、切削加工用の切削刃先部７１と研削加工用の研削砥石部７２を有し、工具軸をワーク軸に対し所定角度傾斜するように配置し、加工工具と被加工物との相対移動を一度のみ行うことにより円筒部分に対する切削加工に続いて研削加工を行う。１つの加工工具を備えた１台の加工装置で切削加工と研削加工に対応できるため、従来必要であった両加工間の被加工物の付け替え等を無くすことができ、全工程の工数を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】高い精度で、かつ容易にウェーハの周縁部のみを研磨する。
【解決手段】テーブルベース２５に固定したバイト２９で研磨部材３５の外周縁３５ａを切削して、研磨部材３５を真円に形成するとともにテーブルベース２５のＹ方向基準位置に位置付ける。次に、テーブルベース２５の停止状態を保持し、研磨ユニット３０を一旦上昇させてから、テーブルベース２５をコラム１６方向に水平移動させ、研磨部材３５のＹ方向をウェーハ１の周縁部３のみを研磨する位置に位置付ける。この時の水平移動距離Ｆは、バイト２９とチャックテーブル２５上のウェーハ１とのＹ方向の相関位置、および研磨する周縁部３の幅から割り出しておく。この後、研磨ユニット３０を下降させると、研磨部材３５の下面の外周部が周縁部３を研磨する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを研削するに際し、ウェハの加工効率を向上させる。
【解決手段】ウェハ６０の一面６１をロータリー研削盤にて研削するに際し、ウェハ６０の周囲にドレスボート３０を配置し、砥石５０でウェハ６０を研削すると同時にドレスボート３０を砥石５０の加工面５１に接触させる。もしくは、砥石５０の加工面５１のドレッシングのみを行う。これにより、加工面５１をドレッシングするためにウェハ６０の研削を中止する必要がなく、ウェハ６０の加工効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】研削装置の研削部材をドレスするドレス方法において、作業者による作業ミスの発生を抑え、かつ効率的にドレスすることができるドレス方法と、そのドレス方法を好適に実施する研削装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットにより供給カセットから位置決めテーブル上に載置されたドレス板１００を供給手段７３の吸着パッド７４で吸着保持し、チャックテーブルの保持面に載置する。ターンテーブルを回転させてチャックテーブルに保持したドレス板１００をドレスするスピンドルの下方に移動させ、砥石ホイールでドレス板１００を研削する。このとき、厚さ測定ゲージでドレス板１００の厚さを測定しながら研削する。研削が終了したら、ドレス板１００を着脱位置に戻し、回収手段７８によりチャックテーブル上からドレス板１００を除去する。 （もっと読む）

【課題】研削砥石を効果的にドレッシングすることができるとともに、安価に製作することができる研削砥石のドレッシング方法およびドレッシング工具を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル８１と、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段とを具備し、研削手段が回転可能なホイールマウントとホイールマウントに着脱可能に装着され被加工物を研削する研削砥石５２を備えた研削ホイール５を具備している研削装置において、研削砥石をドレッシングする研削砥石のドレッシング方法であって、シリコン基板の表面に溝１１１が形成されたドレッシングボード１１をチャックテーブルに保持し、チャックテーブルを回転するとともに研削ホイールが装着されたホイールマウントを回転しつつ研削砥石をシリコン基板の表面に接触させて研削砥石の研削面をドレッシングする。 （もっと読む）

【課題】研磨面に凹凸があっても、これを容易且つ確実に平坦化させて、効率的に研磨面の再生を行うことができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】被研磨材の被研磨面に相対摺動して該被研磨面を研磨する研磨テーブル２００の研磨面をドレッシングするドレッサ２０２と、ドレッサ２０２を水平に平行移動させる水平移動機構と、水平移動機構を取付けた昇降ベース２２４と、ステッピングモータ２４６の駆動に伴って回転するねじ２４８と該ねじ２４８に螺合し昇降ベース２２４に固着されたナット２５０を備え、ステッピングモータ２４６を駆動することにより昇降ベース２２４を昇降させてドレッサ２０２の研磨テーブル２００の研磨面に対する押圧をドレッサ２０２の押付け量で調整する昇降機構２５２を有する。 （もっと読む）

【課題】柔軟な部材により研磨部が形成されている研磨砥石において、研磨部のドレッシングの際にドレッシング工具と研磨部との接触状態をドレッシングに適した状態とする。
【解決手段】研磨部３４１をドレッシングするドレッシング工具１１が保持手段２に隣接する位置に配設され、ドレッシング工具３４が、研磨部３４１に接触して研磨部３４１をドレッシングするドレッシング部１１０と、ドレッシング部１１０が研磨部３４１に没入する量を設定する没入抑制部１１２とを備える。没入抑制部１１２によってドレッシング部１１０が常に同じ量だけ研磨部３４１に没入するようになるため、過剰にドレッシングが行われて研磨部３４１の寿命が縮まったり、ドレッシングが不十分となって研磨抵抗が上昇して被研磨物に面焼けが生じたりすることがない。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰにおけるドレッシングに要する時間を相対的に短くすることのできる技術を提供する。
【解決手段】研磨パッドＰＤの表面を研削するドレッサの研削面の周辺部に複数個のペレットＰＥ１を装着し、ペレットＰＥ１の第２部分ＰＥ１ｂの研磨パッドの表面と接触する面をダイヤモンド粒子Ｃが付着した円または楕円の曲率体（半球体）形状として、平坦部を形成しないことにより、ペレットＰＥ１の第２部分ＰＥ１ｂのほぼ全表面をほぼ均一に研磨パッドＰＤに接触させる。 （もっと読む）