【課題】結晶異方性エッチングにより安定的に流路を形成する流路デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明によると、第１の幅を有する第１領域と、第１の幅より広い第２の幅を有する第２領域と、一端が第１領域に接続し、他端が第２領域に接続する接続領域と、を含む流路を備えた流路デバイスの製造方法であって、一主面が｛１１０｝面であるシリコン基板を準備し、シリコン基板の一主面上に｛１１０｝面と｛１１１｝面の交線に沿った第１の端部と、交線に直交し＜１１１＞方向に延びる第２の端部と、を含むマスクパターンを形成し、マスクパターンを介して結晶異方性エッチングを行うことにより、シリコン基板の一主面に前記流路を形成すること、を含み、第２領域の両側にそれぞれ配置された第２の端部は、互いに第１領域との距離が異なるように形成されることを特徴とする流路デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】微細構造体の接点に働く接着力を精度よく推定することができる接着力推定方法および接着力推定装置を提供する。
【解決手段】推定装置１７０は、接触部１１４が接点部材１２０に接触した状態から接点部材１２０から離間するまでに変化する容量を取得し、この容量量に基づいて接着力を推定する。これにより、実際の微細構造体１を同じ状態で接着力を推定することができるので、結果として、微細構造体１の接点に働く接着力を精度良く推定することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのビーム型エレメント（２１０）を有するマイクロメカニカルシステム（２００）に関しており、このビーム型エレメントは、自由端部（２１１）を有しており、またその他方の端部（２１２）がマイクロメカニカルシステム（２００）の別のエレメントに連結されている。本発明ではマイクロメカニカルシステム（２００）の機械的な特性を最適化するため、ビーム型エレメント（２１０）に凹部（２１３）を設けて、このビーム型エレメント（２１０）の質量を自由端部（２１１）に向かって減少させる。さらに本発明には、少なくとも１つのビーム型エレメント（２１０）を有するマイクロメカニカルシステム（２００）を作製する方法が含まれている。
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【課題】低駆動電圧と長寿命特性を有するスクラッチ駆動アクチュエータ（ＳＤＡ）微小回転モータの新規な設計と製造方法を提供する。
【解決手段】駆動電圧を交流振幅で３０〜１５０Ｖｏ−ｐから１２〜３０Ｖｏ−ｐに大幅に減少するべく、超低抵抗（＜０．００４Ω−ｃｍ未満）のシリコンウェハをＳＤＡ微小モータの基板として用いる。さらに、本発明は、ＳＤＡ微小モータの寿命（＞７５時間）および回転速度（〜３０ｒｐｍ）の改善ができる新規なＳＤＡ構造および形状設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】超小型電気機械システム（MEMS）ジャイロを作成するシステムにおいて、ジャイロの歩留まりを高める。
【解決手段】テストシステム２０と製造システムからなるシステムにおいて、モータバイアスマップの生成と該モータバイアスマップに基づいてMEMSジャイロを生成することにより、ウェハ当たりの使用可能なMEMSジャイロの歩留まりを高めることができる。システムは、ウェハ上で深反応性イオンエッチャ２２用の最適モータバイアス経路を決定するように構成された要素を備えたプロセッサ３３、ウェハ上で各ジャイロに最も近いものと算出された最適モータバイアス経路に対応した向きに該ジャイロのパターンをインプリントするステッパ３５及びウェハにジャイロをエッチングする深反応性イオンエッチャ３７を含む。 （もっと読む）

面内、静電力フィードバック、閉ループ、微細加工加速度計又は閉ループ・コリオリ・レート・ジャイロスコープ・デバイス、あるいは閉ループ容量性圧力又は力測定デバイスの横型櫛駆動の幾何学的形状のための方法を提供する。振動をデバイスに加えると、この入力振動により、振動整流誤差である時間平均出力の誤差が最少に抑えられるか又は解消する。本発明の実施によって得られた幾何学的形状は、振動整流を最少に抑える又は解消しつつ、駆動力を最大に高めるので、空間効率が高い。
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