【課題】設計自由度が高く曲げ強度が高く極めてアスペクト比が高いニードルを提供する。
【解決手段】最小幅１μｍ以上の連続領域を保護する膜であるリード保護膜Ｒ１をシリコン基板１００の主面１０１の一カ所以上に形成する工程と、シリコン基板１００の主面１０１のリード保護膜Ｒ１から露出している領域を垂直方向にエッチングすることによって直柱体１０２を形成する工程と、直柱体１０２の内部に酸化されずに残る直柱体領域１０４の横断面最大幅が１μｍ未満になるまでシリコン基板１００を熱酸化する工程と、シリコン基板１００に形成された酸化膜１０３を除去することによって、直柱体領域１０４からなるリードと、底に向かって広がるフレア面を側面とし頂からリード１０４が突出するマウント１０５とを有しシリコンからなるニードル１０を形成する工程と、を含むシリコンナノニードルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】最大長さが数百マイクロメートル以下の微小なダイヤモンド部品であっても良好な表面粗さを実現できるようにすること。
【解決手段】角柱状、角錐状、角錐台状又は凸レンズ形状のダイヤモンドから成る突起部１２，２２，３２，４２を備え、この突起部１２，２２，３２，４２は、２００マイクロメートル以下の最大長さを有し、突起部１２，２２，３２，４２の表面粗さＲｍａｘは、０．１マイクロメートル以下であるダイヤモンド部品。 （もっと読む）

【課題】温度補償用ひずみセンサを組み込むマイクロカンチレバーホットプレートデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明のマイクロカンチレバーホットプレートデバイスは、温度補償用ひずみセンサと、抵抗ヒータとを有するマイクロカンチレバーを備える。また、本発明は、温度補償された表面応力測定、化学的／生化学的検知、マイクロカンチレバーホットプレート表面に固着された化合物の様々な特性の測定に、又は温度補償されたたわみ測定にマイクロカンチレバーホットプレートを使用するための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

ミニチュアばね要素（１、１′）は、特に原子間力顕微鏡において原子間力や分子力を検出するための梁形探針或いはカンチレバとしての使用に特に適しており、そのために、その変位の特に確実で高解像度の検出が可能となる。このために、ばね要素（１、１′）は、焦束されたエネルギ粒子或いは電磁波による局所的蒸着の原理を利用して、或いは熱分解誘導式蒸着によって製造される。
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本発明は、光ファイバおよび光ファイバの端部に配置された片持ち梁を有する光学装置を提供する。片持ち梁は、光ファイバの一体の一部分であってよく、光ファイバの直径に実質的に等しい長さを有することができる。片持ち梁の変位を測定するための測定手段が、光ファイバの他端に接続される。この光学装置を使用して変位を測定する方法は、光源を有する測定手段を光ファイバの他端に配置する工程、光源を使用して光ファイバへと光のビームを送信する工程、光ファイバの端部で反射された光と片持ち梁で反射された光との干渉を測定する工程、および片持ち梁の中間位置に対する変位を、測定された干渉にもとづいて割り出す工程を含んでいる。
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