【課題】 搬送動作が単純であり、短時間で搬送態勢に入ることができる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 真空処理装置１００は、真空予備加熱室１０とプラズマ処理室２０とが連結されており、真空予備加熱室１０内には、基板搬送装置１１，１３が上下２段に配置され、プラズマ処理室２０内には、基板搬送装置２１が配置されている。基板搬送装置１１，１３，２１は、それぞれ揺動軸Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３廻りに揺動し、水平位置と傾斜位置をとる。被処理基板を基板搬送装置１１から基板搬送装置２１へ移送するときは、基板搬送装置１１，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ２に一致させて搬送する。また、被処理基板を基板搬送装置２１から基板搬送装置１３へ移送するときは、基板搬送装置１３，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ３に一致させて搬送する。 （もっと読む）

【課題】所望のワーク処理を行う対象プロセスにワークを自走及び自動受渡ししてワークの効率的処理を行う簡便構造のワークの自走台車及び自動受渡し機構部を有するワーク搬送装置及びその使用方法を提供する。
【解決手段】対象プロセス３と関連して配置されているレール５上にはワーク４を搭載するコンベアを載置する自走台車１が設けられワーク４の自走を行う。レール５の両側にはリフタ７やコンベア３０を有する自動受渡し機構部２が設けられる。ワーク４は自走台車１のコンベア２２から自動受渡し機構部２のコンベア３０に自動受渡しされて対象プロセス３内に導入されて処理される。 （もっと読む）

物品を生産または加工するラインの途中に設置され、上流側装置から下流側装置へプリント基板を搬送する搬送装置（１０）は、該搬送装置のベース部（２０）と、該ベース部上で前記上流側装置と前記下流側装置との間を往復移動する移送部（３０）と、該移送部の上端部に設けられ、前記上流側装置から受け取った物品を前記下流側装置に引き渡す物品受渡機構（４０）と、前記移送部（３０）を往復移動させる駆動機構とからなっている。この搬送装置（１０）は、移送部（３０）の位置に応じて上流側装置と移送部（３０）との間または下流側装置と移送部（３０）との間に作業者等が前記ラインを横断できるスペースが形成されるように構成されている。
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【課題】 ストッパ等を必要とせず、構造を簡単にすることを可能とする。
【解決手段】 搬入された積層ブロック９をパレット１１に乗せ替えて搬出するシート乗替装置１において、パレット１１の供給を受ける移載部３と、移載部３の両側に配置され移載部３に対して搬入動作可能な第１，第２コンベアユニット５，７とからなり、第１，第２コンベアユニット５，７を、移載部３の両側から同上側へ各先端部５７が相互に近接移動可能となるように可動支持し、搬入された積層ブロック９を近接移動した第１，第２コンベアユニット５，７相互上に位置決めるために搬入動作を停止可能に設け第１，第２コンベアユニット５，７相互を、移載部３上から退避させて積層ブロック９を移載部３上のパレット１１に乗せ替えるために離反移動可能に設け、積層ブロック９を乗せたパレット１１を搬出可能とすることを特徴とする。 （もっと読む）