【課題】流体が一定の方向に流れる場合には、流体の流量が制限されないが、流体が逆方向に流れる場合には、流体の流量が制限される継ぎ手及びこれを備えた弁装置を提供する。
【解決手段】ガスタンク内に高圧の水素ガスを充填する充填路２１に供給配管９を連結するための供給側継ぎ手１０は、充填路２１と供給配管９とを連通する導通路３３が形成された継ぎ手本体６１を備えた。そして、供給側継ぎ手１０は、充填路２１から供給配管９へと流体が流れる場合の開口面積が、供給配管９から充填路２１へと流体が流れる場合の開口面積よりも小さくなる絞り弁６２を備えた。 （もっと読む）

【課題】弁本体の大型化、弁座等の内部構造の複雑化、加工組み立てコストの増大等を招くことなく、小流量流通時には流量を高精度に制御し得、大流量流通時には可及的に圧力損失が生じないように流体を流すことのできる費用対効果に優れた電動弁を提供する。
【解決手段】弁本体２０内に、主弁口２３をバイパスする大流量用流路７０が形成されるとともに、弁座２２に前記大流量用流路７０を構成する複数個の逆止弁口７２が形成され、弁室２１に前記複数個の逆止弁口７２を正流れ時には閉じ、逆流れ時には開くフロート型の逆止弁体７５が配備されてなる。 （もっと読む）

【課題】 弁体が小流量範囲から大流量範囲に切替わるときに開口面積が急に変化するのを防ぎ、流量の変化を緩和することができるようにする。
【解決手段】 弁体３７の筒状突出部３８Ｅには、弁部３８Ｄ側に位置してリフト量に対する開口面積の変化量を小さくし流量の変化を小さくする小流量調整部４４と、小流量調整部４４よりも弁体３７の先端側に位置して前記リフト量に対する開口面積の変化を大きくし流量の変化を大きくする大流量調整部４５とを設ける。大流量調整部４５は、筒状突出部３８Ｅの外周面を円弧状に面取りして形成された円弧面部４５Ａと、弁体３７が大流量範囲にあるときに筒状突出部３８Ｅの内周側と外周側との間で径方向に向けて流体を流通させる複数の切欠き部４５Ｂとにより構成する。 （もっと読む）

【課題】減圧弁による蒸気の制御精度を高める。
【解決手段】蒸気供給路１に減圧弁３を介装し、蒸気供給路１における減圧弁３の下流側に蒸気エゼクタ４を介装するとともに、蒸気エゼクタ４の吸引部４ａと復水Ｄ１を再蒸発させる再蒸発タンク２とを吸引路９で接続し、減圧弁３の通過蒸気Ｓ´を蒸気エゼクタ４の駆動蒸気とする形態で再蒸発タンク２内の再蒸発蒸気ＦＳを蒸気エゼクタ４で吸引して通過蒸気Ｓ´と混合する構成にするとともに、再蒸発タンク２への蒸気の逆流を抑止する逆止弁１０を吸引路９に介装してある蒸気供給システムであって、蒸気供給路１における蒸気エゼクタ４の下流側の蒸気の温度又は圧力に応じて減圧弁３の弁開度を調整する構成にし、逆止弁１０を、それの弁開度の増大に伴う流量の増大率が弁開度の小さな小開度域と弁開度の大きな大開度域とで同等となる固有流量特性又は増大率が大開度域よりも小開度域で小さくなる固有流量特性を有する構造にする。 （もっと読む）

【課題】閉弁状態で弁座の全周に弁体が面当接する状態で弁口を閉弁する面閉塞型の逆止弁の固有流量特性を変化させる。
【解決手段】弁口２２の外周縁部に設けた環状の弁座２３の全周に面当接する状態で弁座２３に着座して弁口２２を閉弁する弁体２４を設け、付勢手段２５の付勢力によって弁体２４を閉弁側に付勢し、且つ、弁口２２からの流体流入圧によって付勢手段２５の付勢力に抗して弁体２４が弁座２３から離れる側に移動して弁口２２を開弁する構造にしてある逆止弁１０であって、弁体２４の弁口２２側に、弁体２４が弁座２３から離れる側に移動するときに弁体２４の弁座当接部と弁座２３との間に形成される隙間Ａ１の面積よりも弁口２２の内面との間に形成される隙間Ａ２の面積を小さく保つ形態で流体の通過流量を制御する流量制御用の突出部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造のマイクロバルブを提供する。
【解決手段】溝３が形成された主基板１にカバー基板１３が貼り合わされて流路が形成される。主基板１は第１主基板層１ａ、第２主基板層１ｂ、第３主基板層１ｃの積層構造をもつ。溝３に形成された弁体５は、第１主基板層１ａと同じ材料からなり、溝３の第１側壁３ａから突出し、第１側壁３ａに対向する第２側壁３ｂとは間隔をもって形成され、流路内を流れる流体圧力で変形可能な膜厚をもつ。溝３の底面３ｃと弁体５との間に第２主基板層１ｂが除去されて形成された空隙７が形成されている。弁体５の下流側の流体圧力が弁体５の上流側の流体圧力よりも大きい状態とき、弁体５の自由端は第２側壁３ｂに設けられた突起部９に当接して移動量が規制される。それとは逆の流体圧力状態のとき、弁体５の自由端は第２側壁３ｂから離れる方向に移動し、弁体５の自由端が突起部９に当接した状態に比べて流路が開く。 （もっと読む）

【課題】十分な耐圧性を有してより大量かつ低コストで製造することができるマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供すること。
【解決手段】流入用マイクロバルブ６は、金属板のプレス加工によって形成された弁体１０と、弁体１０が収容される有底の凹部１１が一端１３ａに配され、かつ凹部１１の底部１１Ａから他端１３ｂまで中心軸線ＣＬに沿って貫通する第一微小流路１２が配された金属製のアウトブッシュ(第一円柱部)１３と、中心軸線ＣＬに沿って貫通して第二微小流路１５が配されて、弁体１０とともに凹部１１に圧入された金属製のインブッシュ(第二円柱部)１６と、弁体１０と対向して第二微小流路１５の端部に配された弁座１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】制御流の流量の調節を自在に設定可能であるとともに、軽量化や材料コストの低減を図ることが可能なスピードコントローラを提供する。
【解決手段】第一流体ポート６ａに連通する第一の流路２ａ、および第二流体ポート８ａに連通する第二の流路２ｂを有する本体２と、第一の流路２ａと第二の流路２ｂとの間をシールするリング状パッキン１０ａと、外周面がリング状パッキン１０ａの内周面に密接した状態でリング状パッキン１０ａに対して相対的に軸線方向に移動可能な棒状に設けられるとともに、少なくとも外周面に開口して、リング状パッキン１０ａを介して第一の流路２ａと第二の流路２ｂとを連通させる第三の流路１２ｂを有し、リング状パッキン１０ａとの軸線方向の位置関係に応じて第三の流路１２ｂを流れる流体の流量を調節可能な流量制御部材１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 マイクロチップに実装した際、切替バルブや逆止弁としても機能することができ、流量の微調整を容易に実施することができる新規なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】 上面基板と下面基板とからなり、両基板の間に配設された１本以上のマイクロチャネルを有するマイクロチップにおいて、
前記マイクロチャネルの適所に１本以上のマイクロバルブが挿入されており、
該マイクロバルブは厚さの異なる２枚のシート部材からなり、厚さの厚いシート部材には１個以上の凹部と、該凹部に連通する空気流路が配設されており、厚さの薄いシート部材は、前記厚さの厚いシート部材の前記溝及び凹部を遮蔽するように前記厚さの厚いシート部材の表面に接着されており、
前記薄いシート部材の厚さ（Ｔ_１）対前記凹部の底部厚さ（Ｔ_２）の比（Ｔ_１：Ｔ_２）が１：２〜１：１０の範囲内であり、
前記凹部の深さ（Ｄ）は前記凹部の底部厚さ（Ｔ_２）の１．３倍〜５倍の範囲内であることを特徴とするマイクロチップ。 （もっと読む）

【課題】被固着体に流体を注入しようとするとき、すでに注入した流体がいっきに吹き出すことを避けることができる注入／排出バルブ装置を提供する。
【解決手段】上座３１は、周縁部３０から内側に延伸してベル体３１２となっており、該ベル体は弾性をもっていて上下２つの位置の間で弾性変形することができ、且つ、その中心近くに上下の方向に延伸していると共にそれぞれ上下の方へ開口している管状体３１１が設けている。下座３２は通孔３２１付きで、前記周縁部から内側に延伸して前記上座の下側に位置しており、且つ、その中心近くに上の方に延伸していて、前記上座が前記下の位置にある場合、前記管状体内に嵌入して前記管状体を塞ぐことができる直立柱３２０が設けている。前記直立柱には上下２面を有しその両端がそれぞれ前記上下２面に開口している通孔３２５が形成し、前記直立柱における通孔を開閉できる下への一方向弁３２３が付設されている。 （もっと読む）

複雑な流体マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、システムの弁シーリングの一体性、品質および性能を維持しながら、高純度化学物質配送システムに組み込まれる。特に、流体ＭＥＭＳシステムは、半導体製造プロセスのための高純度化学物質配送システムに組み込まれる。
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【課題】 供給ポートに設けたチェック弁が、制御位置にあるときにはノッチが機能し、開弁位置にあるときには必要最大流量を流せるようにする。
【解決手段】 チェック弁Ｖの全閉位置で閉じ、チェック弁が制御位置を保っているとき供給ポート４と中継流路５とを連通させるノッチ２７を設ける。一方、このノッチ２７よりもポペット部１６の先端側に先細りにした円錐状の制御突部２６を設け、しかも、この制御突部２６の基部は、チェック弁Ｖが上記開弁位置を保っているとき、シート部４ａと所定の間隔Ｌを保つ構成にしている。 （もっと読む）