【解決手段】 流体用筐体（５）と、流体用筐体（５）の内部に設けられている少なくとも１つの切替部材（６）と、流体用筐体（５）の外部に設けられているアクチュエーション手段（７０）とを備えるスイッチングバルブ（１００）であって、アクチュエーション手段（７０）は、流体用筐体（５）に衝撃状の力を与えることによって、切替部材（６）にパルス状に力を伝達させて、切替部材（６）を第１の位置（９１）から第２の位置（９２）へと移動させ、切替部材（６）は、第１の位置（９１）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第１の流体状態を定め、切替部材（６）は、第２の位置（９２）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第２の流体状態を定めており、第１の流体状態および第２の流体状態は、互いに異なるスイッチングバルブ（１００）を提供する。 （もっと読む）

【課題】所定の駆動源により弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】変位拡大機構（60）では、駆動源（50）によって押し付けられる第１変位部（48）が、液体が封入される第１室（71）の一端側を閉塞する。第１室（71）と連通する第２室（72）の他端側は、弁体（65）を保持するように変位する第２変位部（62c）で閉塞される。第２変位部（62c）についての第２室（72）側に臨む面の面積Ｓ２を、第１変位部（48）についての第１室（71）側に臨む面の面積Ｓ１よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を駆動源として弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】圧電素子（50）に押し付けられて変位する第１変位部（61b,91）と、弁体（65）を保持するように変位しながら弁体（65）を開閉方向へ移動させる第２変位部（62c,92）とを有する変位拡大機構（60）を設ける。変位拡大機構（60）は、第１変位部（61b,91）の変位量を拡大させて第２変位部（62c,92）へ伝達させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータ１６が縮む時に圧電素子に掛かる引っ張り力を緩和し、高温環境下に於いても安定した流量制御を行えるようにする。
【解決手段】 弁座８ｄを有するボディ８と、弁座８ｄに当離座する金属ダイヤフラム９と、ボディ８側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス１３と、ボディ８側に固定された割りベース１１と、アクチュエータボックス１３を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム９を弁座８ｄへ当座させる皿バネ１５と、アクチュエータボックス１３内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス１３を皿バネ１５の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ１６とから成る圧電素子駆動式制御弁１に於いて、割りベース１１と圧電アクチュエータ１６との間に、圧電アクチュエータ１６の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構２０を介設する。 （もっと読む）

【課題】供給する流体の流量が大であったり、又は供給する流体の圧力が高い場合であっても作動良好で、且つ流体を外部に供給する流体供給部が負圧になることを防止できる圧電式バルブを提供することである。
【解決手段】流体受入部と、流体を外部に排出するための流体排出部と、流体を外部に供給するための流体供給部とを備えている。さらに、流体排出部に設けられ、薄い板状であって長手方向を有し、印加電圧に応じて前記流体排出部の外部に通じる排出側経路を開閉する圧電動作体と、流体受入部と流体排出部と流体供給部とを連通し圧電動作体への流体の作用圧を抑制する流体室とを備えている圧電素子を用いた圧電式バルブ。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位を拡大して被駆動体に伝えることができ、被駆動体を精度よく移動させることができる圧電駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電駆動装置１０は、ケース２と駆動装置本体１１とを備える。駆動装置本体１１は、第１および第２の圧電素子１７，１８と、圧電素子１７の変位を拡大する第１の変位拡大機構と、第１の変位拡大機構によって圧電素子１７の伸長方向に直交する方向に移動してケース内面に当接する当接部と、圧電素子１８の変位を拡大して被駆動体を移動させる第２の変位拡大機構とを備える。圧電素子１７に電圧を印加すると、第１の変位拡大機構を介して当接部がケース内面に当接して駆動装置本体１１がケース２に対して移動不能に停止される。圧電素子１８に電圧を印加すると、第２の変位拡大機構が変位して被駆動体が移動される。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、制御弁自体を分解することなく、圧電素子に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 弁室７ａ′及び弁座７ｃを形成したボディ７と、弁室７ａ′内に配設され、弁座７ｃに当離座する金属ダイヤフラム８と、ボディ７側に固定されたアクチュエータボックス１０と、アクチュエータボックス１０内に配設され、電圧の印加により下方へ伸長して金属ダイヤフラム押え１２を介して金属ダイヤフラム８を押圧する圧電素子１３と、金属ダイヤフラム８が弁座７ｃへ当座したときに圧電素子１３の伸長を吸収すると共に、弁座７ｃ等へ所定の押圧力を印加する皿バネ機構１４と、圧電素子１３に常時上向きの圧縮力を加えると共に、圧電素子１３に加わる圧縮力を外部から調整可能な予圧機構２１とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 予荷重ばねが必要がなく、また、断面積の差分に比例して増幅量を大きくすること。
【解決手段】 アクチュエータは、励磁コイル４で発生した磁界で伸縮する超磁歪素子５により、軸部材６を介して、板ばね７を変位させる。この板ばね７が変位することにより、油（媒体）が密閉された油圧室８の圧力が上昇し、ピストン９を前進させる。ピストン９の変位量（ｘ３）は、超磁歪素子５の変位量（ｘ１）に、板ばね７に隣接する油室の断面積（Ｓ２）と、ピストン９の突出部１０に隣接する油室の断面積（Ｓ３）との比率（Ｓ２／Ｓ３）を掛けた分である。板ばね７は、その有効断面積（Ｓ２）は、超磁歪素子５の断面積（Ｓ１）より大きく設定してあり、超磁歪素子５より断面積が大きな板ばね７で構成される油圧室８に収納した油（媒体）によりピストン９を往復動するので、その断面積の差分に比例して増幅量が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップの基板材料に制約が無く、流路を確実に閉塞して耐圧性を確保できるマイクロ流路の流体制御構造、閉塞部材、マイクロチップ、各種の応用装置、および、閉塞部材操作装置の提供。
【解決手段】マイクロチップ１の孔２０にバルブ３０を押し込むことで流路ＦＡを閉塞する構造とされ、流路ＦＡを閉塞するための可動部分がバルブ３０それ自体であって、基板１１，１２を変形させて流路ＦＡを閉塞する必要がない。このため、マイクロチップ１の基板１１，１２に硬質材料をも使用でき、信頼性および汎用性を大きく向上させることができる。また、弾性部材３２が弾性変形によって孔２０の周縁２１および溝１４の端部１４２に密接するので、流路ＦＡが確実に閉塞され、耐圧性を確保できる。また、本発明は、マイクロチップ１に配設されたバルブ３０の押圧手段を備える操作装置も提供する。 （もっと読む）

流体流れ制御装置は、少なくとも１つの入口孔から少なくとも１つの出口孔への流体の流れを制御する。支持部は、剛体の、非可撓性の部分、前記剛体部分から延びる少なくとも１つの枢動可能な比較的に剛体の、非可撓性の折り畳まれたアーム部分、前記支持部に対し相対的に移動するために折り畳まれたアーム部分に連結された、少なくとも１つの表面、および４０％未満の動作損失で枢動可能な折り畳まれたアーム部分を駆動するために動作可能に配置される剛体の、非可撓性の力伝達部材を含む。電気的に動作するアクチュエータは、アクチュエータの電気的作動に応答して、前記折り畳まれたアーム部分を枢動させるように、前記剛体部分と力伝達部材の間に動作可能に係合する。マニホールドは、少なくとも１つのバルブシートと連通し、閉位置と開位置の間を移動するための少なくとも１つの対応するバルブ本体に対して動作可能、係合可能な流体通路を含む。
（もっと読む）

【目的】直線状又は略直線状の絞り溝を用いてマイクロサイズの反応器やナノサイズの反応器などの超微細技術に活用できる、流体の微小流量を正確に制御できる微小流量制御装置を開発する。
【構成】本発明に係る微小流量制御装置は、流体の微小流量を制御する絞り溝２４が直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面が流体の流動方向に減少するように形成されているので、流体の微小流量を正確に制御することができる。絞り溝が直線状又は略直線状であるから、絞り溝の加工が容易になり、しかも流量調整部材により絞り溝の任意断面を調整し易く、微小流量制御を容易且つ正確に行える。 （もっと読む）

【目的】流体の微小流量を正確に制御するために、流体流動の不安定を誘起することなく所要の弁特性を実現するため、絞り溝の入口側にエントランスチャンネルを付置することによって、メインチャンネルの断面積を流動方向に単調に変化させても所要の弁特性が実現できる微小流量制御装置を提供することである。
【構成】本発明に係る微小流量制御装置２は、流体の微小流量を制御するメインチャンネル２４ｍの始端２４ａに先行してエントランスチャンネル２４ｅが配置されているので、メインチャンネル２４ｍに流入する前に制御される流体に流動抵抗が付与される。弁の全開近傍における大きな開口断面２５が流体流出口として選択されても、流体にはその前段階でエントランスチャンネル２４ｅにより流動抵抗が付与されているから、流量の急激な変化を抑制することができメインチャンネル２４ｍの直線的な断面積変化に対しリニア型の弁特性を実現できる。 （もっと読む）

流体の流れを制御するバルブであって、入口（１０）および出口（９０）を有する流体通路を備えた本体（１００）と、通路を通る流体の流れを抑制するバルブ部材と、そして、バルブ部材を運動させることで入口から出口まで制御された流体の流れを提供する運動手段（４０，５０）と、を有し、バルブ部材はブレードの形を取り、その一方の端部（４１，５１）は通路から離れた位置で設置されており、バルブ部材を運動させる運動手段（６０）は、ブレードのもう一方の端部に作用し、それによって通路を通る流体を制御する、という前記バルブ。
（もっと読む）