【課題】静電駆動バルブを改良する。
【解決手段】駆動弁孔２６をもつ駆動弁２０を挟んでその両側に櫛歯形状の一対の駆動電極１６〜１９を設ける。駆動電極１６〜１９への印加電極により、駆動弁孔２６が出口弁孔２５ａの軸上の位置にくる全開状態、及び駆動弁２０が弁体２５から離れ、かつ駆動弁孔２６が出口弁孔２５ａの軸上の位置から外れた位置にくる部分開状態をとりうるように、駆動弁２０は支持部２１により出口弁孔２５ａの軸方向とそれに垂直な方向とに移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】耐用寿命を短縮しかねない機械的磨耗を受けにくい、ソレノイド駆動空気圧弁によって得られる機能が制限されにくい、さらに、ソレノイド駆動空気圧弁が、電力の損失の場合に通電位置を維持することができる弁アセンブリを提供する。
【解決手段】弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口１１９を有する基板１０１と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップ１１７とを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 弁体が導出口を設けた弁座基板に押し付けられた場合でも、流体を導出することができる溝を備えたマイクロバルブを実現する。
【解決手段】 弁座基板に対向させて弁体を設け、この弁体に設けられた電極と前記弁座基板に設けられた電極間を静電引力により前記弁体を変位させ、前記弁座基板に設けた流体を流入させる導入口の流入量を制御するマイクロバルブにおいて、前記弁体を挟んで前記弁座基板と反対側に設けられたバックプレートと、このバックプレートに設けられると共に流体を流出する導出口と、前記弁座基板に設けられると共に前記導入口を囲むように設けられた突起部と、この突起部に対向させて前記弁体に設けられた絶縁膜とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】よりサイズが小さく、より高い流体圧力をコントロールすることが可能な、より廉価なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】マイクロバルブは、対応する動作開口を動作開口層内に含む。コントロール流体が動作開口を通って流れる。コントロール流体の流れは、通常、動作開口層の近傍における電荷分布を介して印加される電界によってコントロールされる。１つの実施態様においては、電界が、動作開口の開閉を調整でき、それによってコントロール流体の流れをコントロールする。コントロール流体の流れが、コントロールされることになる流体が流れる導管の壁に沿って形成される柔軟な膜の伸張をコントロールする。柔軟な膜の伸張は、コントロールされることになるメイン流体の流れをコントロールする。 （もっと読む）

【課題】例えば、小型燃料電池に好適な、応答性や制御精度の面で一定の性能を満たしつつ、単純なシステムでかつ大幅なダウンサイジングを実現することができる水供給弁を提供すること。
【解決手段】水供給弁１００は、流路１０４に弁体兼弁体の動力部としての電解質ハイドロゲル１０６を配置して構成されている。電解質ハイドロゲル１０６は、電場応答性を示し、電圧（電場）の変化に応じて可逆的に変形（膨潤収縮）するという特徴を有する。電解質ハイドロゲル１０６に電圧を印加することにより、電解質ハイドロゲル１０６が収縮して流路１０２が開き、また、電圧をカットすることにより、電解質ハイドロゲル１０６が膨潤して流路１０４が閉じる。 （もっと読む）

【課題】駆動手段により弁体を変位させていない状態における弁体による流出口の閉止力を従来に比べて高めることができ、流入口側内部空間へ流入した流体の圧力が低くても流体が漏れるのを防止することができるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁座形成基板１０との間に流出口側内部空間Ｓ２を形成する第１のダイヤフラム部２２、流出口１２を開閉する弁体２３、弁座形成基板１０との間に流入口側内部空間Ｓ１を形成する第２のダイヤフラム部２５を有する弁体形成基板２０と、弁体形成基板２０との間に閉鎖空間３６を形成する閉鎖空間形成用基板３０とを備える。弁体形成基板２０における第１のダイヤフラム部２２とフレーム２１における第１のダイヤフラム部２２の周辺部とに跨って積層された応力付与膜２８が、駆動手段により弁体２３を変位させていない状態で閉止力を増大させるバイアス手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】 高精度な流量制御を可能にしつつ小型化が可能な流量調整弁を提供する。
【解決手段】 供給孔１４ａを介して流体が供給される作動室１４を有する弁本体２と、作動室１４に供給された流体を排出する排出孔１２ａが形成された振動部材１２と、振動部材１２に微小振動を付与する駆動手段２２と、作動室１４に収容され排出孔１２ａを閉塞可能なプラグ１８とを有する流量調整弁である。 （もっと読む）

マイクロバルブまたはマイクロバルブのアセンブリを環境から保護するのを助けることができるマイクロバルブアセンブリ。そのようなマイクロバルブアセンブリは、ガスを放出するかつ／または別の形で中に入れられる静電作動マイクロバルブの性能を低下させる可能性のある接着剤および／または他の材料の使用なしで、機械的に組み立てることができる。特に、マイクロバルブアセンブリは、基台取付具（１６）、基台取付具に取り付けられるように構成されるクランプ取付具（１０）、および基台取付具とクランプ取付具の間に配設される静電作動マイクロバルブ（１２）を含むことができる。クランプ取付具は基台取付具に機械的に取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】 双安定状態を利用して、エネルギー消耗が小さく、さらに弁に作用する流圧が十分でない場合でも、漏れを低減することができる弁を提供する。
【解決手段】 プランジャ２１０と、プランジャ２１０が往復動できる第１領域２２２と第２領域２２４とを有する作動室２２０と、第１領域２２２と第２領域２２４のそれぞれの周辺に設けられて、プランジャ２１０の存在する領域に作動磁界を形成する第１電磁石２３０及び第２電磁石２４０、第１領域２２２と第２領域２２４との間の作動室２２０に設けられて、作動室２２０に流体を流入する流入部２５０、及び第１領域２２２に対して離隔される方向に前記第２領域２２４の終端部に設けられた第２流出口２６０を備えることを特徴とする弁である。 （もっと読む）

弁を通る流体流れを変調するために弁内の流れチャンネルの寸法を選択的に変更できる弁が提供される。弁は空洞内へ延びる入口（１０）及び出口（１２）を備えた、空洞（１４）を画定するハウジング（８）を有する。膜（３０）が空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部が流体経路（１５）の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極（２０）が膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極（２２）が、弁を通る流体流れを変調するために膜を静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定される。
（もっと読む）

【課題】上部品と、チューブ等の可撓性媒体搬送体と、ダイヤフラムと、チューブ用の支持体を持つ下部品とを備えたバルブ構造を提供する。
【解決手段】ダイヤフラムの上面及び上部品の下面には電極が取り付けられている。これらの電極に電位が加えられていない場合には、ダイヤフラムは、流体の流れを効果的に阻止するため、可撓性チューブに載止してこのチューブの通路を閉鎖する。電極に電位が加えられると、ダイヤフラムがチューブから引き上げられて離され、これによってチューブの通路を開放し又は部分的に開放し、媒体を流し、又は圧力を伝達する。部分的開放は、調節を行う目的のためである。ダイヤフラムに張力機構が取り付けられていてもよい。バルブを少なくとも部分的に開放し、又は閉鎖するため、制御装置が電極に電位を加える。 （もっと読む）

【課題】 流体の圧力と流量のトレードオフ関係が解消され、高圧力かつ大流量の制御が可能となる静電駆動型マイクロバルブの提供。
【解決手段】 駆動ダイヤフラム３が形成されたシリコン基板１０と、枠形状のガラス基板１１と、支持ダイヤフラム２およびバルブロッド６が形成されたシリコン基板１２とにより密閉空間９が形成される。シリコン基板１２の駆動ダイヤフラム３と対向する位置には電極４が配設され、密閉空間９には駆動流体が封入される。電極４に電圧を印加すると、静電力により駆動ダイヤフラム３が下方に変位し、駆動流体の圧力によって支持ダイヤフラム２が変形してバルブロッド６が下方に変位する。その結果、バルブロッド６の先端が流出口８の縁部８ａに当節し、マイクロバルブ１が閉状態とされる。 （もっと読む）

マイクロ流体制御バルブ（１００）は少なくとも１つのキャビティ（２６０）を規定する誘電体構造（１０５）を有する。電気活性ポリマーのような電気活性材料（３０５）がキャビティの一部に備えられている。電気活性材料は、電気活性材料の寸法が第１値を有する第１状態と、その寸法が第２状態を有する第２状態との間で動作可能である。２つの導体（２４０、２５０）は、第１状態と第２状態との間で電気活性材料を変化させるように、電気活性材料に電位を印加するために備えられている。第１流体ポート（３１０）は、電気活性材料が第１状態にあるときに、流体が第１流体ポートを通って流れ、電気活性材料が第２状態にあるときに、電気活性材料は第１流体ポートを少なくとも一部で遮るように、電気活性材料に近接して位置している。

（もっと読む）

弁アセンブリが、主要ハウジングと、第１および第２の静電駆動式弁を備えてもよい。主要ハウジングは、少なくとも３つのチャンバ、すなわち、高圧供給ポートに結合されるように構成された第１のチャンバと、出力ポートに結合されるように構成された第２のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第３のチャンバとを画定してもよい。第１の静電駆動式弁は、第１および第２のチャンバ間に設けられてもよく、第１の静電駆動式弁は、第１の電気信号に応答して、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止してもよい。第２の静電駆動式弁は、第２および第３のチャンバ間に設けられてもよく、第２の静電駆動式弁は、第２の電気信号に応答して、第２のチャンバおよび第３のチャンバ間の流通を許容または実質的に阻止してもよい。関連する方法についても記述する。
（もっと読む）