【課題】効率的にクライオポンプの劣化を監視することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える。クライオポンプの再生処理は、基本パージ処理と、排気処理と、必要な場合に追加実施される追加パージ処理と、を含む。追加パージ処理は、１回以上のガスパージ工程を含む。クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置８０において、劣化判定部８８は、１回の再生処理において追加実施が必要となったガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。 （もっと読む）

【課題】適用対象により適合させた設計を可能とする極低温冷凍機、及びその冷凍機を適用したクライオポンプを提供する。
【解決手段】冷凍機５０は、長手方向に隣接する２つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。２つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ１０は、低温クライオパネル６０と、低温クライオパネル６０よりも高温に冷却される放射シールド４０と、冷凍機５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、クライオポンプ内部開放空間３０に突出し放射シールド１６へと向けられているパネル末端を含み、そのパネル末端は、吸着剤の欠落した区域８２を有する。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、パネル前面が非凝縮性気体のための吸着領域７６と凝縮性気体のための凝縮領域８２とに区分されている。 （もっと読む）

【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】 水素などの凝縮温度の低い気体を吸着するクライオポンプであって、長時間に亘り安定した排気能力と排気速度を有するクライオポンプとすること、占有空間の小型化が可能なクライオポンプを提供すること。
【解決手段】 クライオポンプ１は、第１、２コールドヘッド２１、２２を備えた蓄冷型冷凍機２と第１、２コールドヘッド２１、２２により冷却される第１、２クライオポンプ部５０と、第２クライオポンプ部６、７とを備える。第２クライオポンプ部６、７は前面６２ｆ、６４ｆがバッフル５に向いたクライオパネル６２とアドソープションパネル６３とを備え、アドソープションパネル６３は外周側が傾斜した第１領域６３ａと第１領域６３ａの内側の傾斜した第２領域６３ｂと第２領域６３ｂの内側の平坦な第３領域６３ｃと裏面６４ｇ側とにより形成され、第１領域６３ａを除いた両面６４ｆ、６４ｇに吸着材６５が接着される構成とした。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが排気すべき気体の種類は用途によって異なる。さらにほとんどの場合において排気すべき気体は複数種類の気体の混合気体であり、クライオポンプには複数種類の気体それぞれを同時に効率よく排気することが要求される。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ容器１２と、冷凍機１４と、低温パネル１６と、中間パネル１８と、放射シールド２０とを含んで構成される。クライオポンプ容器１２は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド２０は一端に開口部を有する。低温パネル１６は、放射シールド２０の内部に配置され、放射シールド２０よりも低温に冷却される。中間パネル１８は、放射シールド２０よりも低温、かつ低温パネル１６よりも高温に冷却される。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】制御部は、真空装置において設定されている２段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に２段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第１判定と、警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して２段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第２判定と、を１段クライオパネルの目標温度への制御中に行う。制御部は、クライオポンプの稼動当初に測定された２段クライオパネルの最低到達温度から排気運転中の２段クライオパネル温度が乖離した状態が設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第３判定を、目標温度への制御中に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプへの輻射熱低減及び排気速度向上を図る。
【解決手段】クライオポンプ１０は、開口２０を有する放射シールド１８と、放射シールド１８の内側に配置されるクライオパネル２４と、開口２０に配列された複数の羽板４１を含み、クライオパネル２４を開口２０に投影した投影領域よりも羽板４１を疎に配列した領域を投影領域の外側に有するルーバー２３と、放射シールド１８及びルーバー２３を第１冷却温度に冷却し、クライオパネル２４を第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱負荷を調節したり、その構成品に対する熱の流れを抑えたりすることができる極低温ユニットまたはクライオポンプを提供する。
【解決手段】本発明の極低温ユニット又はクライオポンプは、冷凍機と、少なくとも１つの極低温排気面と、この極低温排気面に接続された、少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子とを備えている。また、輻射シールドが設けられてもよく、輻射シールドに、そのような薄層の電気的な加熱素子が形成されていてもよい。加熱素子により、極低温排気面、輻射シールド、またはその他の構成品の温度制御が行われる。なお、加熱素子を用いた温度制御は、コントローラにより自動的にされてもよい。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】高い体積比熱を有し、長期間の運転で劣化する恐れがなく、所望の形状に作製可能な、安全でしかも低コストの蓄冷材、当該蓄冷材を有する冷凍機、当該冷凍機を備えるクライオポンプ、および当該クライオポンプの動作方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる蓄冷材は錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む。また、本発明にかかる冷凍機では、少なくとも１つの冷却段における蓄冷材が、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの気体吸蔵量を大きくする。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却される第２冷却ステージ１４と、を備える冷凍機５０と、側面に開口４３が形成され、第１冷却ステージ１３が外部に配置されかつ第２冷却ステージ１４が内部に配置されるように開口４３に冷凍機５０が挿通されており、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されている放射シールド４０と、第２冷却ステージ１４に熱的に接続され、放射シールド４０の内部から外部へと開口４３を通じて延び、開口４３において放射シールド４０との間に間隙を有して配置されている冷凍機カバー７０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クライオパネルの長寿命化を実現し、パネル交換等のメンテナンス作業負担を軽減する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、第１及び第２の気体を含む被排気気体を吸着剤に吸着することで排気するクライオポンピング処理と、吸着された気体を吸着剤から脱着して排出する再生処理とを交互に行う。クライオポンプ１０は、第１の吸着剤５０と第２の吸着剤５２とを備える。第１の吸着剤５０は、吸着された第１及び第２の気体のうち再生処理での残留割合が大きい気体の単位重量当たり吸着量が、該残留割合が小さいほうの気体の単位重量当たり吸着量よりも大きい。第２の吸着剤５２は、吸着された第１及び第２の気体のうち再生処理での残留割合が大きい気体の単位重量当たり吸着量が、該残留割合が小さいほうの気体の単位重量当たり吸着量よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが排気すべき気体の種類は用途によって異なる。さらにほとんどの場合において排気すべき気体は複数種類の気体の混合気体であり、クライオポンプには複数種類の気体それぞれを同時に効率よく排気することが要求される。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ容器１２と、冷凍機１４と、低温パネル１６と、中間パネル１８と、放射シールド２０とを含んで構成される。クライオポンプ容器１２は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド２０は一端に開口部を有する。低温パネル１６は、放射シールド２０の内部に配置され、放射シールド２０よりも低温に冷却される。中間パネル１８は、放射シールド２０よりも低温、かつ低温パネル１６よりも高温に冷却される。 （もっと読む）

【課題】輻射熱の影響を抑えつつ高い排気性能を実現するクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、排気されるべき気体が進入する吸気口２０を有するクライオポンプ容器１２と、クライオポンプ容器１２の内部に配設される第２冷却ステージ２２を備える冷凍機１４と、第２冷却ステージ２２に熱的に接続される中間部材２８と、第２冷却ステージ２２よりも気体進入方向Ａに関して吸気口２０から離れた位置に中間部材２８との接続部３２を有し、接続部３２から吸気口２０に向けて延在するクライオパネル２４と、を備える。例えば、吊り下げ型のパネル構造体１６を有するクライオポンプ１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】再生工程でクライオポンプ内に残留する水を固化させずに液体状態から気化させて排気することにより、再生時間を短縮することを企図したクライオポンプおよびその再生方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、ポンプ容器１４と、真空排気時に低温に冷却されるクライオパネル１６，１８と、冷却機１７とを備え、水を含む各種気体をクライオパネルに凝縮して真空排気を行う。クライオポンプの再生方法では、クライオパネルの温度を上昇させクライオパネルの排気面に凝縮した気体分子を気化させる温度上昇化工程Ｓ１２、ポンプ容器内の排気を実行する排気工程Ｓ１７、ポンプ容器の内部圧力が摂氏零度（０℃）での水の蒸気圧よりも大きな設定圧力に達したか否かを判定する判定工程Ｓ１８、排気を停止しかつ圧力上昇試験を行う圧力上昇試験工程Ｓ２０と、ポンプ容器の内部圧力に基づき水の残留を観測する観測工程Ｓ２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】排気速度と凝固・吸着効率を向上させたクライオパネル及びこれを用いたクライオポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】
クライオパネル１０は、円板状パネル１０Ａと８枚の板状パネル１０Ｂとを含む。円板状パネル１０Ａは、冷凍機３の第１段冷凍ステージ８Ａによって保持される。各板状パネル１０Ｂは、円板状パネル１０Ａの外周部に等角度間隔で取り付けられ、ガスの流入方向において円板状パネル１０Ａの上流側及び下流側に延伸するとともに、円板状パネル１０Ａの外周（の径方向位置）よりも外側まで延出するように取り付けられる。なお、各板状パネル１０Ｂは、円板状パネル１０Ａの径方向における中心部において互いに離間されている。 （もっと読む）

【課題】その内部にサーマルスイッチの機能を組み入れることが可能な収着ポンプを提供すること。
【解決手段】収着脱気システムは、その内部に気体分子を吸着するための収着材料を有する伝導性内側容器を含む。内側容器の周りに外側容器が位置決めされており、この外側容器はこれに接続された熱伝達フランジを含む。内側容器と外側容器の間には気体チェンバが形成されている。気体チェンバは、熱伝導性気体をその内部に封止可能に包含するように製作されている。 （もっと読む）