【課題】圧縮機を冷却して加熱された油からの排熱回収を可能にすると共に、排熱回収機器の負荷状況が変動しても圧縮機の温度変動を抑える。
【解決手段】油冷式ガス圧縮機は、圧縮機本体３と、圧縮ガスから油を分離する油分離器６と、この油分離器で油を分離された圧縮ガスを需要先に送るためのガス配管８と、前記油分離器で分離された油を前記圧縮機に戻すための油配管７を備える。また、前記油を冷却するための空冷熱交換器１３と、この空冷熱交換器に冷却風を送るための回転数制御可能な冷却ファン１４と、前記空冷熱交換器の上流側に設けられ、前記油配管を流れる油から熱回収するための排熱回収熱交換器１０を備え、前記冷却ファンは前記圧縮機本体から吐出される圧縮ガスの温度が所定の範囲になるように回転数制御される。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】油の補給が必要か否かを容易且つ的確に判断することが可能な鉄道車両用空気圧縮装置を提供する。
【解決手段】コントローラ９０は、通常運転モードと、暖気運転モードと、油面確認モードとに設定可能で、それらのうちのいずれかの運転モードに基づいて鉄道車両用空気圧縮装置１の運転状態を制御する。コントローラ９０は、油面確認モードに設定された場合は、油面確認モードに設定されてから経過した時間が所定の時間を経過する条件である油面確認条件が成立するまで圧縮機１２を連続して作動させるとともに圧縮空気を外部に排出するように鉄道車両用空気圧縮装置１の運転状態を制御し、油面確認条件が成立すると鉄道車両用空気圧縮装置１の運転を停止させる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて可変容量圧縮機又は容量制御弁の特性のばらつきに合わせて最適化され、容量制御弁を介して可変容量圧縮機を的確に制御するシステムを提供する。
【解決手段】可変容量圧縮機の制御システム(A)は、少なくとも１つの外部情報に基づいて、制御量の目標値を設定する第１制御装置(400A)と、制御量の目標値に基づいて標準的な操作量を演算する第２制御装置(400B)と、第１制御装置(400A)とは別体に設けられた第３制御装置(400C)とを備える。第３制御装置(400C)は、可変容量圧縮機(100)及び容量制御弁(200)のうち少なくとも一方の特性のばらつきに基づいて標準的な操作量を補正し、当該補正された操作量に基づいてソレノイドユニットのコイル(254)に供給される駆動電流を調整する。 （もっと読む）

【課題】熱負荷を調節したり、その構成品に対する熱の流れを抑えたりすることができる極低温ユニットまたはクライオポンプを提供する。
【解決手段】本発明の極低温ユニット又はクライオポンプは、冷凍機と、少なくとも１つの極低温排気面と、この極低温排気面に接続された、少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子とを備えている。また、輻射シールドが設けられてもよく、輻射シールドに、そのような薄層の電気的な加熱素子が形成されていてもよい。加熱素子により、極低温排気面、輻射シールド、またはその他の構成品の温度制御が行われる。なお、加熱素子を用いた温度制御は、コントローラにより自動的にされてもよい。 （もっと読む）

【課題】二酸化炭素を冷媒とする冷凍サイクルにおいて、吐出温度の上昇時に圧縮機の吐出量を増大させる運転を防ぐように制御することにより圧縮機の耐久性を向上させると共に、使用するパラメータの数を低減した容易な方法によって行われる圧縮機保護制御方法を提供することを課題とする。
【解決手段】二酸化炭素を冷媒とする冷凍サイクル１０１に用いられる圧縮機保護制御方法においては、圧縮機１から吐出される冷媒の吐出圧力が検知され、圧縮機１から吐出される冷媒の吐出温度が検知され、検知された吐出圧力に対応する理論吐出温度に基づいて基準吐出温度が算出される。さらに、検知された吐出温度が基準吐出温度以上となる場合、検知された吐出温度が基準吐出温度より低くなるように、圧縮機１が制御される。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプおよび冷凍機において、各冷却ステージの冷却温度を制御する。
【解決手段】クライオポンプにおいて、冷凍機は、直列に連結された第１シリンダ及び第２シリンダと、第１冷却ステージと、第２冷却ステージと、を含み、周期的に第１シリンダ及び第２シリンダの内部に作動気体を吸入して膨張させて外部に排気することにより第１冷却ステージを第１の冷却温度に冷却し、第２冷却ステージを第２の冷却温度に冷却する。制御部は、第１の冷却温度を目標温度に維持するように冷凍機への作動気体の吸排気周期を制御する。放射シールドは、ポンプ容器の内面に対向する外面を有するシールド基材と、吸排気周期を短くして第２の冷却温度を要求冷却温度よりも低温とするようにシールド基材よりも高い放射率を有する材料でシールド基材の外表面の少なくとも一部を被覆する放射吸収層と、を含む。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑えつつ、複数箇所に空気砲を供給すること。
【解決手段】顔位置Ｐｓが基準位置Ｐｄよりも上側にある場合には（ステップＳ５０で上側判定）、チャンバ内温度Ｔｃが算出した空気砲温度Ｔａよりも高くなるように（ステップＳ７０でＹｅｓとなるように）、ペルチェ素子１４０を過熱動作させる（ステップＳ８０）。一方、顔位置Ｐｓが基準位置Ｐｄよりも下側にある場合には（ステップＳ５０で下側判定）、チャンバ内温度Ｔｃが算出した空気砲温度Ｔａよりも低くなるように（ステップＳ１００でＹｅｓとなるように）、ペルチェ素子１４０を冷却動作させる（ステップＳ１１０）。 （もっと読む）

【課題】圧縮機起動時に圧縮機構部から吐出された高温の冷媒が高温状態のまま高圧側熱交換器に送られる圧縮機を得る。
【解決手段】この圧縮機は、密閉シェル１３内に、低段圧縮機構部１、高段圧縮機構部２、及びモータ１２が収納され、冷媒は、低段圧縮機構部１、高段圧縮機構部２で圧縮された後、密閉シェル１３内に吐出され、その後第１吐出配管８を通じて高圧側熱交換器に送られる圧縮機において、第１吐出配管８に設けられた第１開閉弁１０と、高段圧縮機構部２からの冷媒を密閉シェル１３の外側を通って第１吐出配管８の第１開閉弁１０の下流側に導く第２吐出配管９と、この第２吐出配管９に設けられた第２開閉弁１１とを備え、第１吐出配管８及び第２吐出配管９に流れる冷媒の流量は、第１開閉弁１０、第２開閉弁１１の開閉動作により制御される。 （もっと読む）

【課題】異なる非希ガスが異なる温度にて選択的に排気されるように加熱装置を有するインシトゥーゲッターポンプを提供する。
【解決手段】本ウェハー処理装置は、処理チャンバーと、チャンバーから希ガスを排気するめために処理チャンバーと結合されている低圧ポンプと、希ガス源と処理チャンバーとを結合するバルブ機構と、処理チャンバー内に配置されていると共に、希ガスの流れが前記チャンバー内へ流入する間、特定の非希ガスを排気し得るインシトゥーゲッターポンプと、処理チャンバー内に配置されるウェハーを処理するための処理システムとを備える。インシトゥーゲッターポンプは、異なる温度で異なる種類のガスを選択的に排気するために数多くの異なる温度にて作用することが好ましい。ガス分析装置は、チャンバーから排気されるガスの種類を制御すべくゲッターポンプの温度を自動的に制御するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】従来の強制空冷や水冷方式によらずにコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を効率よく除去し、振動をなくしつつ小型化を実現すること。
【解決手段】ポンプ本体２の外部に装着され、その動作を制御する制御回路基板３４が内蔵されたコントローラ３において、コントローラ３の周囲を覆い外壁面に複数枚のフィン４３、４３、…を整列させたヒートシンク４を設け、そのフィン４３の向きがポンプ本体２の回転中心軸線Ｌに対し傾斜した状態にするとともに、コントローラケース３１の背面パネル３１−２と底面パネル３１−２に多数の通気孔３６，３６，…を開口する。これにより、ポンプ本体２が真空チャンバ１０に対していかなる姿勢であっても、フィン４３の放熱面が斜め上方を向いていてフィン４３、４３間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなるとともに、ケース内部の熱気が通気孔３６から外部に確実に抜けるので、高温化したコントローラ３の放熱効率を向上させることができる。 （もっと読む）

真空装置が、単数または複数の真空室と接続された複数のクライオポンプ（１０）を備えている。クライオポンプ（１０）は、媒体−供給路（１２）および媒体−還流路（１４）を介して圧縮装置（１６）と接続されている。少なくとも１つのクライオポンプに、クライオポンプに供給される媒体量を制御するための調節装置（１８）が前置されている。さらにクライオポンプ（１０）は温度測定装置を備えている。温度測定装置ならびに調節装置（１８）は制御装置（２８）と接続されている。クライオポンプ（１０）に向かう所望の媒体供給を実現するために、本発明によれば、調節装置（１８）は、媒体−供給路（１２）に絞り装置（２４）を備えていて、かつ絞り−バイパス管路（２２）に制御可能な弁を備えている。
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