【課題】ポンプ部分または供給管路に検出体を配設することなく、ダイアフラムポンプの空運転を検出できるようにして、異物混入や液漏れを防ぎ、供給タンク内の液切れも確実に検出できるダイアフラムポンプの運転制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】空気駆動式のダイアフラムポンプの本体１の排気圧力を検出する空気圧センサ８と、この空気圧センサ８の検出した変動周期Ｆｘを記憶する制御部９を有し、この制御部９は変動周期Ｆｘが基準変動周期Ｆｓ以下のときに、空運転と判断してダイアフラムポンプの本体１の運転停止または警告表示をする構成としたことにより、液体の圧力変化に比べて即応する空気圧の変動周期を検出して、迅速かつ確実に空運転に対処できる。 （もっと読む）

【課題】ベローズ等の可撓性のポンプ部材を有する液体供給装置の駆動特性を向上させるとともに耐久性を向上させる。
【解決手段】液体供給装置１０ａの駆動ポンプ１１は、駆動ロッド１８により軸方向に弾性変形するポンプ部材としてのベローズ２１を有している。ベローズ２１とハウジング１３ａとにより駆動ポンプ室２６と連通室２５とが形成され、オリフィス部材４３により連通室２５と駆動ポンプ室２６とに仕切られている。駆動ロッド１８の駆動動作時には弁体５３により貫通孔５１が閉塞され、オリフィス部材４３とハウジング１３ａの内周面との間の連通隙間を介して連通室２５と駆動ポンプ室２６との間で液体が流れることになる。 （もっと読む）

【課題】接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１の流体噴射方法は、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０と、第１脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０とを接続する接続流路管４とが備えられ、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０それぞれに備えられる圧電素子２１，３１に入力される駆動信号の周期が同じであって、第２脈流発生部３０の駆動信号を第１脈流発生部２０の駆動信号よりも、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０との間の距離を圧力波が伝播するのに要する時間だけ位相を遅延させるよう制御する。このことにより、接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる。 （もっと読む）

【課題】間接媒体内における気泡の発生を防止し、より高精度に一定量の流体を吐出する。
【解決手段】ハウジング１２の一端部に、回転駆動源１４が設けられ、前記ハウジング１２の他端部には、流体Ｓの吸入されるポンプ室４０及び間接媒体３０が充填される充填室３２を有したポンプヘッド１６が設けられると共に、前記ハウジング１２の内部には、前記回転駆動源１４の駆動作用下に変位する変位ナット２８を有した変位機構１８が設けられ、前記変位ナット２８に連結された筒体５４と前記ポンプヘッド１６の第１ブロック３４との間に、ベローズ５８が介装され、その内部に非圧縮性流体からなる間接媒体３０が充填される。また、ポンプヘッド１６において、流体Ｓと間接媒体３０との間には、撓曲自在にダイヤフラム３８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】エア駆動式のダイアフラムポンプを採用したシステムにあって、高い塗料吐出圧力を得ることができながらも、ダイアフラムの優れた耐久性を確保する。
【解決手段】塗料圧送システム２１を、塗料Ｐを供給する塗料供給源２２、この塗料供給源２２の塗料Ｐを圧送するエア駆動式のダイアフラムポンプ２３、このダイアフラムポンプ２３に駆動用の高圧エアを供給するエア駆動機構２４等から構成する。ダイアフラムポンプ２３として、出力圧力と入力圧力との圧力比率が、例えば１．５：１のものを採用する。エア駆動機構２４を、コンプレッサ４８、このコンプレッサ４８からのエアを２倍に増圧してダイアフラムポンプ２３に向けて出力する増圧弁４９から構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動部材をシールする部材の交換等が容易なスピンレス法によりレジスト液を塗布するベローズポンプを提供する。
【解決手段】非圧縮性液体を収容する室をベローズ室２１とシリンジ室４１とに区分けし、ポンプヘッド１０およびベローズ２０を備えるポンプユニット２と、シリンジ本体４０、ピストンロッド５８等の駆動部材、およびパルスモータ５０等の駆動手段を備えるシリンジユニット３と、の２つのユニットからベローズポンプを構成した。ピストンロッド５８の移動によりシリンジ室４１の容積が変化し、非圧縮性液体がベローズ室２１へ流出入してベローズ２０が伸縮する。このように構成することで、長尺のシリンジユニット３を縦置きとすると共に、蛇腹部におけるレジスト液の滞留等を防止するためにベローズ２０の伸縮が水平方向となるようにポンプユニット２を配置できる。また、これらのユニットを着脱自在とすることで部材を容易に交換できる。 （もっと読む）

【課題】作動流体動作室への空気混入をなくし、スリットコート式塗布装置を常に安定して動作できる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置を提供する。
【解決手段】上記ダイヤフラムポンプ４０では：弁ハウジング２２においてダイヤフラム１８により塗布液室１４と隔離された作動流体動作室２０と連通したピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において、ピストン移動方向に離間した２つの位置でピストンの外周面を密封状態で往復動可能に支持する２つの支持手段２８ａ，２８ｂの間に密封流体供給孔４６が設けられている。この供給孔に密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧して供給されていて、上記内周面において２つの密封支持手段の間には、密封流体供給時に、上記内周面とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔５０が備えられている。 （もっと読む）