【課題】たくさんの能動素子を含む回路の温度を受け入れられるレベルに維持する能力のある冷却装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、絶縁基板中に形成された空洞を有し、基板の上部は縁を形成し空洞の近くに置かれ、縁まで空洞の内部を覆い、縁を覆うことができる導電層と、導電媒体で形成され空洞の上に置かれ、縁に支えられているフレキシブル膜と、お互いに近接した導電層と膜の部分を絶縁するため、導電層または膜を覆っている誘電性層と、絶縁基板の中に形成され、導電層の開口部を通して空洞の中につき出る少なくとも一つの通風ダクトと、導電層と膜の間の電圧印加のための端子とを備えているポンプに関する。 （もっと読む）