【課題】エアチャンバーの内壁面に当接してもその衝撃を緩和できる材料で形成された浮動パッドをダイヤフラムのエアチャンバー側の面に配置することにより、ダイヤフラム及びエアチャンバー壁の摩損や劣化を生じることなく、エアチャンバーの内部空間容積を小さくでき、もって、圧縮エアを供給する駆動電力量を低減させることができるダイヤフラム及びダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】センターシャフト、ダイヤフラムチャンバー及び作動流体チャンバーを有するダイヤフラムポンプに用いられ、ダイヤフラムポンプのセンターシャフトに取り付けられるダイヤフラムにおいて、ダイヤフラムは、ダイヤフラムポンプの作動流体チャンバー側の面に、センターシャフトを貫通した、作動流体チャンバーの内部空間容積を小さくするための浮動パッドが配置されている。 （もっと読む）

【課題】流体を汲み出すための新規なポンプカセットを提供する。
【解決手段】ポンプカセットは、少なくとも一つの流体吸入路及び少なくとも一つの流体排出路を備えている。また、ポンプカセットは、ハウジング内に少なくとも一つの往復圧力容量型膜ポンプ（８２０）を備えている。その圧力ポンプは、流体吸入路から流体排出路に流体を送るためのものである。また、少なくとも一つの定量ポンプ（８３０）に加え、ハウジング上には、中空スパイク（９０２）が含まれている。定量ポンプ（８３０）は、ハウジング上の中空スパイク（９０２）と定量ポンプ流路とに流体接続されている。定量ポンプ流路は、流体排出路に流体接続されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ部分または供給管路に検出体を配設することなく、ダイアフラムポンプの空運転を検出できるようにして、異物混入や液漏れを防ぎ、供給タンク内の液切れも確実に検出できるダイアフラムポンプの運転制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】空気駆動式のダイアフラムポンプの本体１の排気圧力を検出する空気圧センサ８と、この空気圧センサ８の検出した変動周期Ｆｘを記憶する制御部９を有し、この制御部９は変動周期Ｆｘが基準変動周期Ｆｓ以下のときに、空運転と判断してダイアフラムポンプの本体１の運転停止または警告表示をする構成としたことにより、液体の圧力変化に比べて即応する空気圧の変動周期を検出して、迅速かつ確実に空運転に対処できる。 （もっと読む）

【課題】吸込配管の圧力が高い場合や残留空気が多い場合でも、適切に、圧力室の空気を排出でき得るダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】油圧式のダイアフラムポンプの圧力室に設けられたエア抜き弁４０は、圧力室と外部空間との間に設けられ、圧力室から作動流体が流入する中間室５０と、前記中間室５０と圧力室の圧力バランスの変動に応じて開閉する逆止弁４４と、前記逆止弁４４を圧力室側に付勢するスプリング４８と、前記中間室５０と外部空間との間を作動流体の微量漏出を許容した状態で閉鎖するピストン４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化や長期にわたるシール精度の維持を可能とし、ベローズの伸縮に応じて応答性よく開閉動作を行うことができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】ベローズポンプ１０は、流体の流路３３，３４が形成されたポンプヘッド１１と、このポンプヘッド１１に取り付けられ、その内部が流路３３，３４に連通する水平方向に伸縮自在なベローズ１３と、流路３３，３４に対する一方向への流体の流れを許容し、他方向への流体の流れを阻止するチェックバルブ３８，４０とを備える。チェックバルブ３８，４０は、ポンプヘッド１１内に収容されるとともに、自重によって閉弁方向へ移動可能な弁体４５と、ポンプヘッド１１に取り付けられるとともに、弁体４５がポンプヘッド１１内から離脱するのを阻止するキャップ部材４４，４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】発泡性を有する液体や気泡を含む液体を扱う場合にも、ポンプ室の吸込側及び吐出側の逆止弁がガスロック現象を発生しない液体用容積型ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室３の容積を拡大することにより吸込通路９から吸込側逆止弁８及び吸込口６を経てポンプ室３に給液させる吸込工程とポンプ室３の容積を縮小することによりポンプ室３から吐出口７及び吐出側逆止弁１０を経て吐出通路９に送液させる吐出工程とを交互に連続して行うように構成された液体用容積型ポンプであって、ポンプ室３内で気泡を発生する液体を扱うものにおいて、ポンプ室３の上部領域と吐出通路９とを細孔通路１４により直接に連通接続して、吐出工程においてポンプ室３内の液体を細孔通路１４から吐出通路９へと微量流出させることによりポンプ室３内の気泡を排除し、逆止弁８，１０がガスロック現象を生じないように構成してある。 （もっと読む）

【課題】１台の薬液供給装置によって連続的に被塗布物に対して薬液を塗布するようにし、塗布作業能率を向上させる。
【解決手段】この薬液供給装置は一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２とを有し、一次側ポンプ１１は一次側チューブ３１を備え、一次側チューブ３１内には薬液タンク１３内の薬液Ｌが注入される。二次側ポンプ１２は二次側チューブ３２を備え、一次側ポンプ１１から充填された薬液Ｌをノズル１４に供給する。一次側ポンプ１１内の気体室３５に圧縮性流体を供給して一次側チューブ３１を径方向に膨張収縮させると一次側チューブ３１内の薬液Ｌは二次側チューブ３２内に充填される。二次側ポンプ１２内の媒体室４３に非圧縮性媒体を供給して二次側チューブ３２を径方向に収縮させると、二次側チューブ３２内の薬液はノズル１４に供給される。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を図りながら、水頭圧の影響を自動的に低減させることが可能な薬液供給システムを提供すること。
【解決手段】薬液供給ポンプ１０において、一対のボディ１１，１２内には容積可変部材としてのダイアフラム１３が収容されており、このダイアフラム１３によってポンプ室１４と作動室１５とが区画形成されている。作動室１５には電空レギュレータ３０が接続されている。コントローラ６０は、薬液の吸引を開始する場合には作動室１５内の圧力を大気圧に設定するとともに、その状態で吸引バルブ２３を開状態とする。そして、薬液タンク２７の水頭圧によりポンプ室１４に薬液が流入してくることで変動する作動室１５内の圧力を、圧力センサ５２を通じて読み取り、その読み取った圧力に基づいて電空レギュレータ３０を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】 液体を貯留するタンクから、一対のポンプによる交互の圧送により、液中のガスを発泡して排除した液体を吐出先に安定的に供給する液体供給システムにおいて、省スペースで低コストな液体供給システムを提供する。
【解決手段】 薬液供給システム１は、薬液供給源から薬液を供給する供給口５３と、供給口５３から流入した薬液を一時的に貯留する貯留槽５０Ｔと、貯留槽５０Ｔの下方から薬液を吐出させる吐出口６２と、薬液から発泡された気泡を貯留槽５０Ｔの上方から槽５０Ｔ外に排気する排気口５４とを有する脱気装置５０と、を備え、脱気装置５０は、薬液供給源とべローズポンプ１０との間の薬液吸入第１，第２管路Ｌｉ１，Ｌｉ２に配設され、供給口５３にキャビテーションノズル７０を設けていること、べローズポンプ１０は、脱気装置５０の吐出口６３に接続する薬液吸入第２管路Ｌｉ２に、並列に２つ併設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧縮流動体を圧縮流体作動室に供給したときに、あるいは圧縮流体によってベローズ蛇腹が伸張すべきときに伸張しないで収縮してしまうという現象の発生を回避することができ、もって従来のベローズポンプでは、ダンパーを使用して脈動を少なくしていたものを、ベローズポンプだけで脈動を少なくし、かつ使用する圧縮空気の量を少なくても駆動できるポンプ駆動方法を確立する。
【解決手段】圧縮流体作動室に接続され、該圧縮流体作動室への圧縮流体の導入の切替えをタイマーからの切替え信号によって行う電磁バルブを設け、ポンプ内部で搬送液の吐出側の出口を液吸引の入り口の穴よりも小さくし、ポンプのベローズ天板側気室への圧縮流体の導入スピードをコントロールするスピードコントローラを設ける。 （もっと読む）

【課題】エアチャンバーブロックと対応するポンプ用バルブのバルブ本体の側面に大きなエア供給室を形成することにより、エア供給流路の形成の自由度、エアチャンバーブロックの貫通穴の形成の自由度及びエアチャンバーブロックの取り付け容易性を高め、もって、部品部数及び組立て工程の削減、ポンプ全体の小型化を図ることができるポンプ用バルブ本体を得る。
【解決手段】ポンプ用バルブ本体であって、中央部の圧縮エア充填室と、前記中央部の圧縮エア充填室内に圧縮エアを供給する圧縮エア供給口とを備え、前記ポンプ用バルブ本体の外表面に、前記中央部の圧縮エア充填室とポンプ側のエアチャンバーとを連通する環溝状のエア供給室を形成し、前記圧縮エア供給口から前記中央部の圧縮エア充填室内に供給された圧縮エアは、前記エア供給室を介して前記ポンプ側のエアチャンバー内に供給されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部で帯電が起こらないようにして、静電気の帯電に因る放電によりベローズに孔が開く不都合な現象が防止されるよう改善されたベローズポンプを提供する。
【解決手段】薬液の吸込路１２及び吐出路１３を備えたポンプボディ１と、ポンプボディ１に一端が気密に固定されてポンプボディ１との間に密閉空間１１を形成する状態に配備されるベローズ２と、ベローズ２をポンプボディ１に対して伸縮動すべくベローズ２の他端側に設けられる作動部１５と、密閉空間１１に連通する吸入路１２に設けられる吸入弁６と、密閉空間１１に連通する吐出路１３に設けられる吐出弁７と、を有して成るベローズポンプにおいて、密閉空間１１に臨む導通材製の集電部材Ｃと、集電部材Ｃに一端部が導通接続され、かつ、ポンプボディ１の外部に臨む他端部を有する導電手段Ｄとが装備されている （もっと読む）

【課題】ポンプ装置における騒音の抑制および動力の伝達効率低下の抑制。
【解決手段】駆動モータ１０４が、一方向に回転すると、負圧発生部１０２が駆動されてダイヤフラムポンプ４４０が負圧となる。駆動モータ１０４の回転が、渦電流クラッチ機構１２０を介して伝達され、カム１３２が矢印Ｒ３方向に回転する。この結果、レバー１３０は、大気開放弁１４０の閉弁方向に回転し、大気連通孔１４２は閉弁状態となる。駆動モータ１０４が他方向に回転すると、駆動モータ１０４の回転が、渦電流クラッチ機構１２０を介して伝達され、カム１３２が矢印Ｒ４方向に回転し、これに連動して、付勢バネ１３６の付勢力に抗してレバー１３０が押し上げられ、弁体１４４が上方に持ち上げられて大気連通孔１４２が大気連通する。この結果、大気開放弁１４０が開弁状態となり、ダイヤフラムポンプ４４０が大気開放される。 （もっと読む）

【課題】性能低下とか設置場所やコスト増加を招くこと無く、吸込・吐出の切り換わり時に発生する衝撃振動が抑制されるように改善されたベローズポンプを提供する。
【解決手段】流体の吸込路１２と吐出路１３を備えたポンプボディ１と、ポンプボディ１に基端フランジ２ａが気密固定されてポンプボディ１との間にポンプ室１１を形成する状態に配備されるベローズ２と、ベローズ２をポンプボディ１に対して伸縮動すべくベローズ２のヘッド部２ｃに取付けられる作動板１５とを持つベローズポンプにおいて、ヘッド部２ｃを上げ底形状として作動板１５との間に気密状の空間部１９を形成し、空間部１９に臨む薄肉ヘッド部２ｃの弾性膜変形による空間部１９の縮小で圧力上昇を吸収緩和可能に構成される。 （もっと読む）

本発明は、膜および流体制御部を備えたポンプに関する。ポンプは、ポンプの吸込行程の端部における膜の状態に対応する膜の静的形状から弾性変形可能な膜からなる可動壁部とともに、ヘッドとポンプ本体（９）との間に設けられるポンプ室（３）と、ポンプ本体（９）内に形成される一定の空間部を有する流体中間室（８）とを備え、この流体中間室（８）は、その内部において往復運動可能なピストンを具備しており、さらに、作動室（８）に向かう流れを保証する、解放された無負荷の一方向弁（１３）を介して、帰還チャネル（２８，２１，１８）によって中間室（８）に接続された中間室（８）の漏洩補償空間部を備えている。このポンプは、一方向弁（１３）および補償空間部の一部（３４）が、ポンプの作動位置における流体中間室（８）の高所においてポンプ本体（９）に付加される付加体（２２，３１）に含まれることを特徴とする。
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【課題】良好なシール性を得つつ、十分に疲労強度が高められたダイアフラム式コンプレッサを提供する。
【解決手段】周縁が挟持されて固定されたダイアフラム１４を有するダイアフラム式コンプレッサであって、ダイアフラム１４は、チタン合金から形成され、少なくとも固定箇所１７近傍の内周側が、周方向へわたって押圧ローラを押圧して圧縮残留応力を付与した応力付与部１４ａとされている。 （もっと読む）

ポンプシステムは、管状体と、閉じられた前部と、開かれた後部と、前部の近傍から後部の近傍まで長手方向に連続的にらせんのように延びる少なくとも１つのコンターとからなるらせん状の蛇腹プランジャで、少なくとも部分的には画定される、少なくとも１つの圧力室を含む。らせん状の蛇腹プランジャを形成する方法は、らせん状に延びる外部コンターを含む中子鋳型、および実質的に同じピッチの、中子鋳型のらせん状に延びる外部コンターと整列するように構成されたらせん状に延びる内部コンターを含む、協調的に関係づけられた型穴を使用してらせん状蛇腹プランジャを成形するステップと、中子鋳型と鋳型との間に成形材料を導入するステップと、成形材料を硬化させるステップと、硬化した成形材料を中子鋳型から回して外すステップとを含む。また、種々の構成のらせん状の蛇腹プランジャが、開示される。
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【課題】樹脂組成物溶液中に含まれるディフェクト要因となり得る微粒子を効果的に除去できディフェクトの発生を抑制することができる樹脂組成物溶液の製造方法、及び製造装置を提供する。
【解決手段】樹脂組成物溶液を収容するタンク１０に収容された樹脂組成物溶液を、タンク１０から排出し、送液手段及びろ過手段を有する循環経路にて循環ろ過させる樹脂組成物溶液の製造方法である。送液手段として、ダイアフラムポンプ１３を使用し、さらに、ダイアフラムポンプ１３の下流のポンプ吐出ライン２８ｐに第１のダンパー３０を有する循環経路にて循環ろ過を行う製造方法である。ダイアフラムポンプ１３に、第２のダンパー１３ｃを備えることがさらに好ましい。 （もっと読む）

本発明は半導体製造工程で必要な薬液を供給する薬液移送装置に関するものであって、薬液が脈動なしで一定に供給されるように、互いに異なる吸入行程時点と排出行程時点を有する3つ以上のポンプを一列に配置したことを特徴とする。 （もっと読む）