【課題】逆止弁を使用せずに流体を輸送でき、構造が簡単で、所望の流量を得ることが可能な圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０を間にしてポンプ室１５の外周部と対向するポンプ本体１０の部位に、ダイヤフラムと接する第１壁部１３ｂが形成され、この壁部と接するダイヤフラムの部位に第１開口部２１ａが設けられ、ポンプ本体の側壁であって、ダイヤフラムのポンプ室側の側面と接する第２壁部１２ｂに第２開口部１２ｃが設けられる。静止時において、第１開口部２１ａが第１壁部１３ｂで閉じられ、かつ第２開口部１２ｃがダイヤフラムで閉じられており、圧電素子の振動に伴うダイヤフラムの屈曲変位によって、第１開口部及び第２開口部を交互に開き、一方の開口部から流体を吸い込み、他方の開口部から流体を排出する。特に、ダイヤフラムを３次共振モードで駆動すると、最大流量が得られる。 （もっと読む）

【課題】少ない流量でも精度良く送液制御を行うことができるマイクロポンプの制御方法、マイクロポンプの駆動回路を提供する。
【解決手段】加圧室の内部の圧力をアクチュエータで変化させて流体を流路に送出するマイクロポンプの制御方法において、基準電圧から第１のピーク電圧までの立ち上がり時間が第１のピーク電圧から基準電圧までの立ち下がり時間より長い第１の台形波電圧と、基準電圧から第２のピーク電圧までの立ち上がり時間が第２のピーク電圧から基準電圧までの立ち下がり時間より短い第２の台形波電圧と、を所定の順でアクチュエータに印加することにより送出する流体の流量を制御することを特徴とするマイクロポンプの制御方法。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの表裏のいずれか一方に、液体圧力を受けるポンプ室を形成するダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムが表裏にアンバランスな圧力を受けることがない（少ない）液体ダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムを挟着するアッパハウジングとダイヤフラムとの間に、ポンプ室の反対側に位置させて液室を形成し、アッパハウジングとロアハウジングに跨らせて、この液室と、吸入ポートと吐出ポートの少なくとも一方とを連通させる自由液流路を設け、該吸入ポートまたは吐出ポート内と液室との間で液体を自由に移動可能とした液体ダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１１０と、ポンプ室１１０から液体１０２を吐出するための吐出口３２０を有する吐出側弁座４００と、吐出口３２０を閉塞または開放可能に配置される吐出側逆止弁６００と、少なくとも吐出側弁座４００よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、吐出側逆止弁６００と吐出側弁座４００との間に挟まれたリング状ゴムシート７００とを備え、リング状ゴムシート７００は、吐出側逆止弁６００が吐出口３２０を閉塞する場合には、吐出側逆止弁６００の周辺部と吐出側弁座４００とに密着するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的低い駆動電圧でも圧電素子の中央部に大きな変位量を得ることができる圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ本体１に形成したポンプ室２を圧電素子２１によって閉じ、圧電素子に電圧を印加することによって、その中心領域と周辺領域とを逆方向に屈曲変位させ、ポンプ室２の容積変化を生じさせる圧電ポンプである。圧電素子は複数の圧電体層を積層したバイモルフ型圧電素子であり、圧電素子のポンプ室側の側面には、ポンプ室と圧電素子とを隔離するダイヤフラムが対面接着されており、圧電素子単体の伸縮反転面と、圧電素子とダイヤフラムとを接着した状態での中立面とを一致させた。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの特性バラツキを簡単な方法で補正し、所定の流量で駆動液をマイクロチップに送液する反応検出装置を提供する。
【解決手段】流体をマイクロチップに注入するポンプと、ポンプの性能データを記憶する記憶手段と、ポンプを駆動する駆動手段と、駆動手段を制御する制御手段と、を有し、制御手段は、性能データに基づいて駆動手段を制御することを特徴とする反応検出装置。 （もっと読む）

【課題】流体輸送装置を提供する。
【解決手段】流体輸送装置は、弁座、弁帽、弁膜、複数緩衝室、振動薄膜およびアクチュエーターを含む。弁膜は、弁座と弁帽の間に配置され、いくつかの中空弁スイッチを含み、それは少なくとも第１弁スイッチおよび第２弁スイッチを含む。複数緩衝室は、弁膜と弁帽の間に第１緩衝室および弁膜と弁座の間に第２緩衝室を含む。振動薄膜は、流体輸送装置が非作動状態であるとき、弁帽から分離され、それによって、圧力キャビティを規定している。アクチュエーターは、振動薄膜に接続される。アクチュエーターが変形せざるを得ないとき、アクチュエーターに接続される振動薄膜は、圧力キャビティの容量を変化させるように伝えられ、結果として流体を動かすための圧力差をもたらす。 （もっと読む）

【課題】振動するダイヤフラムとハウジングとの間にポンプ室を形成し、ハウジングに、ダイヤフラムの平面中心に対する偏心対称位置に吸入ポートに連通する吸入側液溜室と吐出ポートに連通する吐出側液溜室を設け、吸入側液溜室とポンプ室との間に該吸入側液溜室からポンプ室への流体流を許す吸入側逆止弁を設け、吐出側液溜室とポンプ室との間に該ポンプ室から吐出側液溜室への流体流を許す吐出側逆止弁設けたダイヤフラムポンプにおいて、ハウジングを合成樹脂製にしなければならないという制約の下で簡単な構成で振動の軽減ができ、かつ流量を低下させないダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ハウジングに、吸入側逆止弁と吐出側逆止弁の反対側において、吸入側液溜室と吐出側液溜室にそれぞれ連通する一対の開口部を形成し、この一対の開口部を、吸入側液溜室と吐出側液溜室の圧力で弾性変形する金属薄板からなる振動軽減板で閉塞したダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】ユニモルフ型の圧電振動子を用い、Ｏリングによってポンプ室の液密を保持する圧電ポンプにおいて、配線ラインが圧電振動子の振動を阻害し、または振動により配線ラインと圧電体との配線信頼性が低下するおそれがない圧電ポンプを得る。
【解決手段】Ｏリングの輪郭の反対側において、シムと圧電体に圧電振動子の振動に追従する弾性を有する弾性電極を介して給電する圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の圧電体層を有する面にＯリングを接触させてポンプ室を形成するタイプの圧電ポンプにおいて、圧電振動子に対する配線構造がポンプ室の液密性に悪影響を与えることのない圧電ポンプを得る。
【解決手段】圧電振動子の圧電体層のシムと反対側の面に、Ｏリングとその全周に沿って少なくとも一部が重なる環状電極を形成することで、圧電体層に対する配線がＯリングに交差することをなくし、この環状電極とシムとの間に交番電流を印加することにより該圧電振動子を振動させる圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】逆止弁がなくても流体を移送でき、構造が簡単かつ小型の流体移送装置を提供する。
【解決手段】基板１０と、この基板上に変位可能に配置された中空円板状の圧電素子３０とを備えた流体移送装置である。圧電素子３０には周方向に等角度で分割された複数の分割電極３３ａ〜３３ｈが形成され、分割電極に周方向に順次異なる位相の電圧を印加することにより圧電素子を屈曲変形させ、圧電素子と基板との間に生成されるポケット室Ｓを周方向に移動させることにより、流体移送装置の中央部から外周方向に流体を移送する。 （もっと読む）

【課題】アンブレラを用いない薄型の逆止弁構造を提案してポンプ室を小容積化し、ダイヤフラムポンプの自吸能力を高め、小型のダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムポンプの吸入側と吐出側の逆止弁を、一端吸入弁部が吸入側流路の開口端上に延びて常時は該吸入側開口端を閉塞し、他端吐出弁部が吐出側流路の開口端上に延びて該吐出側開口端を閉塞しない単一の開閉板ばね；及び吐出側開口端上に位置する吐出流路穴を有し、開閉板ばねの上記他端吐出弁部上に重ねられて、常時は該他端吐出弁部により該吐出流路穴を閉じる固定穴部材；によって構成し、ポンプ室容積が拡大するとき開閉板ばねの一端吸入弁部が開き、同ポンプ容積が縮小するとき他端吐出弁部が閉じるようにしたダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】単一のハウジング内に、表裏の一面に液体ポンプ室を形成し他面に大気室を形成する圧電振動子と、該圧電振動子に対する駆動制御用部品を搭載した制御基板とを収納し、上記圧電振動子を振動させることにより液体ポンプ室内に液体を給排してポンプ作用を行わせるドライバ内蔵圧電ポンプにおいて、ポンプ動作時の騒音を低減できるドライバ内蔵圧電ポンプを得る。
【解決手段】制御基板に、駆動制御用の正弦波デジタル信号を生成するデジタル波形生成回路と、このデジタル波形生成回路で生成した正弦波デジタル信号から低周波数成分のみを取り出すアクティブフィルタと、このアクティブフィルタを通過した正弦波デジタル信号を用いて高電圧駆動信号を生成し、この高電圧駆動信号を圧電振動子に与える高電圧制御回路とを設けたドライバ内蔵圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと、このダイヤフラムを挟着して該ダイヤフラムの上下に空気室と可変圧力室を構成するアッパハウジング及びロアハウジングとを有し、該ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、空気室側の環状シール部材が不要で、かつダイヤフラムの変形を阻害することがないダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ロアハウジングに、平面円形のダイヤフラムを嵌める円形凹部と、この円形凹部の周縁に位置する環状溝とを形成し、アッパハウジングに、環状溝と同一の中心と径を有し、ロアハウジングの上記円形凹部に嵌めたダイヤフラムに対し、環状溝に嵌めたＯリングの反対側において環状に接触する環状突起を形成したダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと、このダイヤフラムを挟着して該ダイヤフラムの上下にそれぞれ可変圧力室を構成するアッパハウジング及びロアハウジングとを有し、該ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得るダイヤフラムエアポンプにおいて、単一の環状弾性シール部材でダイヤフラムの表裏の可変圧力室のエアシールができるダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】アッパハウジングとロアハウジングのいずれか一方に、平面円形のダイヤフラムを嵌める円形凹部を形成し、他方に、この円形凹部を跨ぐ内外径を有するシール部材収納用の環状溝を形成し、このシール部材収納用環状溝内に、上記ダイヤフラムの周縁部を跨ぎ、アッパハウジングとロアハウジングによって圧縮変形される環状弾性シール部材を収納したダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】円板状のシムと圧電体とを外径基準でなく重ね合わせて接着することができ、圧電体の外周研磨が不要で、接着位置決め治具と製造される圧電振動子が接着されるおそれがない製造方法を得る。
【解決手段】接着位置決め治具に形成した円形凹部内に、それぞれ少なくとも１枚の円板状のシムと、円板状の圧電体とを挿入し、両者の間に接着樹脂を介在させて接着する圧電振動子の製造方法において、接着位置決め治具の円形凹部内に挿入するシムと圧電体のうち、１枚のシムの円形凹部内での同心性を保証するために、３つの小突起を形成し、他のシム及び圧電体は、径方向のクリアランスを生じさせた非外径基準で、円形凹部内に挿入して接着する製造方法。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の振動により、目的とする空間（部位）を効果的に冷却することができる圧電式気体噴流発生装置を得る。
【解決手段】圧電振動子によって上下の可変容積室を形成し、該圧電振動子の振動によって給排される空気の移動を有効利用するために、上下の可変容積室にそれぞれ連通しアッパハウジング及びロアハウジングからそれぞれ突出する複数本のアッパ給排パイプとロア給排パイプをそれぞれ、圧電振動子の平面方向と平行な方向にかつ互いに平行に同一方向に突出させ、さらに該アッパ給排パイプとロア給排パイプをその平面位置を異ならせて配置した圧電式気体噴流発生装置。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図る上で有利となる、コンパクトな外形を有する空気熱交換ユニットを提供する。
【解決手段】空気熱交換ユニット（30）は、厚さ方向に相対向する吸気側の薄板（11）と排気側の薄板（12）とを有し該両薄板（11,12）間に空気室（14）が形成された中空板状
のファン本体（15）の吸気側の薄板（11）に薄膜振動体（16）を構成した薄型送風ファン（10）と、薄型送風ファン（10）の吸気側の近傍に配置された熱交換器（20）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図る上で有利となる、コンパクトな外形を有する送風ファンを提供する。
【解決手段】互いに対面するように配置された前面部（11）と背面部（12）の間に空気室（14）が形成された中空板状のファン本体（15）に、外部から空気室（14）に向かって細くなる複数の吸気孔（33）と、空気室（14）から外部に向かって細くなる複数の排気孔（34）とを設ける。さらに、前面部（11）及び背面部（12）の少なくとも一方に、空気室（14）を拡縮するように振動する膜状振動体（16）を形成する。送風ファン（10）は、膜状振動体（16）の振動に伴って吸気孔（33）から空気室（14）に取り込んだ空気を排気孔（34）から外部に排気する。 （もっと読む）

【課題】 送液の効率を向上させた送液方法および送液手段を提供する。
【解決手段】 マイクロ流体デバイス内の流路に存在する液体を制御する装置システムにおいて、送液のために超音波振動子を設け、その超音波振動子は振幅変調による発振を行う。また、超音波振動子上にはマイクロ流体デバイスを保持するための保持部を設け、マイクロ流体デバイスを着脱可能とする。 （もっと読む）