【課題】 逆止弁及びこれを用いたダイヤフラムポンプにおいて、応答性が良く、弁室を小さくすることができ、気泡の影響を受けにくくすること。
【解決手段】 流体の導入口８ａを有する天壁８と流体の排出口９ａを有する底壁９と側壁とで形成される弁室１１と、弁室１１内で基端が側壁に固定され先端が自由端とされて片持ち状に支持されていると共に導入口８ａ上に配された弁体１２ａと、を備え、底壁９には、弁体１２ａに沿って基端から先端に向けて天壁８から漸次離間するように傾斜する傾斜面９ｂ２を有する弁座９ｂが形成されている。片持ち形状の弁体１２ａが天壁８と弁座９ｂとの間を移動することにより、弁の開閉動作の際、傾斜面９ｂ２を有する弁座９ｂに規制されて弁体１２ａの移動量が小さくなり、開から閉への応答時間が短くなる。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明の第１の形態にかかる圧電体膜５は、
（Ｐｂ_１−ｄＢｉ_ｄ）（Ｂ_１−ａＸ_ａ）Ｏ_３の一般式で示される圧電体からなり、
Ｂは、ＺｒおよびＴｉの少なくとも一方からなり、
Ｘは、ＮｂおよびＴａの少なくとも一方からなり、
ａは、０．０５≦ａ≦０．４の範囲であり、
ｄは、０＜ｄ≦０．５の範囲である。 （もっと読む）

【課題】 変位量の大きいアクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるアクチュエータは、基板と、前記基板の上方に形成された下部電極と、前記下部電極の上方に形成された電歪ポリマー膜と、前記電歪ポリマー膜の上方に形成された上部電極と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れ、流量を容易に変更可能な設計自由度の高い圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造を得る。
【解決手段】 圧電振動子２０と、圧電振動子２０を液密に挟持するハウジング１１と、ハウジング１１に形成された一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂとを有する圧電ポンプにおいて、一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂの支持部４１ｂ、４２ｂと該逆止弁４３Ａ、４３Ｂによって開閉される流路穴４１ｃ、４２ｃとを有する、ハウジング１１とは別部材からなる一対の逆止弁台座４１、４２を設け、この一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂにかしめ固定する。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れ、ポンプ性能を容易に変更可能な圧電ポンプ及びその性能調整方法を得る。
【解決手段】 圧電振動子２０と、圧電振動子２０を液密に挟持するハウジング１１と、ハウジング１１に形成された一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに装着された流れ方向が異なる一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂとを有する圧電ポンプにおいて、ハウジング１１と圧電振動子２０の間に、圧電振動子２０との間に可変容積室１３を形成する容積決定凹部３１と一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対応する一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとを有する間挿体３０を備える。さらに、上記間挿体３０とハウジング１１に、互いに嵌合して一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂと一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂとの位置を合致させる位置決め凹凸部３４Ａ、３４Ｂ、１８ｂ、１９ｂを形成した。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成によるエアーポンプを提供する。
【解決手段】 電圧を印加することで伸縮可能なエラストマー又はポリマーと、前記エラストマー又はポリマーに電圧を印加するために設けられた電極とを有するアクチュエータと、前記アクチュエータの往復運動により変形するダイヤフラムと、を有することで、ダイヤフラムを変形させるためにモータやクラッチ等の部品が必要なく、簡易な構成によるエアーポンプを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプ中へ気泡が混入することを抑制でき、それだけ安定した流量特性が得られる送液装置を提供する。液体原燃料の希釈用液等の使用液体中の気泡の影響を抑制して希釈液体燃料を電池へ安定して供給でき、それだけ発電性能を良好に維持できる燃料電池装置を提供する。
【解決手段】複数種類の液体の混合、希釈等のためにマイクロポンプＰａ、Ｐｂにより液体を送り合流させる送液装置ＭＴ’。ポンプ上流側の液通路に気泡トラップＴｒを設け、トラップＴｒで捕捉される気泡の排除手段（気泡抜き孔ｈ、気泡排除装置ＥＸ、気泡センサＡＳ又は気泡量推測部、コントローラＣＯＮＴ）を設ける。かかる送液装置構造を利用した送液ユニットＰＵ又はポンプユニット１で原燃料を希釈用液で希釈して燃料電池３へ供給し、生成される水を回収容器６を介してユニットＰＵやユニット１へ循環させる燃料電池装置Ｃ１、Ｃ２。容器６に対し気泡排除手段ＡＤを設ける。 （もっと読む）

駆動回路は、圧電アクチュエータを有する装置のための駆動信号を生成する。いくつかの例示的な実施例では、駆動回路は、装置のリアルタイム動作中、駆動信号（たとえば駆動信号の波形の形状）を動的に変化させる。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、駆動回路へのアナログ入力信号に従って駆動信号を発生させる。アナログ入力信号は、たとえば、圧電アクチュエータの共振の兆候、温度の兆候、粘度の兆候、および／または駆動信号の所望の電圧および所望の周波数のうちの１つの兆候であり得、もしくはそれらを有し得る。アナログ入力信号は、ユーザ入力装置から取得可能である。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、装置の動作パラメータに依存して駆動信号を発生させる。装置の動作パラメータは、たとえば、圧電アクチュエータの共振または流体の温度などの感知されたパラメータであり得る。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、センサから取得されたセンサ信号に依存して駆動信号の波形が形作られるよう、駆動信号を発生させる。センサは、装置の内部（たとえばポンプ室の内部）、装置の内部またはその近傍の他の場所、もしくは装置によってサービスを提供されるサービス対象装置の内部またはその近傍に位置していてもよい。駆動回路のための動作の方法、および駆動回路を利用し、その方法に従って動作する装置のための動作の方法も開示される。
（もっと読む）

駆動回路（１８）は、圧電アクチュエータ（１４）を有する装置（１０）のために予め定められた波形形状の波形を有する駆動信号を生成する。駆動回路（１４）は、駆動信号を生成する際に駆動回路によって利用される波形形状データを記憶するメモリ（１４０）を含む。駆動回路は、波形の周期を構成する複数のポイントの各々について、駆動信号が予め定められた波形形状にとって適切な振幅を有するように、波形形状データを利用する。波形形状データは、好ましくは、装置の１つ以上の動作パラメータを最適化するよう作成されたものである。好ましくは、波形形状データは波形方程式を解くことによって作成されており、波形方程式は、装置の少なくとも１つの動作パラメータを最適化するよう求められた係数を有する。波形方程式について求められた係数の数は、装置の帯域幅内にある波形の高調波の数に依存する。他の局面は、駆動回路を利用する装置、装置を動作させるための方法、駆動回路（たとえば圧電アクチュエータを有する装置のための駆動信号を生成する駆動回路）によって利用されるメモリ（２１２）、および最適化された波形形状データを発生させるための機器および方法に関与する。 （もっと読む）

本発明は、第１基材層（１）、第２基材層（２）及び機能性要素（３）を接合する方法に関する。本発明によると、前記機能性要素（３）は予め決められた弾性を有する物質から選択され；前記第１層及び第２層は予め決められた剛性を有する物質から選択され；前記機能性要素は前記第１及び第２基材層間にサンドイッチ状に配置され；前記第１及び第２基材層は圧力により互いに接合され；かつ前記機能性要素は前記第１及び第２基材層が永続的に相互結合するように取り付けられ、前記機能性要素は前記第１及び第２基材層間に永続的に配置される。本発明は更に、液体及び／又はガス状媒体を輸送及び／又は貯蔵するためのチャンネル状構造を有するデバイスに関する。該デバイスは、第１基材層（１）及び第２基材層（２）と、当該第１基材層（１）及び第２基材層（２）間にサンドイッチ状に配置された機能性要素（３）を含んで成り、チャンネル状構造が前記第１及び／又は第２基材層に埋め込まれている。前記第１及び第２基材層は固定的及び永続的に相互接合され、かつ前記機能性要素が前記第１及び第２基材層間に取り付けられている。前記機能性要素は弾性体で、前記第１及び第２層は剛体で、前記第１及び／又は第２層のチャンネル状構造は、機能性要素に起因して、少なくとも部分的に気密的及び／又は水密的にシールされる。
（もっと読む）

この発明は、圧電的に作動するマイクロ機械のダイアフラムを提供することに関する。前記圧電ダイアフラムは、中央部に、不活性な非電極形成領域と、中央領域の外周に隣接する環状のインターデジタル電極と、を含む。あるいは、前記ダイアフラムは、環状の不活性な非電極形成領域と、中央の活性なインターデジタル電極部と、を有していてもよい。また、前記ダイアフラムは、たとえばミニチュアポンプなどに用いることができる。前記ポンプは流体の蠕動的な移送を生じさせる複数のチャンバーを含んでいてもよい。 （もっと読む）

液体の圧力損失を低減し、ポンプ効率を向上させるとともに薄型化を実現する。 圧電ポンプ（１）の流路は、扁平断面形状の圧力室（５０）と、その両端に配置された吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）とで構成されている。吸入側流路（７０ａ）と吐出側流路（７０ｂ）とは、互いの軸線が同じくなるように、圧力室（５０）の両端に配置されている。また、吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）内にはそれぞれ吸入弁（２０ａ）および吐出弁（２０ｂ）が配置されている。吸入弁（２０ａ、２０ｂ）はいずれも、液体の流れ方向に対して傾斜するように設けられている。 （もっと読む）

マイクロチャネルからなる流路と、該流路に連結されたリアクターと、該流路又はそれに連結されたリアクター内に、試料を送受液する注入口と、該リアクターから反応後の試料を回収する送出口とを備えた第１の基板と、該注入口及び／又は該送出口に対応するように、少なくとも１つ以上のマイクロポンプが形成された第２の基板からなり、該マイクロポンプは、セラミックスから形成されたキャビティを内面に有する基体と、同基体の外表面に形成された電極及び圧電／電歪層と、少なくとも２つ以上の連結口とを備えたものであり、そして、第１と第２の基板が貼り合わされ、一体化成形されたマイクロリアクターである。 （もっと読む）

本発明は、媒体流を生成するための装置（１）であって、チャンバ（４）を有し、このチャンバ（４）は、互いに対向して位置するチャンバ壁（２，３）と、媒体流のための少なくとも一つの媒体開口（２７，２８，２９，３０）とを備えるとともに、ダイヤフラム手段（５）によりチャンバ（４）内において媒体流を生成することができ、ダイヤフラム手段（５）は、装置（１）の非動作状態においては、互いに対向して位置するチャンバ壁（２，３）間にあるチャンバ（４）内に実質的に張力が加えられていない状態で配置されるとともに、ダイヤフラム手段（５）には、このダイヤフラム手段（５）を駆動して変形させるための電気的な駆動信号に応答する駆動手段（６）が関連付けられており、駆動手段（６）は、装置（１）の動作状態において、ダイヤフラム（５）を変形させるようになっており、この変形中において、ダイヤフラム手段（５）は、機械的な内部張力を有している、装置に関する。
（もっと読む）

【課題】 大きな放熱面積を有し、冷媒の漏れを防止する、薄型の電子機器の冷却装置。
【解決手段】 冷却装置は、溝が形成された下側放熱板と上側放熱板とを接合することによって流路（２１）が形成されている冷却パネル（２）と、流路（２１）内で冷媒を循環させる循環ポンプ（３）とを具備する。上側放熱板には、流路（２１）から循環ポンプ（３）に向かって冷媒が流出する流出口と、循環ポンプ（３）から流路（２１）に向かって冷媒が流入する流入口とが形成される。循環ポンプ（３）は、吸込ポート及び吐出ポートが、それぞれ流出口及び流入口に位置合わせされるように、冷却パネル（２）の上側放熱板に固定される。
（もっと読む）

【課題】水に対する濡れ性を良くし、定量精度あるいは検出精度を安定させるマイクロ流路を提供する。
【解決手段】作動流体５０が通過するマイクロ流路１００の流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層１０４の表面に、末端基に親水基１０５を有する硫黄化合物皮膜１０６を形成する。 （もっと読む）