【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】高出力なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１は、第１の基材１０と、第２の基材２０と、ガス発生材３０とを備えている。第１の基材１０には、第１のマイクロ流路１１が形成されている。第１のマイクロ流路１１は、第１の基材１０の一主面１０ａに開口している第１の開口部１１ａを有する。第２の基材２０には、第２のマイクロ流路２１が形成されている。第２のマイクロ流路２１は、第２の基材２０の一主面２０ａに開口している第２の開口部２１ａを有する。ガス発生材３０は、第１の基材１０の一主面１０ａと、第２の基材２０の一主面２０ａとに接着されている。ガス発生材３０は、第１及び第２の開口部１１ａ、２１ａを塞いでいる。第１の開口部１１ａと第２の開口部２１ａとは、ガス発生材３０を介して対向している。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、径方向に二以上の任意の整数に分割された内部電極を有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側に密着固定されるダイアフラム３０と、最も内側にある内部電極１１ｃと対向する位置に前記圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、内部電極の形成領域の一つ一つを独立して外側から内側方向に向かって時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により外側から内側に向かって順々に縮小していき、出口孔６０から流体を送出し、流体噴射開口部からパルス状に高速噴射する。 （もっと読む）

【課題】水の供給が困難な状況下でも切除に用いる液体噴射装置を適切に用いることがで
きるようにすること。
【解決手段】液体を貯留する貯留部と、前記液体を噴射する液体噴射装置と、前記液体噴
射装置に電力を供給する燃料電池であって、前記電力を発生させる際に生ずる水を前記貯
留部に供給する燃料電池と、を備える液体噴射システム。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ポンプ筐体に格別な加工を行うことなく、吐出圧の高い圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラムに圧電体を接着した振動板を使用し、振動板の外周部をポンプ筐体に固定する。振動板と対向するポンプ筐体の表面は平坦面に形成され、振動板は、ポンプ筐体と逆側を向くダイヤフラムの主面に圧電体を熱硬化型接着剤により接着固定したものである。ダイヤフラムは、圧電体より線膨張係数が大きいので、圧電体への電圧の非印加時において、ダイヤフラムはポンプ筐体側と逆方向に凸状に反った形状を有し、ダイヤフラムの反りによってポンプ筐体との間にポンプ室が形成される。 （もっと読む）

【課題】薬液の定量吐出を高精度で行い得るようにすることにある。
【解決手段】薬液流入口２１および薬液流出口２２に連通するポンプ室１６を膨張収縮させることで薬液を吐出する薬液供給装置１０ａにおいて、ピストン３１が軸方向に往復動自在に収容されるシリンダ１２を有している。シリンダ孔３０には、連結ロッド３４の先端とシリンダ１２との間で、軸方向に弾性変形自在なベローズ３５が取り付けられている。ベローズ３５の内側には、連結ロッド３４とベローズ３５との間で膨張収縮室３７が区画形成されるとともに、当該膨張収縮室３７に連通する圧力室３８がピストン３１の先端側に設けられ、これら膨張収縮室３７と圧力室３８とに非圧縮性の間接媒体３９が封入されている。このベローズ３５の平均有効径Ｄ２は、ピストン３１の摺動面３２の外径Ｄ１よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１の流体噴射方法は、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０と、第１脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０とを接続する接続流路管４とが備えられ、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０それぞれに備えられる圧電素子２１，３１に入力される駆動信号の周期が同じであって、第２脈流発生部３０の駆動信号を第１脈流発生部２０の駆動信号よりも、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０との間の距離を圧力波が伝播するのに要する時間だけ位相を遅延させるよう制御する。このことにより、接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】高圧力での送液及び高流量での送液を可能とするマイクロポンプユニットを得る。
【解決手段】順方向及び逆方向に送液可能な複数のマイクロポンプ10a,10b,10cを積み重ねたマイクロポンプユニット。積み重ねたマイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替える。並列流量モードでは、各段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されるとともに、各段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。直列圧力モードでは、奇数段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されかつ偶数段のマイクロポンプが奇数段のマイクロポンプとは逆の方向で送液駆動されるとともに、最上段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。 （もっと読む）

【課題】ノズル装置へ薬液(chemical liquid)を送給する薬液送給装置において、薬液送給初期の立ち上がりを良くして、薬液送給初期の時間を生産に使用できるようにして、生産性を向上させるようにすること。
【解決手段】ノズル装置に薬液を送給する薬液送給路の途中に設けられる主ポンプ及び副ポンプからなり、該主ポンプ及び該副ポンプは、立ち上がり時の送給流量が、主ポンプ≦副ポンプ、の関係で始まり、定常送給時の送給流量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にある。前記主ポンプと前記副ポンプは内容積の膨らみ量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にあり、立ち上がり時の前記副ポンプの送給流量Ａと、立ち上がり時の前記主ポンプの内容積の膨らみ量と該薬液送給路の内容積の増加量の和Ｂが、Ａ≧Ｂ、の関係にある。 （もっと読む）

【課題】所望の噴射力を維持した状態で脈動流を継続して噴射するのに好適な流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置１を、容積が変更可能な流体室５０１と、流体室５０１に連通する入口流路５０３及び出口流路５１１と、圧電素子４０１を含む脈動発生部１００と、出口流路５１１に一方の端部が連通され他方の端部に流体噴射開口部２１２が設けられた接続流路２０１と、流体室５０１からの脈動を流体噴射開口部２１２に伝達する接続流路管２００と、流体を供給するポンプ２０とを有する流体噴射部２と、圧電素子４０１に駆動信号を供給する駆動部３０とを含む構成とした。そして、駆動部３０は、前記容積を圧縮するように圧電素子４０１を駆動する圧縮駆動波形部を含む信号波形から構成される駆動信号の供給内容を、連続して供給される圧縮駆動波形部の各々の供給前に、流体室５０１に向かって流れる流体が定常状態に戻るように制御する。 （もっと読む）

【課題】 脈動を抑えて高圧流体を供給可能な往復動ポンプを提供する。
【解決手段】 ケーシング２と、ケーシング２内を往復運動するプランジャー３と、ケーシング２とプランジャー３との間に連結されたダイアフラム４と、を有し、プランジャー３は、第１流入口５と、第１流出口６と、プランジャー３内に形成されて第１流入口５と第１流出口６とを連通させる連通路７と、第１流入口５から連通路７内を介して第１流出口６への流体の流れを許容し逆方向の流れを阻止する第１逆止弁８と、を有し、ケーシング２は、プランジャー３の前端面によって区画されるプランジャー室９内に連通可能な第２流入口１０と、第２流入口１０からプランジャー室９内への流体の流れを許容する第２逆止弁１１と、第１流出口６と連通しダイアフラム４によって仕切られた緩衝室１２と、緩衝室１２に連通する第２流出口１３と、を有することとした。 （もっと読む）

【課題】十分な耐圧性を有してより大量かつ低コストで製造することができるマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供すること。
【解決手段】流入用マイクロバルブ６は、金属板のプレス加工によって形成された弁体１０と、弁体１０が収容される有底の凹部１１が一端１３ａに配され、かつ凹部１１の底部１１Ａから他端１３ｂまで中心軸線ＣＬに沿って貫通する第一微小流路１２が配された金属製のアウトブッシュ(第一円柱部)１３と、中心軸線ＣＬに沿って貫通して第二微小流路１５が配されて、弁体１０とともに凹部１１に圧入された金属製のインブッシュ(第二円柱部)１６と、弁体１０と対向して第二微小流路１５の端部に配された弁座１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムのたわみによる問題を解消して、高い圧力と流量を確保できる圧電ポンプを得る。
【解決手段】内径がポンプ室の内径よりも大きく開口した開口６１を備え、四隅に切り込み６５およびスリット６６によるバネ構造を有する張力板６０を、前記開口径が小さくなるように、治具７０にしまりばめする。張力板６０が治具７０に取り付けられている状態で、張力板６０にダイヤフラム構造体５０のダイヤフラム５１を貼り付ける。治具７０から張力板６０とともに前記ダイヤフラム構造体５０を取り外す。これにより、ダイヤフラムの中央部から周辺方向へ張力が掛かった張力板付きダイヤフラム構造体を得る。 （もっと読む）

【課題】 耐液性にすぐれ薄型で、かつ吐出圧力が高く、周囲環境の変化の影響を受けにくい圧電ポンプを提供する。
【解決手段】 第１の導電性金属弾性板２ａの片面に第２の圧電振動子１ａを接合した第１の圧電駆動型ダイヤフラム１００と、第２の導電性金属弾性板２ｂの片面に第２の圧電振動子１ｂを接合した第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００と、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１００と第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００を収納する筐体４とを備え、お互いの導電性金属弾性板２ａ、２ｂが対向するように配置し、これらの導電性金属弾性板２ａ、２ｂと、筐体４の側壁とで容積室４００を形成し、導電性金属弾性板２ａ、２ｂが直接媒体に接する構成の圧電ポンプ３００とする。 （もっと読む）

【課題】アンブレラを用いない薄型の逆止弁構造を提案してポンプ室を小容積化し、ダイヤフラムポンプの自吸能力を高め、小型のダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムポンプの吸入側と吐出側の逆止弁を、一端吸入弁部が吸入側流路の開口端上に延びて常時は該吸入側開口端を閉塞し、他端吐出弁部が吐出側流路の開口端上に延びて該吐出側開口端を閉塞しない単一の開閉板ばね；及び吐出側開口端上に位置する吐出流路穴を有し、開閉板ばねの上記他端吐出弁部上に重ねられて、常時は該他端吐出弁部により該吐出流路穴を閉じる固定穴部材；によって構成し、ポンプ室容積が拡大するとき開閉板ばねの一端吸入弁部が開き、同ポンプ容積が縮小するとき他端吐出弁部が閉じるようにしたダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】平面円形でその中心部の振幅が最も大きくなるように振動するダイヤフラムによって形成したポンプ室に、ダイヤフラムの平面中心に対して偏心させた対称位置に位置させて、吸入側流路からポンプ室への流体流を許しその逆方向の流体流を許さない吸入側アンブレラと、ポンプ室から吐出側流路への流体流を許しその逆方向の流体流を許さない吐出側アンブレラとを設けたダイヤフラムポンプにおいて、流量を低下させずに閉鎖圧を高める。
【解決手段】吸入側アンブレラの傘部によって覆われる領域を、ダイヤフラム中心に近い半分（中心側領域）と遠い半分（離間側領域）とに分けたとき、その一態様では、離間側領域の流路孔の数を減らし、別の態様では、離間側領域の流路孔の合計流路面積を狭く設定したダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】流体を高圧で流出できると共に小型化を図れ、振動や騒音が抑えられたポンプを提供する。
【解決手段】このポンプ１０は、流体の流入口２１及び流出口２３を有し、内部に流路２５が形成されたポンプケース２０と、流路２５の一部を横切って対向する方向に配設された一対のシリンダ２７，２７と、各シリンダ２７内にそれぞれ配置された一対のピストン１２０，１２０と、各ピストン１２０を、流路２５に向かう方向及び流路２５から遠ざかる方向に同期してスライドさせる駆動手段と、流路２５のシリンダ２７との交差部より流入口２１側に配置され、流路２５内が減圧されるときに開き、加圧されるときに閉じる第１弁体７０と、流路２５のシリンダ２７との交差部より流出口２３側に配置され、流路２５内が加圧されるときに開き、減圧されるときに閉じる第２弁体７２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高い耐圧性を有するとともに、変形および復元が容易な流体移送用チューブを提供する。
【解決手段】チューブ１０は、形状記憶合金からなる金属製中空管１１と、金属製中空管１１の内部に挿入された中実弾性体１２とを含んでいる。流体は、中実弾性体１２と金属製中空管１１との間に形成される円環状の空間１３を流通する。中実弾性体１２は、回転体３０の突起部３２からの外力により容易に変形するとともに、この外力が除去されると元の形状に復元する性質を有する。 （もっと読む）