液体の圧力損失を低減し、ポンプ効率を向上させるとともに薄型化を実現する。 圧電ポンプ（１）の流路は、扁平断面形状の圧力室（５０）と、その両端に配置された吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）とで構成されている。吸入側流路（７０ａ）と吐出側流路（７０ｂ）とは、互いの軸線が同じくなるように、圧力室（５０）の両端に配置されている。また、吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）内にはそれぞれ吸入弁（２０ａ）および吐出弁（２０ｂ）が配置されている。吸入弁（２０ａ、２０ｂ）はいずれも、液体の流れ方向に対して傾斜するように設けられている。 （もっと読む）

マイクロチャネルからなる流路と、該流路に連結されたリアクターと、該流路又はそれに連結されたリアクター内に、試料を送受液する注入口と、該リアクターから反応後の試料を回収する送出口とを備えた第１の基板と、該注入口及び／又は該送出口に対応するように、少なくとも１つ以上のマイクロポンプが形成された第２の基板からなり、該マイクロポンプは、セラミックスから形成されたキャビティを内面に有する基体と、同基体の外表面に形成された電極及び圧電／電歪層と、少なくとも２つ以上の連結口とを備えたものであり、そして、第１と第２の基板が貼り合わされ、一体化成形されたマイクロリアクターである。 （もっと読む）

【課題】 大きな放熱面積を有し、冷媒の漏れを防止する、薄型の電子機器の冷却装置。
【解決手段】 冷却装置は、溝が形成された下側放熱板と上側放熱板とを接合することによって流路（２１）が形成されている冷却パネル（２）と、流路（２１）内で冷媒を循環させる循環ポンプ（３）とを具備する。上側放熱板には、流路（２１）から循環ポンプ（３）に向かって冷媒が流出する流出口と、循環ポンプ（３）から流路（２１）に向かって冷媒が流入する流入口とが形成される。循環ポンプ（３）は、吸込ポート及び吐出ポートが、それぞれ流出口及び流入口に位置合わせされるように、冷却パネル（２）の上側放熱板に固定される。
（もっと読む）

【課題】水に対する濡れ性を良くし、定量精度あるいは検出精度を安定させるマイクロ流路を提供する。
【解決手段】作動流体５０が通過するマイクロ流路１００の流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層１０４の表面に、末端基に親水基１０５を有する硫黄化合物皮膜１０６を形成する。 （もっと読む）