【課題】薄型で、圧電振動子の圧電体層にクラックや分極の劣化が生じにくい長寿命の圧電ポンプを備えた液循環システムを得る。
【解決手段】縁を液密に保持した圧電振動子１０の表裏に、ポンプ室Ｐと大気室Ａが形成され、該圧電振動子１０を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプ２０と、上記ポンプ室Ｐの吐出ポート２５から吸入ポート１４に至る循環流路６０と、上記吸入ポート２４及び吐出ポート２５近傍の循環流路６０途中に吸入流体抵抗調整管７０及び吐出流体抵抗調整管８０を配設し、上記吸入流体抵抗調整管７０の流体抵抗を吐出流体抵抗調整管８０の流体抵抗よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】万一液漏れ事故が生じても、搭載機器（例えばパソコン）への波及を防ぐことができるドライバ内蔵圧電ポンプを得る。
【解決手段】圧電振動子を収納する円形凹部と、該圧電振動子に対する給電制御用電気部品を搭載した制御基板を収納する基板収納空間とを有するハウジング；及び円形凹部内に収納した圧電振動子の表裏の少なくとも一面に接触し、該圧電振動子と円形凹部との間に液体ポンプ室を形成する環状シール部材；を有し、圧電振動子を振動させることにより液体ポンプ室内に液体を給排してポンプ作用を行わせるドライバ内蔵圧電ポンプにおいて、ハウジングに、環状シール部材の外側の空間を、基板収納空間に連通させる液漏れ経路を形成したドライバ内蔵圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】振動ダイヤフラムの振動でポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、簡単な構造で効果的に脈動の軽減を図る。
【解決手段】脈動軽減ダイヤフラムの表裏の両方を液室とし、この表裏の液室の一方を吸入ポート又は吐出ポートに連通させ、他方を吐出ポート又は吸入ポートに連通させ、脈動軽減ダイヤフラムの表裏に液体を導入して、脈動の軽減を図ったダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムポンプを用いた液循環システムにおいて、ダイヤフラムの振動に伴う脈動（振動）の影響を軽減することができる液循環システムを得る。
【解決手段】ポンプ室の容積変化によって吸入ポートからポンプ室に液体を吸入し、該ポンプ室から吐出ポートに液体を吐出して循環流路に液体を循環させる液循環システムにおいて、ダイヤフラムポンプの吸入ポートと循環流路の間及び吐出ポートと循環流路の間の少なくとも一方に、弾性材料からなる脈動軽減ダイヤフラムを有する脈動軽減室を設け、脈動軽減ダイヤフラムの表裏の液室の一方を、吸入ポートと吐出ポートのいずれか一方に連通させ、他方を該吸入ポートと吐出ポートの他方に連通させた液循環システム。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても圧電素子の駆動電圧の制御を正確に行う。
【解決手段】トランス２と、入力される駆動パルス信号ＤＰＳに基づいてトランス２の１次側で電源電圧Ｖｃｃをスイッチング動作し、２次側に接続されている圧電素子ＰＺに対し、駆動パルス信号ＤＰＳのデューティ比に応じた駆動電圧Ｖｄを印加するスイッチ回路３と、温度検出素子８Ａと、駆動パルス信号ＤＰＳを発生し、温度検出素子８Ａの検出温度に応じてスイッチ回路３を制御し、駆動パルス信号ＤＰＳのデューティ比を変更可能な制御回路（マイクロコンピュータ５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】流体搬送装置の信頼性を向上させること。
【解決手段】流体搬送装置１０は、流入孔１５ａが形成された第１圧力室１１と、第１圧力室１１に連通し、第１圧力室１１に並んで形成され、流出孔１２ａが形成された第２圧力室１２と、が形成された筺体部１３と、第１圧力室１１及び第２圧力室１２を夫々画成し、変位素子により屈曲を繰り返すダイアフラム部１４と、を備える。ダイアフラム部１４の屈曲により第１圧力室１１が拡張するときは、第２圧力室１２が収縮するように、ダイアフラム部１４が筺体部１３に設けられている。 （もっと読む）

【課題】アンブレラタイプの逆止弁であって、低背化及び長期に渡る高いシール性を得ることができる逆止弁を得る。
【解決手段】平面円形のシール部と、このシール部の中心に位置する軸部とを備えた弾性材料からなる弁本体；及び弁本体のシール部が接触するシール面と、このシール面の内側に形成した円形凹部と、この円形凹部の中心に形成した弁体支持孔と、同円形凹部内に位置する流体流通孔とを有する弁座シート；を備え、弁本体の平面円形のシール部は、自由状態において、軸部とともに傘状（円錐状）をなしており、この傘状シール部は、軸部を弁座シートの弁体支持孔に支持したとき、円形凹部内に引き込まれて弾性変形し、その周縁をシール面に面接触させる逆止弁。 （もっと読む）

【課題】ハウジング内に、圧電振動子と、該圧電振動子に対する給電制御用電気部品を搭載した制御基板を収納し、圧電振動子の表裏の一対のポンプ室と単一の吸入ポートとの間、及び一対のポンプ室と単一の吐出ポートとの間にそれぞれ吸入側と吐出側の逆止弁を設けたドライバ内蔵４バルブ圧電ポンプにおいて、ＵＬ規格を満足させた上で、極限までの小型化、薄型化を図る。
【解決手段】
圧電振動子を挟着する挟着面を有する一対のハウジングの一方の一端部に、基準底面と平行な方向に延びる吸入ポートと吐出ポートを突出させ、この有ポートハウジングの挟着面を、吸入ポートと吐出ポートから離れるに従って、基準底面から離れる方向に傾斜、有ポートハウジングに、吸入ポートと吐出ポートの反対側の端部に位置させて、少なくとも一部が圧電振動子及びポンプ室と平面視重複する制御基板の収納空間を形成したドライバ内蔵４バルブ圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】効率よく安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１１０と、外部からポンプ室１１０に液体１０２を吸入するための吸入口３１０と、ポンプ室１１０の内部からポンプ室１１０の外部に液体１０２を吐出する吐出口３２０と、ポンプ室１１０の容積を変化させるための振動板２１０とを備え、ポンプ室１１０は、振動板２１０と、振動板２１０に対向するバルブシート３００の下面３０９と、周壁面とによって形成され、さらに、バルブシート３００の下面３０９と振動板２１０との間に挟まれたゴムパッキン７０１とを備え、ゴムパッキン７０１は、弾性体によって形成されて、ポンプ室１１０の周壁面を形成している。 （もっと読む）

【課題】機械的開閉弁の個数を減らし、圧力損失を減らすとともに信頼性を高め、高負荷圧力に対応し、高周波駆動に対応し、ポンピング一周期当たりの吐出流体体積を増加させ駆動効率の良いポンプを提供する。
【解決手段】ケース７の底部に配置した円形のダイヤフラム５は、外周緑がケースに固定支持されている。ダイヤフラムの底面には、ダイヤフラムを動かすための圧電素子６が配置されている。ダイヤフラムとケースの上壁との間の空間をポンプ室３とし、このポンプ室へ向けて流体抵抗要素である逆止弁４を設けた入口流路１と、ポンプ動作時にポンプ室に連通した出口流路２が開口している。ポンプは、ダイヤフラムのポンプ室容積減少行程における平均変位速度が、ポンプ室及び出口流路の流体固有振動周期Ｔの１／２以下であり、１／１０以上の時間で到達変位位置に到達する速度となるように圧電素子を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】微小構造体の圧電デバイスにおいて、単純な構造で高変位、高トルクを発生可能な機構を備える。
【解決手段】 圧力媒介物質２が充填されてなる圧力媒介室３と、圧力媒介室３の壁面の一部を構成する第１の変位面４ａと、電圧の印加により駆動され、第１の変位面４ａを変位させる圧電素子５と、圧力媒介室３の壁面の他の一部を構成する、第１の変位面４ａの変位に応じて変位する第２の変位面６ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】回路規模が小さくても実用的に十分な精度で圧電素子に対し共振周波数での駆動を行う。
【解決手段】トランス２と、トランス２の１次側に入力される制御信号ＣＳに追従して周波数が変化する駆動信号ＤＳをトランス２の２次側で発生させ、圧電素子ＰＺに印加する駆動回路３と、コントローラ５とを有する。コントローラ５は、制御信号ＣＳの周波数を所定の周波数範囲ＦＲ内で複数回変化させて、当該周波数を変化させるごとに圧電素子ＰＺのインピーダンス変化に応じた検出電位Ｖdetを検出し、検出電位Ｖdetの推移に基づいて圧電素子ＰＺの共振周波数ｆｒを求める。 （もっと読む）

【課題】十分な耐圧性を有してより大量かつ低コストで製造することができるマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供すること。
【解決手段】流入用マイクロバルブ６は、金属板のプレス加工によって形成された弁体１０と、弁体１０が収容される有底の凹部１１が一端１３ａに配され、かつ凹部１１の底部１１Ａから他端１３ｂまで中心軸線ＣＬに沿って貫通する第一微小流路１２が配された金属製のアウトブッシュ(第一円柱部)１３と、中心軸線ＣＬに沿って貫通して第二微小流路１５が配されて、弁体１０とともに凹部１１に圧入された金属製のインブッシュ(第二円柱部)１６と、弁体１０と対向して第二微小流路１５の端部に配された弁座１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子と駆動基板とを同一のハウジング内に収納するとき、良好に駆動基板の発熱要素の発熱を放熱することができるドライバ内蔵圧電ポンプを得る。
【解決手段】ハウジングに、制御基板を収納する基板収納空間と、この基板収納空間内に突出し制御基板をハウジング壁面に押し付ける押圧フィンを形成したドライバ内蔵圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの振動により液体を搬送するように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、目標搬送流量に対応する駆動信号の周波数が、逆止弁の弁効率が良い周波数からずれている場合であっても、逆止弁の貼り付きを発生させることなく目標搬送流量に近い流量で液体を搬送可能とする。
【解決手段】制御ユニットから出力される駆動信号として、液体の吸入吐出時に各逆止弁の弁体の振れ幅が最も大きくなる周波数近傍の周波数ｆ１に設定された第１駆動信号と、この第１駆動信号の周波数ｆ１とは異なる周波数ｆ２に設定された第２駆動信号とが互いに周期的に出力される構成とする。これにより、逆止弁の貼り付きを発生させることなくポンプ駆動を行えるようにする。その際、第２駆動信号の周波数ｆ２を適宜設定することにより、液体の搬送流量を目標搬送流量と略一致させるようにする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムポンプを用いた液循環システムにおいて、空気トラップの機能だけでなく、ダイヤフラムの振動に伴う脈動（振動）の影響を軽減することができる液循環システムを得る。
【解決手段】ポンプ室の容積変化によって吸入ポートからポンプ室に液体を吸入し、該ポンプ室から吐出ポートに液体を吐出して循環流路に液体を循環させる液循環システムにおいて、ダイヤフラムポンプの吸入ポートと循環流路の間及び吐出ポートと循環流路の間にそれぞれ、空気トラップを設けた液循環システム。 （もっと読む）

【課題】薄型で、圧電振動子の圧電体層にクラックや分極の劣化が生じにくい長寿命の圧電ポンプを得る。
【解決手段】周縁を液密に保持した圧電振動子の表裏に、ポンプ室と大気室を形成し、該圧電振動子を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプにおいて、上記圧電振動子は、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有し、かつ、上記シムがポンプ室側に面していて、上記ポンプ室への流体流入路は、ポンプ室からの流体流出路よりも流体抵抗が大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム式エアポンプにおいて、簡素な構造で、かつ省スペースが図られながら、吸気音を効果的に低減させる。
【解決手段】圧電素子９が貼着されたダイヤフラム３をハウジング２で支持し、ハウジング２とダイヤフラム３との間にポンプ室５を形成する。ポンプ室５とは反対側のダイヤフラム３の振動領域を、カバー４で覆って消音室６とする。ダイヤフラム３および圧電素子９を含む振動体７を共振させて撓み振動させ、カバー４に形成した吸気口４５から吸入した空気をポンプ室５で圧縮し、吐出口２３から吐出する。消音室６からポンプ室５に通じる連通孔３１を通過する際に生じる吸気音を消音室６による消音効果で低減する。 （もっと読む）

【課題】振動ダイヤフラムを一対のハウジングで挟着して該振動ダイヤフラムの上下の少なくとも一方にポンプ室を形成し、該ポンプ室と吸入ポートとの間に該吸入ポートから該ポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吸入側逆止弁を設け、上記ポンプ室と吐出ポートとの間に該ポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吐出側逆止弁を設け、振動ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、極めて簡単な構造で脈動の軽減ができるダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】一対のハウジングの間に、振動ダイヤフラムとは平面位置を異ならせて、吸入ポート及び吐出ポートに対応する一対の弾性材料からなる脈動軽減ダイヤフラムを挟着し、かつ、一対のハウジングにそれぞれ、該一対の脈動軽減ダイヤフラムの上下にそれぞれ可変容積の液室と空気室を画成する凹部を形成し、この一対の可変容積の液室をそれぞれ吸入ポート及び吐出ポートに連通させたダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、各種電子機器内のＩＣチップ周辺などを局所的に冷却する冷却性能の優れた電子機器用冷却装置を提供するものである。
【解決手段】 かゝる本発明は、２枚の板状圧電素子１１１と前記両板状圧電素子１１１が固定されると共に、板状圧電素子１１１より長い長さを有する平板状の弾性金属板１１２とからなる圧電ファン部１１０の一端側又は途中を、支持部１３０で片持ち型に支持・固定すると共に、板状圧電素子１１１に交流電圧を印加する交流回路１２０を備えた圧電ファン装置１００Ａにおいて、前記弾性金属板１１２の少なくとも外部に露出する外表面に絶縁層１１２ａを設けた圧電ファン装置にあり、これにより、感電などの危険性がなく、高い安全性が得られ、また、振幅の低下が小さく抑えられる。 （もっと読む）