【課題】さらなる低騒音化を実現することができる噴流発生装置、これを搭載した電子機器、この噴流発生装置に用いられる駆動信号発生装置及び制御装置を提供すること。
【解決手段】図４（Ａ）に示すように、振動板３３の振幅中心と原点位置とがずれている場合、振幅波形２２が、図４（Ｂ）に示すようにサイン波２３となるように駆動波形（基本周波数の信号（以下、基本波信号という。））２０が補正される。補正された補正波信号２１は、基本波信号２０が下方向へ所定のレベルだけレベルシフトした信号である。これにより、振動板３３の原点位置と、振幅中心位置が同じになり、振幅を原点位置に対して対称にすることができる。その結果、流路２ａにおける風速と、流路２ｂにおける風速とがほぼ等しくなるので、両流路２ａ及び２ｂからの騒音レベルがほぼ等しくなり、騒音が低減する。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出特性を安定化する。
【解決手段】互いに積層された上層圧電体３４と下層圧電体３５とを有し、これらの上層圧電体３４と下層圧電体３５の間には駆動電極３３を形成し、上層圧電体３４の表面には共通上電極３６を形成し、下層圧電体３５と振動板２３の間には共通下電極３７を形成した多層構造の圧電素子２６を用い、下層圧電体３５の長手方向両端部を圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成すると共に、上層圧電体３４の長手方向両端部も圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成した。 （もっと読む）

【課題】ポンプ性能及び信頼性を確保しつつ、長寿命化を図れる圧電振動子及び圧電ポンプを得る。
【解決手段】導電性金属薄板からなるシムと、このシム上にシム側電極を介して積層接着された圧電体と、該圧電体のシムとは反対側の面に接着積層した露出側電極とを備え、該シム側電極と露出側電極に交互に正負電位を与えることで振動する圧電振動子において、上記シム側電極を、露出側電極よりも密着強度の高い導電材料で形成した。 （もっと読む）

【課題】差圧の変化に対する流路抵抗の変化割合を利用した双方向送液が可能なマイクロポンプにおいて、例えばマイクロリアクタの流路内において反応に用いる液を下流へ送液する場合のような主方向への送液時における送液速度を早めることができると同時に、いずれの方向に送液する場合であってもポンプ室内における気泡の発生を十分に防止可能な送液方法および送液システムを提供する。
【解決手段】第１流路および、差圧の変化に対する流路抵抗の変化割合が第１流路よりも小さい第２流路が連通する加圧室に接続された振動アクチュエータに対して、第１流路から第２流路に向かう方向へ液体を送液するための第１の駆動電圧波形における電圧の立ち上り時間Ｔ１を、第２流路から第１流路に向かう方向へ液体を送液するための第２の駆動電圧波形における電圧の立ち下り時間Ｔ７よりも短くした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら直線性の良い台形状波形を出力することができ、結果として送液が効率良く小型化が可能となるマイクロポンプ駆動回路を提供する。
【解決手段】圧電素子に台形状の駆動信号を印加することで、圧電素子が変形されて生じる圧力変動により送液が行われるマイクロポンプを駆動するためのマイクロポンプ駆動回路であって、第１のオペアンプの出力端子と反転入力端子との間に接続されるコンデンサ、コンデンサと並列に接続される第１のスイッチ、反転入力端子に接続されるコンデンサの充電を制御するための第２のスイッチを備えた第１の定電流部とコンデンサの放電を制御するための第３のスイッチを備えた第２の定電流部、第１のスイッチと第２のスイッチと第３のスイッチの開閉制御をするためのスイッチ制御部を含む台形状信号発生部と、台形状信号発生部からの出力信号を増幅するための信号増幅部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】より簡易に、安定して動作するマイクロポンプを得る。
【解決手段】マイクロポンプの弁体５４（またはダイアフラム）に接合される駆動体３０は、弁体５４を駆動する力を発生させる圧電体６２と、当該圧電体６２と弁体５４との間に介在する弾性体６０と、を備えている。圧電体６２は、電圧印加により撓みを生じる。この圧電体６２は、弾性体６０の上面に接合されている。弾性体６０は、所定の弾性を備えており、弁体５４を構成する凹部７０に充填されている。この弾性体６０は、圧電体６２から生じた力を、ほぼ平均化された力として弁体５４に伝達する。かかる力を受けた弁体５４は、その最も撓み易い位置、すなわち、弁体５４の略中心を撓み中心として撓む。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと仕切部材とを、容易に、かつポンプ特性のバラツキが生じることなく、十分なシール性をもって固着させることができるダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】仕切板１０の両側に、樹脂ダイヤフラム３１、金属ダイヤフラム３２、圧電素子３３の接合体であるアクチュエータ３０を配置して、各アクチュエータ３０と仕切板１０との間の空間をポンプ室３４として区画し、「２つのアクチュエータ：２つのポンプ室」のダイヤフラムポンプを構成する。仕切板１０に、各ポンプ室３４を連通する吸入側連通路１４ａおよび吐出側連通路１４ｂを形成し、さらにこれら連通路１４ａ，１４ｂから側面方向に延びる吸入流路１５ａおよび吐出流路１５ｂを貫通形成する。ポンプ室３４の周囲において樹脂ダイヤフラム３１を仕切板１０にレーザ溶着して各流路１５ａ，１５ｂに干渉しない封止部４１を形成し、シール性を確保して接合状態を均質なものとする。 （もっと読む）

【課題】高精度に計量された一定微量の液体材料を供給できる、コンパクトな液体材料供給装置を提供する。
【解決手段】上板１１が下板１２に接近するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が減少し、上板１１の変形量に応じた量だけ、吐出路１２ｃから潤滑油が吐出して、軸受１に供給されることとなる。一方、上板１１が下板１２から離隔するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が増大するので、上板１１の変形量に応じた量だけ、供給路１２ｂから潤滑油を吸引することとなる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの製造方法において、安価で、バルブの締切り性能が優れたものとすること。
【解決手段】マイクロポンプ１の製造方法において、バルブダイアフラム１０及びポンプダイアフラム１１を形成したダイアフラム基板１３と２つの貫通穴１４ｂを形成したポート基板１４とを接合した後、液体出入り流路を構成する２つのチューブ１９を、ポート基板１４の２つの貫通穴１４ｂを貫通して微小流路１６内に突出させ、２つのバルブダイアフラム１０、１１で当該チューブ１９の開口が開閉されるように設置してポート基板１４の液体出入り口具３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】振動子とリード線との接続信頼性（耐久性）が高い配線構造を得る。
【解決手段】半田付けに代えて導電性粘着材を用いることに着目する一方、導電性粘着材だけでは接続部の十分な信頼性を得ることが困難であるとの認識に基づき、接続端子と膜状電極とを導電性粘着材により粘着し、かつ、該接続端子上に、該接続端子を膜状電極に押し付ける方向の力を与える押え部材を当接させた。 （もっと読む）

【課題】 長期間に渡り防水性を維持する薄型、高吐出圧力で、且つ温度による流量の変化が少ない屈曲振動子及びダイヤフラム型ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】 電圧を印加することにより、屈曲変位を発生し、前記電圧の時間的変化に応じて屈曲振動する円板状或いは矩形板状といった板状の圧電振動子１６全体を金属薄膜２４ａ，２４ｂで覆い、その際、金属薄膜を圧電振動子の表面に密着させて、且つ圧電振動子の縁部に空隙２６ａが出来るように金属薄膜を圧電振動子の縁部の外側で密封する。 （もっと読む）

【課題】液体搬送する圧電ポンプにおいて、圧電素子の圧電性を損なわず、ポンプ室をシールし、電気絶縁性とポンプ性能を確保する。
【解決手段】圧電ポンプ１は、搬送する液体を吸入及び排出するポンプ室３内に、バイモルフ型圧電素子４１が弾性体４２に埋め込まれた素子モールド品４を備え、バイモルフ型圧電素子４１への交流電圧印加による素子モールド品４の振動によりポンプ動作し、液体搬送する。バイモルフ型圧電素子４１は、低温加硫可能なシリコンゴムにてモールドされるため、圧電性が損なわれない。素子モールド品４の厚肉な周辺部がケーシング２に挟持されることにより、リード線５と半田付け部の突起による応力を分散しつつ、ポンプ室３のシール性及び電気絶縁性が確保される。素子モールド品４の中央部が必要最小限の厚さにモールドされることにより、ポンプ動作の効率低下を軽減し、ポンプ性能が確保される。 （もっと読む）

【課題】 圧電材料素子により振動板を駆動して液体を移送する液体移送装置において、複雑な構成を用いずとも振動板を効率的に変形でき、もって振動板の変形量を効果的に増幅し得る構成を提供する。
【解決手段】 液体移送装置１は、液体が収容される圧力室２１ａを閉じるようにして圧電アクチュエータプレート１０が配されている。この圧電アクチュエータプレート１０は、電界の印加によって面方向に収縮可能に構成される圧電材料層１３と、この圧電材料層１３に対し重なるように接合される振動板１４とを備え、圧電材料層１３は、少なくとも圧力室２１ａの周縁部に配置され、この周縁部よりも中央寄りの内部領域においては、配置されないか、又は周縁部に配置される部分よりも薄肉のものが配置される。 （もっと読む）

【課題】 クロストークを低減する液体移送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 液体を収容した圧力室２１ａを閉じるように流路ユニット２０に接合された振動板１３上に、圧力室２１ａと反対側に窪むように薄肉部１３ａが形成され、振動板１３上に層状に形成された圧電材料層１２が薄肉部１３ａ内に配設されることにより、圧電材料層１２の、圧力室２１ａと反対側にある圧力室２１ａに対応する部分に、凹部１２ａが形成されている。圧電材料層１２の圧力室２１ａと反対側にある圧力室２１ａの側壁に対応する部分Ｒに、所定の剛性を備えた平板状のバックアッププレート２が接合されている。圧電材料層１２の両端面間に電界を印加して、圧電材料層１２の圧力室２１ａに対応する部分を面方向に収縮させることにより圧電アクチュエータプレート１０を圧力室２１ａ側に撓ませ、圧力室２１ａの容積を減少させて液滴を噴射させる。 （もっと読む）

【課題】複数流体の混合比を効率的に均一化させるマイクロ分析システムを提供する。
【解決手段】マイクロポンプに連通させるための流路開口を有するポンプ接続部と、流体が流通する流路とが少なくとも設けられたマイクロ流体チップと、本体とを備えるシステムであり、複数流路から送液されてきた複数の流体が、一合流点で合流しそれより下流の混合流路で混合される場合該複数流路のうち、少なくとも１つの流路からは他流路から送液される流体とは異なる流体が合流点に送液されるときは、混合流路で混合流路内の流路幅方向の中央付近を流れる流体の流量の、混合流路内の流路幅方向の壁際付近を流れる流体の流量に対する、比率を調整することによるか、あるいは混合流路内の流路幅方向の中央付近を流れる流体の混合点へ送液する送液開始タイミングを、その他の流体の混合点へ送液する送液開始タイミングよりも遅らせている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であるとともに、輸送効率が大きく、かつ大流量の輸送が可能な超小型で微小形状のマイクロポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも複数の電極５が同心状に形成された第１の電極部４を有する第１の部材１と、少なくとも第１の電極部４に相対して設けられた第２の電極部６を有する第２の部材２と、少なくとも対向して配置された第１の部材１と第２の部材２間の周囲を所定の間隙に維持し封着する流体の吸入口／吐出口９を有する封着部３と、第１の部材１の第１の電極部４に囲まれた中央部および第２の部材２の第２の電極部６に囲まれた中央部のいずれか一方に形成された吐出口／吸入口８とを備え、第１の電極部４とそれと対向する第２の電極部６間に電圧信号を印加し発生する静電力により流体を同心状に輸送する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 液漏れの生じる可能性の少ない４バルブダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】 順に積層したアッパハウジング、ポンプ室プレート、ダイヤフラム、及びロアハウジングを備え、ロアハウジングには、該ロアハウジング単体に、ダイヤフラムと対向して一方のポンプ室を形成するポンプ室形成凹部と、このポンプ室形成凹部にそれぞれ連通する第一の吸入側逆止弁を有する吸入ポートと第一の吐出側逆止弁を有する吐出ポートとが形成され、ポンプ室プレートには、ダイヤフラムと対向して他方のポンプ室を形成するポンプ室形成凹部と、第二の吸入側逆止弁と第二の吐出側逆止弁とが設けられ、アッパハウジングとポンプ室プレートとの間に、上記ロアハウジングの吸入ポートと吐出ポートから分岐して上記第二の吸入側逆止弁と第二の吐出側逆止弁に連なる板間吸入側流路と板間吐出側流路を形成したダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で微少流量を高精度に制御し、しかも製造が簡単な蠕動型圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】 流入口３０８及び流出口３０９を有する下部基板３０７と、その下部基板３０７に対して外周の環状領域において固定された上部基板３０４と、上部基板３０４の表面に形成された下部電極３０３と、下部電極３０３の表面に固定された圧電体３０２と、圧電体３０２の表面に形成された上部電極３０１ａ〜３０１ｆとから構成され、上部電極３０１ａ〜３０１ｆに所要の電圧を印加することによって、下部基板３０７と上部基板３０４との間にポンプ室を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来のものに比べ構造が簡単化され、小型化されたマイクロポンプ及びマイクロポンプシステムを提供すること。
【解決手段】 本発明のマイクロポンプ１は、流路基板２に、一端部と他端部とを有し内部に液体を貯留する圧力室３が設けられ、前記圧力室３の一端部に液体の流れる向きによって異なる流路抵抗を有する流路４が接続され、前記圧力室の他端部は開放部とされており、前記圧力室３内の液体に対して、前記一端部と他端部間にわたって伝播する圧力波を発生させるアクチュエータ６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）