【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

高真空ポンプ１１が複数のポンピングステージを備え、該ポンピングステージはそれぞれ、少なくとも１つの回転型ロータ要素１、１３、３３と１つの固定ステータ要素とを含む複数の相互に協働する要素を備える。ポンピングステージのうちの少なくとも１つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも１つの要素は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られており、短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内部に無秩序で実質的にランダムに分散されている。短繊維によって強化されたプラスチック材料の使用は、射出成形によって少なくとも１つの要素を作ることを可能にし、また従来の真空ポンプと比べた場合に大幅に削減された生産コストで真空ポンプ１１を製造することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減、および、組み付け作業の効率化を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼３３の少なくとも一段は、周方向に接するように配置された複数の分割固定翼３３ａ，３３ｂで構成され、分割固定翼３３ａ，３３ｂは、周方向に並設された複数の翼ブレード３３０と、該複数の翼ブレード３３０の外周部が連結されて、該複数の翼ブレード３３０を所定位置に位置決めする円弧状のスペーサ部３３２とを備える。その結果、従来のスペーサリングを必要とせず、備品テンスの削減、および、組み付け作業性の向上を図ることができる。さらに、複数の分割固定翼をＯリング４０で互いに結合されているので、結合部における気体の逆流を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】回転体全体の固有振動数を高めて安定した高速回転が行え、高速回転を可能とすることにより、小型化、軽量化ができるターボ真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、複数の回転翼７０、８０と複数の回転翼の各々に対向するように配置された固定翼７１とを有し、吸気部により吸い込まれた気体を排気する排気部５０と、複数の回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、複数の回転翼が、吸い込んだ気体を軸方向に排気する、回転軸の吸気部側端面１５に固定された少なくとも１段の第１のタービン翼７０と、第１のタービン翼の後段に配置された第２のタービン翼８０であって、該第２のタービン翼を貫通する回転軸に固定された少なくとも１段の第２のタービン翼８０を含むターボ真空ポンプとする。 （もっと読む）

【課題】気体分子の逆流を低減して排気性能の向上を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼１１は、複数段の回転翼２１が形成されたロータ２０の外周面を囲むように配置される。各固定翼１１はスペーサ１３により所定間隔に保持され、回転翼２１に対して回転軸方向に交互に配設される。回転翼２１の外周側端面とその外周側端面と対向するスペーサ１３の内周面との間にラビリンス効果を有する手段を備えたことにより、気体分子の逆流を低減され、排気性能が向上する。 （もっと読む）

真空ポンプが駆動シャフトとシーグバーンポンプ機構とを備える。このシーグバーンポンプ機構は、駆動シャフト上に配置されたロータ要素と、駆動シャフトの周囲でありかつロータ要素の近傍に配置された環状のステータ要素とを備え、ステータ要素は、ロータ要素の方向へ延びるとともに複数の螺旋状の流路を定める複数の壁を備える。ステータ要素は複数のセクションを含み、これらのセクションの周囲に配置された弾性部材などの手段によりセクションが互いに接触し、この結果、ステータ要素のセクション間のガスの漏れを防ぐ。弾性部材はまた、ステータのセクション及びポンプ機構の周囲に配置されたケーシング間にシールを形成することもできる。
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真空ポンプが、ハウジングと、軸を中心にハウジングに対して回転するために軸受装置により支持された駆動シャフトと、ハウジング上に装着されたステータ部品及びこのステータ部品に軸方向に近接して駆動シャフト上に装着されたディスク状のロータ部品を含むポンプ機構とを備える。軸受装置が、複数の可撓性部材で連結された内側及び外側環状部分を含む弾性支持体により径方向及び軸方向の両方向に支持された軸受を含むことにより、軸受の内側レースと弾性支持体の外側部分との間に固定関係が存在して、ポンプ機構のロータ部品とステータ部品との間の軸方向の間隙を決定するようになる。
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【課題】ポンプの回転翼を高速で回転させ、かつ高温状態での連続運転を可能にすることによって、多量のガス排気に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ反応副生成物を防止するためにヒートアップ運転が行えるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸込む吸気部１ａと、前記吸い込んだ気体を排気する回転翼５と固定翼８とを有する排気部Ｌと、回転翼を回転させる回転軸４とを備え、回転翼は、回転軸に接続されたボス部１６と、ボス部から軸方向に張り出す円筒部１７ａ、１７ｂとを有し、ボス部と、円筒部とを、多孔性セラミックスとアルミニウム合金とを用いた金属基複合材料で構成するターボ型真空ポンプ１０１Ａとする。 （もっと読む）

本発明は、スチール製シャフト（１４）と、シャフト（１４）によって保持された、シャフトのスチールとは異なる材料から成る一体構造のロータ（１２）とを有する真空ポンプインペラに関する。シャフト（１４）は軸方向中空室（２２）を有しており、ロータ（１２）は軸方向連結部（１６）を有しており、該軸方向連結部（１６）は形状結合及び／又は摩擦結合によってシャフトの中空室（２２）に着座している。
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【課題】本発明は、真空ポンプにより発生した振動のプロセスチャンバ等への伝播を防止するのに好適なダンパ及び真空ポンプを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のダンパは、真空ポンプと連接する第１連結部と、この真空ポンプにより排気される装置と連接する第２連結部と、上記第１連結部と一端が固着され他端が上記第２連結部と固着されたベローズと、上記第１連結部と上記第２連結部との間に挿入された防振部とを有している。この防振部は中空部を有するとともに、この中空部には流動体が充満されている。 （もっと読む）