本発明はロール軸を支持するマグネチック軸受装置に関し、特に永久磁石や電磁石を利用してロール軸を非接触式で支持するマグネチック軸受装置に関する。本発明のロール軸を支持するマグネチック軸受装置は、ロール軸に向かって形成された突出部で磁場を発生する磁石と、上記磁石を一方向に支持する胴部とを含み、上記ロール軸と上記突出部の間に空隙を形成しながら上記ロール軸を支持し、上記突出部の両側はラウンド処理されたことを特徴とする。
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【課題】永久磁石を応用した受動型磁気軸受があるが、特定の小型ターボ分子ポンプに限定されている。その原因は２つあり、１）被支持体（ロータ）のパラメータ（重量、重心位置、慣性モーメント、慣性モーメント比、定常回転数、構造体の共振周波数等）の変更に対して自在に対応できず、異なる被支持体に対して、個別に磁気軸受の設計が必要となる、２）ロータの振れ回り現象への減衰能を大きくすることが困難。１）と２）を解消することが、受動型磁気軸受を利用する製品を拡大する課題となる。
【解決手段】上記１）、ある基本となる磁気軸受ユニットを基準にし、それに径方向受動型磁気軸受を被支持体のパラメータの変化に応じて設定付加してゆく磁気軸受システムとする。上記２）、径方向受動型磁気軸受に受動ダンパーを付加するとともに、高真空や高温環境での応用製品に対しても使用可能な金属ファイバーを利用した受動ダンパーを付加して対応する。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】最小の動力を消費し、機械の運転効率を増加し、軸受の寸法を最小にし、運転寿命を伸ばするために、機械スラスト軸受上の荷重を減少する制御された電磁力を有すること。
【解決手段】軸受システムの磁気スラスト補償装置は、平行な第１のステータ延長部７２、７４と、該第１のステータ延長部７２、７４の間で前記軸に設けられた第１のローターディスク６８と、磁気材料ステータ延長部５８とを備え、第１のローターディスク６８と第１のステータ延長部７２、７４との間の最大距離がスプリングの最大ゆがみ距離よりも小さく、第１のステータ延長部７２、７４の一方にそれぞれ設けられた第１及び第２電磁石７８、７９と、第１及び第２電磁石７８、７９に流れる電流を制御する制御装置３０と、磁気材料ステータ延長部５８は、機械スラスト軸受の最大過渡荷重定格を越えないことを補償するに十分な大きさの一定のバイアス力を生じる永久磁石６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器への振動の伝達をより小さくし、この場合、簡単且つコスト的に有利でしかも従来の欠点を回避する、磁気軸受を備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１つの能動型（制御型）磁気軸受を有する真空ポンプを備えた装置に関するものである。真空ポンプから容器へ伝達される振動を低減させるために、前記装置に切換手段を設けることが提案される。一方法においては、磁気バイアスが、この切換手段の関数として、磁気バイアス電流の変化により低下されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】転がり軸受の長期耐久性を向上させること。
【解決手段】磁気軸受の電磁石１７は、スラスト板１３ａに非接触で対向するように、ハウジング１４に取付けられる。翼車６ａ、７ａは、前記スラスト板１３ａと共通の主軸１３に嵌合し、タービン側翼車７ａで発生した動力により、コンプレッサ側翼車６ａを駆動させる。転がり軸受１５，１６とこの転がり軸受の支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大という関係に設定される。コンプレッサ翼車６ａとコンプレッサ側の転がり軸受１５との間、またはタービン翼車７ａとタービン側の転がり軸受１６との間には、フランジ部４３ａ，４５ａを有する円筒状の軸受押え部材４３，４５が配置される。コンプレッサ側ケーシング６ｂまたはタービン側ケーシング７ｂには、前記フランジ部４３ａ，４５ａと干渉して主軸１３の軸方向移動を規制するリング状の部材４４，４６が配置される。 （もっと読む）

簡単な構成で冷却効果が大きい磁気軸受装置を得るため、回転軸１の後部外径に後方向に空気流を形成するフィン１５を設けると共に、このフィン１５が回転することにより生成される空気流を圧縮された渦流に変換し且つ軸方向に貫通穴を有するジェネレータ１６を、フィン１５と適当な隙間を隔てて固定し、さらにこのジェネレータ１６の後方側に内径がジェネレータ１６の貫通穴１９の直径よりも大きく且つ後方端にコントロールバルブ２１を有するチューブ２０を備える構成として、回転軸１の駆動力で冷却風を生成するようにし、また、回転軸１内部には、冷却風を通過させるための軸方向に貫通する冷却風流通路２２を形成した。
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