磁気軸受装置および係る装置の操作方法を提供する。該装置は電磁アクチュエータ（４１１、４１２、４１３、４１４）のグループ（４１０）からなる。各アクチュエータは増幅ユニット（７０１）に電気的に接続される。第一のサブグループのアクチュエータは第一の共通ノード（６０８）に接続され、第二のサブグループのアクチュエータは第二の共通ノード（６０９）に接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は直接または追加アクチュエータのような手段により接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は増幅ユニットとの追加電気接続を行わないのが好ましい。本発明の特別実施形態によれば、アクチュエータの各サブグループは１つの単一アクチュエータのみからなり、共通ノードは増幅器との電気接続が行われる。このように、該装置は直列構成でＨ−ブリッジに接続された２つのアクチュエータからなる。共通ノードは２種類の電圧のどちらに接続してもよい。本発明により、ワイヤーの負荷要求を増やすことなく簡易配線が可能となる。 （もっと読む）

位置の自動検出を行なう能動型磁気ベアリング（１００）であって、このベアリングは、強磁性体（１１０）の両側に配置されている、固定子を形成する対向している少なくとも第１及び第２の電磁石を有し、強磁性体（１１０）は、回転子を形成し、複数の電磁石の間に接触しないで保持される。第１及び第２の電磁石は、各々、第１の強磁性材料により本質的に構成され強磁性体とエアギャップを規定するように協働する磁気回路（１２１；１３１）と、電力増幅器から電力供給される励起コイル（１２２；１３２）とを有し、この電力増幅器の入力電流は、第１及び第２の電磁石の磁気回路に対する強磁性体の位置に応じてサーボ制御される。この強磁性体（１１０）の位置は、システムの閉ループ通過帯域よりも大きな周波数の正弦波電流を両方の対向する電磁石に同時に流すことに応じて２つの前記電磁石（１２０、１３０）の間で検出されるインダクタンスから測定される。
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再生ポンプ機構は、一方の側に環状列に位置決めされた一連のブレードを有するロータと、ブレードが回転する環状チャンネルを有するステータと、を含む。ロータとステータの間の軸方向クリアランスを制御するために、アキシャル磁気軸受がロータとステータの間の相対的な軸方向移動を積極的に制御する。これは、ポンプ機構に、ラジアルシールとは全く異なって、ロータとステータの間の制御可能なアキシャルシールを提供することができる。
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能動の磁気ベアリングを有するターボ分子真空ポンプは、主真空チャンバを規定している容器と、ロータと、電気モータと、アキシャル磁気ベアリングと、ラジアル磁気ベアリングと、軸方向検出器と、径方向検出器とを有している。前記電気モータと、前記アキシャル磁気ベアリングと、前記ラジアル磁気ベアリングとに関連付けられ、離れた外部の電気回路は、電源回路を代表的に有している。前記軸方向検出器と前記径方向検出器とによって出力される信号から、前記アキシャル磁気ベアリングと前記ラジアル磁気ベアリングを制御するための回路が、所定の樹脂中に埋め込まれ、主真空チャンバ内で前記容器中に位置されている。気密で耐漏洩の電気コネクタと、前記離れた外部の電気回路との接続を与えている前記電気ケーブルとは、各々が、１０本未満の複数の接続電線を有している。
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