【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつ磁気軸受を正確に制御できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３のアキシアル方向の力を検出する力検出センサユニット１８の出力に応じて、コントローラ１９で制御される。前記力検出センサユニット１８は、転がり軸受１６の外輪１６ｂの両端面を挟み込んだ一対のリング状のセンサターゲット３１，３２と、これら各センサターゲット３１，３２を支持する一対の板ばね３３，３４と、前記センサターゲット３１，３２に対するギャップを検出するギャップセンサ３５とで構成される。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、簡単かつ安価な構成で磁気軸受を正確に制御できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３のアキシアル方向の力を検出する力検出センサユニット１８の出力に応じて、コントローラ１９で制御される。前記力検出センサユニット１８は、転がり軸受１６の外輪１６ｂの両端面を挟み込んだ一対のリング状のセンサターゲット３１，３２と、一対の板ばね３３，３４と、ギャップセンサ３５とで構成される。 （もっと読む）

【課題】隣り合うステータコアの永久磁石を共有化することでバイアス磁束を強化するとともに、小型化を実現するハイブリッド型磁気軸受を提供する。
【解決手段】複数の電磁石と永久磁石の磁気力を制御して非接触状態で支持する支持対象物を有するハイブリッド型磁気軸受であって、支持対象物を挟んで軸方向に対向する第１の突極と第２の突極を両端部に配設する軸受コアを、支持対象物を挟んで径方向に対向するように配設し、軸受コアに電磁石用コイルを巻着するとともに、軸受コアを挟んで配設する永久磁石の磁極を同一に配設するハイブリッド型磁気軸受である。 （もっと読む）

【課題】軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつモータロータの回転位相検出器の配線の簡略化とステータのコイル形状の最適化を提供する。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置において、電磁石１７は、主軸１３に設けられた強磁性体からなるスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取り付けられる。モータロータ２３ａは、前記スラスト板１３ａ，１３ｂと共通の主軸１３に設けられ、前記モータロータ２３ａと対向するようにモータステータ２３ｂが配置され、主軸１３を回転させる。モータロータの回転位相検出器を１個または２個設け、出力状態の切り替わる間隔を計測して、ステータコイルが回転磁界を発生するためのコイル電流印加タイミングを演算する演算器を設ける。この演算器の出力するコイル電流印加タイミングの信号に従ってステータコイル２３ｂａに電流を印加させるパワー回路を設ける。 （もっと読む）

【課題】 消費電力削減を目的としたバイアス電流を用いない線形化を行い、ジャイロ効果の影響による安定性の劣化を抑制できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、消費電力削減を目的としたゼロバイアス線形制御を行う磁気軸受装置において、ジャイロ効果の影響による不安定を抑制するために、運動方程式に回転周波数に依存する項を付加した線形パラメータ変動システムを含んでおり、凸補間した制御器を予め複数用意しておき、回転周波数によって前記制御器を切り替えるゲインスケジュール制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつ主軸を高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。スラスト板１３ａ，１３ｂは軸方向に離れて２つ設けられ、これら２つのスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう一方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。この永久磁石２８ａａに挟まれるようにモータステータ２８ｂが配置される。モータ２８は、アキシアルギャップ型のコアレスモータである。主軸１３は、２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂの間で２分割され、両主軸分割体が互いに結合されたものとする。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつモータ効率を向上させることができるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、スピンドルハウジング１４に取付けられる。モータロータ２８ａとモータステータ２８ｂ間の角度位相を検出するセンサと、モータ駆動電流位相調整手段とが設けられ、モータロータ２８ａが前記設定回転数で回転する状態で、モータロータ２８ａの永久磁石２８ａａの中心がモータステータ２８ｂの発生する磁束の中心を通過するときにモータコイル２８ｂａの電流値が最大となるように前記電流印加の開始のタイミングを決定する。 （もっと読む）

【課題】 磁気軸受使用装置を分解せずに回転体の異常を判定することにより、磁気軸受使用装置の稼働中であっても日常的に点検を実施することを可能とし、安全性および信頼性を向上させるとともに、メンテナンス費用を削減することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 変位センサ8の出力に基づいて磁気軸受5,6,7の電磁石を制御するＤＳＰ17は、磁気軸受5,6,7に支持された状態の回転体4の周波数特性を求める周波数解析手段38と、回転体4の正常時の周波数特性Ｆ_０を蓄える基準周波数特性記憶手段としてのフラッシュメモリ19と、点検のため周波数解析手段38によって周波数特性Ｆを求めこれとフラッシュメモリ19に蓄えられた周波数特性Ｆ_０とを比較してその差が所定値より大きい場合に異常と判定する異常判定手段39とを有している。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受装置において、センサ信号を信号処理する信号処理回路の回路規模やコストを低減する。
【解決手段】磁気軸受装置１は、回転翼が形成されたロータの回転により吸排気を行う真空ポンプにおいて、ロータを回転支持する回転軸と、この回転軸を回転駆動するモータとを備え、ロータをステータに対して非接触支持する磁気浮上部と、モータの磁極位置を検出するための回転検出部と、ロータの温度を検出するためのロータ温度検出部と、これら磁気浮上部と回転検出部とロータ温度検出部が備える各センサに搬送波を供給する搬送波生成部と、各センサが出力するセンサ信号を搬送波に同期してサンプリングするＡ／Ｄ変換部を備える。磁気浮上部、回転検出部、及びロータ温度検出部が備える各センサは、共通の搬送波生成部が生成する搬送波の供給を受けることにより、各センサ出力信号である各ＡＭ変調波間の位相上の対応関係を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】ミル又は分級機のような方法技術的な機械から成る装置であって、クリーンルーム運転、グローブボックス運転、ＳＩＰ運転又はＣＩＰ運転及びこれらの組合せにおけるすべての要求に対応し、製品室と周囲との間に回転貫通部を有していない装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのミル又は分級機から成る装置であって、作業室内において回転する作業部分と、軸受装置と、駆動装置と、すべての装置構成部材に共通な外部に向かってシール作用を有するカプセル体とが設けられている形式のものにおいて、すべての装置構成部材に共通の外部に向かってシール作用を有するカプセル体が、回転貫通部を有しておらず、回転する作業部分が磁気軸受スピンドル駆動装置によって支承されかつ駆動される。 （もっと読む）

【課題】ダンパ効果を向上させることができ、さらにダンパ効果を回転体に加わる外乱に応じて調整することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】固定子側軸受磁極６、７の溝に電磁石巻線１２、１３を挿入し、回転子側軸受磁極２と固定子側軸受磁極６、７との間にダンパ用電極部材１６、１７を配置し、回転体１の半径方向への振動が生じたときに、電磁石巻線１２、１３に流す電流の直流成分を増加させるとともに、電磁石巻線１２、１３に流す電流に交流電流成分を重畳する。 （もっと読む）

【課題】 高速回転での使用に有利でしかも耐久性に優れている燃料電池用圧縮機を提供する。
【解決手段】 燃料電池用圧縮機1の回転軸13を支持する軸受装置14は、回転軸13に同心状に設けられて回転軸13を径方向から支持する１対のラジアルフォイル軸受21,22と、回転軸13にアキシアル方向から対向させられて回転軸13をアキシアル方向から支持するアキシアル磁気軸受23とを備えている。制御装置61は、回転軸13の最低回転速度をラジアルフォイル軸受21,22の浮上回転速度よりも大きい値とする回転速度決定手段と、回転軸13の回転速度を回転センサ36で検出して最低回転速度以上に維持する最低回転速度維持手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】 保護軸受の交換時期を正確に判断できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、電動モータ9により回転させられる回転体4を電磁石の磁気吸引力によりアキシアル方向およびラジアル方向に非接触支持する制御型磁気軸受5,6,7と、ダッチダウン用の保護軸受と、磁気軸受5,6,7の電磁石および電動モータ9を制御する制御手段2とを備え、制御手段2が、回転体4のタッチダウン回数をカウントして記憶するカウント手段と、記憶されたタッチダウン回数カウント値に基づいて保護軸受が交換時期に達したかどうかを判定する交換時期判定手段とを備えている。カウント手段が、回転体4の回転数が所定回転数以上であって、所定時間内において回転体4の変位が所定の異常検出値以上である割合が所定割合以上であるときに、回転体4がタッチダウンしたと判断する。 （もっと読む）

【課題】 浮上基準位置と浮上位置とのずれが継続した場合でも積分要素のオーバーフローが防止される磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 複数対の電磁石により回転体5がアキシアル制御軸方向およびラジアル制御軸方向に非接触支持される。磁気軸受装置は、各制御軸方向について、回転体の位置を検出して位置検出信号を出力する位置検出手段、浮上基準位置信号を出力する浮上基準位置信号出力手段、浮上基準位置信号および位置検出信号に基づいて少なくとも積分出力を含む電磁石制御信号を出力する電磁石制御信号出力手段、ならびに上記電磁石制御信号に基づいて上記電磁石を駆動する電磁石駆動手段を備えている。電磁石制御信号出力手段は、浮上基準位置信号と位置検出信号との差が所定値以下の場合に積分入力をゼロとする積分入力制限手段と、積分出力を所定値以下に制限する積分出力制限手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】 回転体の剛体モードの共振点通過時の触れ回りを低減して、それによる不具合の発生を防止できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、電動モータ9により回転させられる回転体4を電磁石の磁気吸引力によりラジアル方向に非接触支持する制御型ラジアル磁気軸受6,7と、回転体4のラジアル方向の変位を検出するラジアル変位検出装置と、ラジアル磁気軸受6,7の電磁石および電動モータ9を制御する制御装置2とを備えている。制御装置2は、回転体4の加減速中、回転体4の剛体モード共振点を含む所定の回転数領域において、電動モータ9の電流を減少させる。 （もっと読む）

【課題】 工具の振れ回り量を高精度で測定することができる工作機械用磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受制御装置は、工具ドレス時に求められた位相−変位波形を浮上目標位置とすることによって加工中の工具のラジアル方向の振れ回り量をゼロとする振れ回り制御手段12を備えている。 （もっと読む）

【課題】プロセスガスと接触し、かつ耐漏洩性の密閉体内に位置されたロータ（１２０）を有する回転マシンに与えられるジャケット付き駆動磁気ベアリング
【解決手段】磁気ステータが、ベアリングのこのステータに取着され、かつ耐漏洩性の密閉体の一部分を構成している耐腐食性の磁性体の第１のジャケット（１５１）により保護されている。また、検出器のステータは、この検出器のステータに取着され、かつ耐漏洩性の密閉体の一部分を構成している耐腐食性の非磁性体の第２のジャケット（１５２）により保護されている。ベアリングのアーマチュア（１２１）と検出器のアーマチュア（１２２）とは、第１のジャケット（１５１）のものと同一の磁性のラミネートで形成されることができる。 （もっと読む）

【課題】軸受の潤滑媒体が作動流体の蒸気に混入して生じる圧縮機翼のエロージョンの発生を抑制し、熱利用設備へ直接供給可能な高純度な蒸気を生成して、信頼性に優れたヒートポンプ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】水蒸気を作動流体とし水蒸気を圧縮するターボ式の圧縮機（１段圧縮機３３，２段圧縮機３２）、熱源から熱を回収して液水を蒸発させ水蒸気を生成する蒸発器４２とを備えたヒートポンプ装置であって、圧縮機の回転軸の軸受を磁気軸受（第１磁気軸受１，第２磁気軸受２）とする。 （もっと読む）

【課題】構造体（２０）にロータ（１０）を磁気的に浮上させるための装置
【解決手段】この装置は、アーマチュア（１１）に面して位置された負荷支持面（４５，４６）を有する第１のステータ（４２）内に配設された主電磁コイル（４３）を備えた少なくとも１つの駆動アキシアル磁気ベアリング（４０）を有している。ロータの軸方向の位置を検出するためのディバイス（３５）が、主電磁コイルを流れる電流をサーボ制御するための回路と関連付けられている。補償コイル（４７）が、主電磁コイル近くで、前記負荷支持面から離れた位置に配設されている。この補償コイルは、主電磁コイルと直列に接続されているが、主電磁コイルを流れる電流とは反対の方向に電流が流れる。この装置は、磁気漏れを起こすことなく、最も好ましい容量のアキシアルベアリングを構成している。 （もっと読む）

【課題】非接触にて、ガイドレールに沿ったステージの移動を可能とし、磨耗による定期的なボールの交換を不要にして、メンテナンスを容易にするレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザー発振装置と、被処理物を配置させるステージと、レーザー発振装置から出力されたレーザー光を、被処理物において線状となるように加工する光学系と、レーザー光のビームスポットが、被処理物の特定の位置を走査するように、レーザー光のビームスポットとステージとの相対的な位置を制御する位置制御手段と、を有し、位置制御手段は、スライダと、スライダを貫通して設けられたロッドと、を有し、記スライダは磁場を発生させる機能を有し、ロッドと非接触で移動することができる。 （もっと読む）