【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ（１）は、固定体（２）と可動体（３）とを備え、可動体（３）は、該可動体（３）と固定体（２）との間の隙間（４）に供給される流体を介して固定体（２）に沿って相対移動可能である。固定体（２）および可動体（３）の一方は、隙間（４）に供給される流体が通過する貫通孔（５）を有する。貫通孔（５）の少なくとも一部は、隙間（４）における流体の圧力に応じて径が変化する。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】ベアリング剛性を高める方を優先するかエア消費流量を優先させるかに応じて、エア供給様式が変更されるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング（４８）には少なくとも２個のエア供給路（６５）が配設されており、ベアリングシャフト（５０）に配設される複数個のベアリング領域（５８）の幾つかはエア供給路（６５）の一方に接続され、複数個のベアリング領域（５８）の他の幾つかはエア供給路（６５）の他方に接続されている。エア供給路（６５）の各々は夫々別個の連通制御弁手段（５５）を介して圧縮エア供給源（５６）に接続されている （もっと読む）

【課題】流体を殆ど消費せず、優れた体積効率を呈し、比較的コンパクトで、ロータを所定位置に保持する界面での摩耗がなく長寿命で、高速での作動に適したターボマシンを提供する。
【解決手段】ロータが半径方向所定位置にあることを確保する半径方向位置決め手段（４０、４２；２４０、２４２；３４０、３４２）と、高速時にロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）の軸線方向バランスをとるための、少なくとも１つのブレード形ホイールに配置された非接触軸線方向バランシング装置（３８）とを有する、ロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）およびステータ（１０Ｓ）が設けられたターボマシン（１０、２１０、３１０）。ターボマシンは、半径方向位置決め手段（４０、４２；１４０、１４２）とは別のスラストベアリング（３６、１３６）を有し、スラストベアリングは、低速時にロータを軸線方向にバランスさせ、高速時には非接触でロータを軸線方向にバランスさせる。 （もっと読む）

【課題】単独で、被保持物を平面内で移動可能に吊下保持することのできる移動保持機構（エアベアリング）を提供すること。
【解決手段】被保持物２を平面内で移動可能に保持する移動保持機構において、該移動保持機構は、シャフト４の先端に球面軸受５を有し、球面軸受５はハウジング６に設けられ、ハウジング６内に、永久磁石７と消磁コイル８、または電磁石を設け、ハウジング６の下面にはエアを吹き出すエア吹き出し孔１１が設けられ、被保持物２をハウジング６下面に吊下した状態で移動可能に保持することを特徴とする移動保持機構である。 （もっと読む）

ガイドレール（１）に静圧で支えたガイドキャリッジ（２）を有し、ガイドキャリッジ（２）がガイドレール（１）に面した側に、作動油を働かせるための複数個の圧力ポケット（９）を備えており、圧力ポケット（９）の圧力を調整するために、圧力ポケット（９）への体積流量の調整のためのスロットル（１１）が設けられ、ガイドキャリッジ（１）に組込み部材として形成されたスロットル（１１）が各圧力ポケット（９）ごとに設けられている静圧異形レールガイド。
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【課題】 軸受部品の加工費用が高額にならず、目詰まりによる調整が不要である静圧軸受を提供する。
【解決手段】 静圧軸受１は、ラジアル軸受部３とスラスト軸受部４とを軸線方向に連結させた構成を有し、各軸受部３，４には、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂを２つ近接させたオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂが形成されている。１つのオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ内でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの配置間隔は、隣り合う他のオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ同士の間でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂ間の距離よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。 （もっと読む）