【課題】流体軸受けの流体軸受皿の底部や内外周方向にも潤滑油などの流体が確実に流れるようにして、流体軸受皿の底や内外周方向での流体の滞留をなくすとともに流体軸受皿の底に沈降する不純物を除去して清浄な流体とし、長期間にわたり流体軸受けとしての機能を確保して円滑な回転を可能とする平面ラップ／ポリッシュ盤を提供する。
【解決手段】流体軸受皿５の溝部内の下側軸受面５１に隣接する内周側底面部５２に内周側回収孔２７を、また、外周側底面部５３に外周側回収孔２８を設け、これら内周側回収孔２７と外周側回収孔２８との間をバイパス回路２９により内外で連通させて外周側への偏在をなくし、また、流体軸受皿５内に沈降する不純物を含む流体を回収するような平面ラップ／ポリッシュ盤とした。 （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】インペラをスムーズに回転起動させることが可能な小型の遠心式ポンプ装置を提供する。
【解決手段】この遠心式血液ポンプ装置は、血液室７内に設けられたインペラ１０と、インペラ１０の一方面に設けられた永久磁石１５と、血液室７の内壁に設けられた永久磁石１６と、インペラ１０の他方面に設けられた永久磁石１７と、モータ室８内に設けられ、隔壁６を介してインペラ１０を回転駆動させる磁性体１８およびコイル２０とを備える。各隣接する２つの磁性体１８の互いに対向する面を略平行に設ける。インペラ１０に対向する隔壁６および血液室７の内壁にそれぞれ動圧溝２１，２２を形成する。したがって、コイル電流を制御することにより、インペラ１０をスムーズに回転起動させることができる。 （もっと読む）

軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第１および第２の構成要素を有し、それらは第１および第２のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面が、第１の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第２のアキシャルすべり軸受表面は、第１の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
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【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸１と、スリーブ３、４と、ハウジング２とを備える。スリーブ３は、回転軸１の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング２は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ３、４および回転軸１を保持する。回転軸１では、ハウジング２の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞１ｂが形成される。回転軸１の側面に、回転軸１の側面を周回する円周溝１ａが形成されている。回転軸１では、円周溝１ａと空洞１ｂとを繋ぐ連通孔１ｃが形成されている。スリーブ３、４およびハウジング２には、円周溝１ａに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路２ｂが形成されている。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

【課題】できるだけ低い静圧でより多くの負荷に耐えること。
【解決手段】このピストン装置が備えるピストン２０は、内部に気体を蓄える蓄圧室を備えている。蓄圧室内に蓄えられた気体は、ピストン２０の側周部２０ｓｃに設けられた給気孔２７からピストン２０とシリンダとの間に流出する。また、ピストン２０の側周部２０ｓｃには、圧力漏れ抑制手段として、複数の溝からなる凹部２８と、ピストン２０の頂部側端部２０ｔｔ又はピストン２０の裾側端部２０ｓｔに開口する開口部２９ｏを有する動圧発生手段２９とが設けられる。 （もっと読む）