【課題】コンパクト化を実現したスライドレールと、このスライドレールを備えるアクチュエータを提供する。
【解決手段】スライドレール１０は、固定部材に取り付けられる固定側レール１１と、固定部材に対してスライド移動する移動部材に取り付けられる移動側レール１２と、固定側レール１１及び移動側レール１２のそれぞれに設けられた転動体転走面１１ｂ，１２ｂの転走面間に転動自在に介装される複数の転動体１３と、複数の転動体１３を転走面間内で転動自在に保持する転動体保持器１４と、を備えており、端面側から見た場合の外郭形状が円弧形状を含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】長ストロークにも対応可能な、上面カバーと接触する虞の無いコンパクトかつ低コストの可動子を設けた直動案内軸受装置を提供する。
【解決手段】固定子側の可動子ストローク両端近傍で支持する上面カバー５を磁性体とし、直動案内軸受装置の軸方向と垂直な断面において、上面カバー５をその上下左右の内周四面で包囲する可動子４のうち、上面カバー５の上側面と対向する可動子４の内周下面に永久磁石１０を備え、その磁力により上面カバー５を反重力方向に吸引することで、長ストロークの直動案内軸受装置に適用した場合でも、上面カバー５と接触する虞の無い可動子４を設ける。 （もっと読む）

【課題】手動ステージを土台に固定する締結具が機械振動などにより緩むことを防止する手動ステージ用ベース板を提供する。
【解決手段】精密機器が取付けられる摺動部品と、土台７に固定されるベース板１が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板１において、ベース板１の裏面には、凹状箱部２が設けられ、凹部の内部に直方体の磁石５、弾性体、又は粘弾性材が収納される。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で基板等を搬送する際に、搬送機構によるパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】真空チャンバ２内に移動可能に配置され、被搬送物（基板２０）を支持、搬送する支持体５と、チャンバ外から支持体５に磁力を介して運動伝達する磁気運動伝達機構を備える。真空雰囲気のチャンバ内においてローラや歯車などの回転体を用いず、磁気運動伝達することができ、搬送時のパーティクルを極力少なくする効果がある。さらに、チャンバ外への無駄な設置面積を必要としない。また、磁気運動伝達機構と回転機構を併用することにより、基板の受渡し、搬送時に任意の角度を設定でき、装置設計時の自由度が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】汎用のリニアスケールを使用した上でリニアスケールを容易に交換することができるスケール付運動案内装置を提供する。
【解決手段】運動案内装置は、長手方向に伸びる転動体転走溝１ａを有する軌道部材１と、転動体転走溝１ａに対向する負荷転動体転走溝２ａを含む転動体循環路を有し、軌道部材１に相対的に運動可能に組み付けられる移動部材２と、転動体循環路に収容される複数の転動体７と、を備える。運動案内装置の軌道レール１に、磁石１２を用いてリニアスケール４を着脱可能に取り付ける。リニアスケール４は、読取りヘッド３と組み合わされて、位置を検出するためのエンコーダを構成する。 （もっと読む）

【課題】潤滑油を供給することがなく、メンテナンスフリーで環境にやさしい、静寂なリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】正面視で左右面に凸状Ｖ字形の案内面１ａ，１ａを有する案内レール１と、左右面に凹状Ｖ字形の案内面２ａ，２ａを有し、案内レール１に遊嵌されたスライダ２と、を構えたリニアガイド装置１０において、案内レール１の左右面の凸状Ｖ字形の案内面１ａ，１ａのそれぞれの傾斜面に第１永久磁石３が配設され、スライダ２の左右面の凹状Ｖ字形の案内面２ａ，２ａのそれぞれの傾斜面に第２永久磁石４が配設されたことを特徴とするリニアガイド装置１０である。 （もっと読む）

【課題】安定した摺動作動が可能で、摺動動作中の摩擦が少ない携帯型電子機器用の摺動構造体を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのガイド部を備えた第１スライダ部材と、ガイド部と摺動自在に組み合わされる収容部を備えた第２スライダ部材と、ガイド部に沿ってその間に取り付けられた第１磁石部と、互いに対向するように離隔して収容部に取り付けられた一対の第２磁石部とを備え、第１磁石部及び一対の第２磁石部の間に斥力が作用するように、第１磁石部を、一対の第２磁石部の間に配置して、第１スライダ部材及び第２スライダ部材の相対的な摺動動作をしやすくする携帯型電子機器用の摺動構造体。 （もっと読む）

【課題】転がり装置のコロに発生する競い合いを解消するため負荷領域内の転動体に隙間を設ける。
【解決手段】コロにコロ外径よりも小径の段部を設け、転送溝の一部分についてこの段部上を公転させて公転量を減少させてコロ同士を当接、もしくは近接させた後、コロ外径部を転送溝に当接、公転させることにより、公転量を増加させて負荷領域に進入するコロの間に隙間を生成させる。 （もっと読む）