【課題】潤滑性能に優れ、長期間に渡って直動案内装置の摺動部または転動部の潤滑を良好な状態に保つことができる潤滑剤供給材、および、これを用いた直動案内装置を提供する。
【解決手段】案内レール１上に配置され該案内レール１上を直線移動するスライダ２を備えてなる直動案内装置において、該スライダ２の移動方向の少なくとも一方の端部に、案内レール１に接触して配設される潤滑剤供給材であって、該潤滑剤供給材は、樹脂成分および潤滑成分を必須成分とし、樹脂成分を発泡・硬化して多孔質化した固形物であり、かつ上記潤滑成分を樹脂内部に吸蔵してなり、上記樹脂成分がゴム状弾性を有する樹脂またはゴムからなり、外力による変形により潤滑成分の滲出性を有し、上記樹脂成分の発泡倍率が、1.1〜100 倍である。 （もっと読む）

【課題】 この直動案内ユニットは，多量の異物が発生するように厳しい作業環境でも，スライダと軌道レールとの間を高密封シール装置で完全に密封し，異物が軌道レール上を摺動するスライダの端部から侵入するのを防止する。
【解決手段】この直動案内ユニットは，軌道レールを摺動するスライダに高密封シール装置３Ａを取り付ける。高密封シール装置３Ａは，ホルダケース２１の収容部３５に配設されたシールプレート２０Ａ，潤滑供給プレート６０Ａ，及びそれらに接する潤滑供給部材７０，並びにホルダケース２１の開口部を封鎖する封止プレート９から構成されている。潤滑供給部材７０は，シールプレート２０Ａと潤滑供給プレート６０Ａとの空孔部６８，６９に嵌挿され，それらに潤滑油を適正に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造と潤滑剤補給の手間の軽減とが両立されたリニアガイド用潤滑剤供給部材を提供する。
【解決手段】潤滑剤供給部材１を、潤滑剤塗布体１１と、潤滑剤含有体１２を入れたケース１３と、箱体１４とで構成する。箱体１４の脚部１４１に凹部１４１ａを設けて、ここに潤滑剤塗布体１１を配置する。箱体１４の水平部１４２に、ケース１３を出し入れする穴１４２ａを設ける。凹部１４１ａの上部に穴１４２ａと通じる穴１４１ｂを設けて、この穴１４１ｂで、潤滑剤塗布体１１と潤滑剤含有体１２を接触させる。 （もっと読む）

【課題】 この直動案内ユニットは，リターン路を形成するパイプの剛性をアップし，リターン路を転走する転動体に潤滑剤を安定して供給し，メンテナンスフリーを実現する。【解決手段】 リターン路１０を形成するパイプ６は，ローラ５を案内するパイプ本体７とローラ５に潤滑剤を供給する多孔質成形体８から構成され，パイプ本体７は，両端部２１，及び端部２１間に位置する柱部１９と可撓柱部２５を備えている。可撓柱部２５は，両端にそれぞれ位置する緩衝部２７，及び緩衝部２７間に位置してローラ５のリターン路１０の転走に対応して撓み可能な可撓部３４とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 この直動案内ユニットは，潤滑のメンテナンスフリーを達成し，小形で高負荷容量であって摺動を滑らかにして高速摺動を達成し，高タクトヘの対応を可能にする。
【解決手段】リターン路１０は軌道路４０の位置よりも斜め上部の位置に形成され，リターン路１０と軌道路４０との間の距離Ｓが転動体５の直径の２倍以下に形成され，エンドキャップ４にはケーシング３側の面より突出してリターン路１０への接続する部分になるリターン路１０の端部部分を形成する接続管２７が一体構造に形成され，エンドキャップ４に形成された給油口２０から延びる給油路５４は接続管２７に開口している。 （もっと読む）

【課題】 この転がり案内装置は，セパレータが転動体間距離を調整し，セパレータの剛性が大きく，弾性変形が大きく柔軟な弾性を備えており，転動体間の相互作用力も外枠部を含めてしっかりと受容することができる。
【解決手段】セパレータ３０は，隣り合う転動体２０をそれぞれ嵌入する両端面４５，４７に形成された凹部２７，２８，外形を構成する外枠部５，及び外枠部５から凹部２７，２８の中心Ｏに向かって延びて舌片状に形成され且つ転動体２０に接触して弾性変形可能な複数の爪部４（２５，２６）を備えている。爪部４は，転動体２０に対向する面が凹球面３１，３２，凹円錐面又は凹角錐面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 この直動案内ユニットは，スライダにおける潤滑剤の供給系を安価でコンパクトに構成し，潤滑剤供給のメンテナンスフリーを可能にする。
【解決手段】スライダ２には，潤滑剤が蓄えられた多孔質部材から成る油タンク７及び油タンク７からパイプ部材３０に潤滑剤を供給するための簡単な構造の誘導部材３９が配設され，潤滑剤を油タンク７から誘導部材３９を通ってリターン路２２を形成するパイプ部材３０に供給する。油タンク７は，ケース２７とその中の保持部材２８によって十分な潤滑剤が漏れ無く貯留可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複数枚の潤滑剤供給部材間から粉塵等がスライダ内部に侵入するのを防止すると共に、潤滑剤供給部材の外周部の潤滑剤が劣化したり蒸発するのを防止して潤滑剤を案内レールの転動体転動溝に効率よく供給する。
【解決手段】 スライダ２の軸方向の端部に取り付けられ、案内レール１の転動体転動溝３に摺接して潤滑剤を供給する潤滑剤供給部材２０が潤滑剤を含有する多孔質材とされ、案内レール１の上方位置で潤滑剤供給部材２０に嵌め込まれた押圧部材３１によって該潤滑剤供給部材２０をスライダ２の幅方向外方に押圧することで、潤滑剤供給部材２０の案内レール１の転動体転動溝３への摺接部２１を該転動体転動溝３に押圧するようにした直動案内軸受装置であって、潤滑剤供給部材２０を、押圧部材３１と一体に形成されたケース３０内に収納する。 （もっと読む）

【課題】
支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。
【解決手段】
同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。 （もっと読む）